电子工业用气体氧GB/T14604-2009

气体氧是电子工业中广泛应用的一种气体。它具有高纯度、高效率等特点，在半导体制造、显示器件制造等领域都有着重要的作用。

气体氧的应用

气体氧在电子工业中的应用非常广泛。主要包括以下几个方面：

• 半导体生产：气体氧能够与各种材料反应，是制备半导体材料的必要材料之一。
• 液晶显示器件制造：气体氧被用来清洗液晶显示器件内部的杂质，使得显示效果更佳。
• 太阳能电池板制造：气体氧可以用于太阳能电池板表面的蚀刻和清洗。

质量要求

气体氧在电子工业中的应用要求其具有高纯度、低水分等特点。因此，GB/T14604-2009制定了气体氧的质量标准。

• 纯度：氧气百分比不低于99.5%。
• 水分含量：不得超过10ppm。
• 杂质含量：不得超过0.5ppm。

总结

电子工业中使用的气体氧是一种高纯度的气体，在半导体生产、液晶显示器件制造、太阳能电池板制造等领域都有着重要的作用。为了保证气体氧的质量，GB/T14604-2009制定了严格的质量标准，对氧气百分比、水分含量、杂质含量等方面均做出了明确规定。