离子注入机通用规范GB/T15862-2012

离子注入机是一种重要的半导体材料制备设备，具有广泛的应用前景。为了保证离子注入机的工作性能和安全可靠性，减少产品缺陷率，提高生产效率，国家制定了离子注入机通用规范GB/T15862-2012。

一、规范适用范围

GB/T15862-2012规范适用于离子注入机的设计、制造、调试、使用和维护。

二、术语和定义

GB/T15862-2012中列举了离子注入机相关的术语和定义，如离子源、束线、注入器、加速电压等。

三、技术要求

GB/T15862-2012对离子注入机的各项技术要求进行了详细规定，包括机械结构、电气控制、离子源、束线、注入器等方面。例如，针对机械结构方面，规范中要求离子注入机的外观应美观、整洁，各部件之间应严密配合，保证设备的稳定性和可靠性。

四、试验方法

GB/T15862-2012中规定了离子注入机的各项试验方法，如机械强度试验、电气安全试验、性能试验等。这些试验方法可以有效检测离子注入机的性能和安全可靠性，提高产品质量。

总之，离子注入机通用规范GB/T15862-2012是行业标准化的重要成果，其实施可以促进离子注入机技术的发展与进步，为推动半导体产业的健康发展发挥积极作用。