真空技术涡轮分子泵性能参数的测量GB/T7774-2007

涡轮分子泵是一种用于抽取高真空或超高真空系统中气体的高效排气设备，其通过高速旋转的叶轮产生离心力并把气体推向泵出口。

为了保证涡轮分子泵的正常运行，需要对其性能参数进行严格的测试和评估。GB/T7774-2007标准规定了涡轮分子泵的性能测试方法和参数要求。

性能参数

涡轮分子泵的性能参数包括抽速、极限压力、抽气率等。其中，抽速是指单位时间内泵出器内部气体质量流量与泵入器内部气体质量流量之比；极限压力是指泵出口处的静态压力；抽气率是指泵出口处的气体流量。

测量方法

涡轮分子泵的性能参数测量需要使用专业仪器，如真空计、抽速计等。在进行抽速测试时，需要将真空计和抽速计与涡轮分子泵相连，先对泵入口处压力进行稳定化处理，然后记录不同压力下的气体质量流量，并计算出抽速值。

极限压力测试需要关闭泵出口截止阀，开启泵入口截止阀，并将泵内气体进行充分排放，直到泵内的静态压力达到稳定状态。此时，记录下泵出口处的静态压力即可得到涡轮分子泵的极限压力。

抽气率测试需要将真空计和抽气率计与涡轮分子泵相连，并将泵内压力稳定在一定的范围内，然后记录下泵出口的气体流量并计算出抽气率值。

结论

根据GB/T7774-2007标准，涡轮分子泵的性能参数应该经过严格的测试和评估。采用正确的测量方法可以保证测试结果的准确性，进而更好地保障涡轮分子泵的正常运行。