酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物GB/T24579-2009

在多晶硅制备过程中，由于设备和材料等因素，会产生一定的金属污染。这些污染物对于多晶硅的电学性能和稳定性都有很大影响，因此需要进行精确的检测和分析。

目前，采用酸浸取原子吸收光谱法已成为多晶硅表面金属污染物的常见检测方法之一。该方法可同时检测多种金属元素，如铜、铁、锌等，并且具有高灵敏度、高准确性和高可重复性等优点。

根据GB/T24579-2009标准，多晶硅表面金属污染物的检测方法具体如下：

• 取样：将待测多晶硅样品切成适当大小，加入酸中进行溶解，制备合适浓度的样液。
• 原子吸收光谱法检测：用原子吸收光谱仪对样液中的金属元素进行检测，获取其吸收光谱信息。
• 计算：根据标准曲线计算出每种金属元素在样品中的含量，并综合得出样品中各种金属元素的总量。

需要注意的是，在测试过程中需要严格控制试剂和仪器等各环节的干扰因素，避免对测试结果的影响。

总的来说，酸浸取原子吸收光谱法已成为多晶硅表面金属污染物的常见检测方法。该方法具有高灵敏度、高准确性、高可重复性等优点，能够满足多晶硅制备过程中对金属污染物的精确检测和分析需求。