电子工业用气体氦GB/T16943-2009

氦气是目前电子工业中广泛使用的一种惰性气体。它的原子量非常小，化学性质极为稳定，且不易与其他物质发生反应，因此在电子工业中应用很广。

氦气主要用于半导体制造过程中的光刻、匀胶、溅射等工序中，可以使得半导体制造的精度更高、缺陷率更低。

除了在半导体制造中的应用外，氦气还可以用于电子束焊接、氩弧焊接等工艺中，可以提高焊接质量，降低焊接变形。

在国内，氦气在电子工业中的应用已经得到了国家标准GB/T16943-2009的规范。这项标准详细规定了氦气的物理和化学性质、质量要求、包装、储存和运输等方面的内容，为氦气在电子工业中的应用提供了技术标准。