电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用气体中金属含量GB/T34972-2017

在电子工业生产过程中，高纯度气体是不可或缺的重要物质。然而，即使是高纯度气体中也会存在一些微量金属元素，这些元素可能会影响到电子器件的性能，甚至会导致电子元器件失效。因此，对于电子工业用气体中的金属元素含量进行准确测定非常必要。

GB/T34972-2017标准中规定了采用电感耦合等离子体质谱法来测定高纯度气体中金属元素的含量。该方法具有准确、快速、灵敏度高等优点。

具体实施方法如下：

1. 样品的制备

根据实际需要，将待测样品经过预处理后装入自动进样器中。

2. 仪器参数设置

设置电感耦合等离子体质谱仪的工作参数。包括：射频功率、气体流量、扫描范围等参数。

3. 检测

启动电感耦合等离子体质谱仪，进行样品检测和数据采集。通过质谱仪分析出样品中的金属元素种类和含量。

通过上述步骤，可以得到高纯度气体中微量金属元素的含量。在电子工业生产中，及时准确地测定电子工业用气体中金属元素的含量，对于保证电子器件的正常运行具有重要意义。