微束分析电子背散射衍射分析方法通则GB/T19501-2013

微束分析电子背散射衍射分析是一种基于电子在固体中的相互作用来进行材料分析的技术。其主要应用于材料科学、物理学、化学等领域。

GB/T19501-2013通则规定了微束分析电子背散射衍射分析的标准方法和要求，旨在保证该技术的精度和可靠性。

微束分析

微束分析是指通过聚焦电子束形成的高度聚束，对材料的表面和体积进行分析。微束分析可以分为三类：扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）和场致发射扫描电镜（FE-SEM）。

电子背散射衍射分析

电子背散射衍射分析是一种通过测量物质中的电子背散射和衍射来确定其晶体结构和成分的方法。其中，电子背散射是指电子在穿过材料时与内部原子核相互作用后发生反向散射，而电子衍射则是指电子从固体表面反弹并形成衍射图案。

GB/T19501-2013通则规定

GB/T19501-2013通则规定了微束分析电子背散射衍射分析的标准方法和要求，其中包括以下内容：

• 设备的选择和安装
• 操作规程
• 样品的准备和处理
• 数据收集和处理
• 结果分析和解释

该标准的制定旨在保证微束分析电子背散射衍射分析技术的精度和可靠性，为相关领域的研究提供有力的支持。