电子工业用气体三氟化氮GB/T21287-2007

电子工业用气体三氟化氮是一种无色、有刺激性气味的气体。它具有良好的化学稳定性和热稳定性，在高温、高能量环境下不会分解，因此被广泛应用于半导体、光伏、液晶等电子行业中。

根据GB/T21287-2007规格标准，电子工业用气体三氟化氮的主要技术指标包括纯度、水分含量、非挥发性残留物含量、杂质含量等方面的要求。其中，纯度要求达到99.999%以上，水分含量不超过5×10^-6(体积分数)，非挥发性残留物含量不超过0.001%(体积分数)。

电子工业用气体三氟化氮的生产工艺比较复杂，一般采用氟化银法或者氟碳化学气相沉积法进行生产。在使用过程中，需要注意防止三氟化氮泄漏，避免直接接触皮肤和眼睛，并保持通风良好。

总之，电子工业用气体三氟化氮是电子行业中应用广泛的一种气体，在制造半导体、光伏、液晶等电子产品中发挥着重要作用。严格按照GB/T21287-2007规格标准进行选择和使用可以有效提高产品质量。