多晶硅痕量元素化学分析辉光放电质谱法GB/T33236-2016

多晶硅是目前应用最广泛的太阳能电池材料之一，而其中微量元素的含量则对电池性能和寿命有着重要的影响。因此，准确测定多晶硅中微量元素的含量十分必要。在众多的化学分析方法中，辉光放电质谱法因其快速、灵敏度高、检出限低、选择性好等优点而备受关注。

辉光放电质谱法是利用高能脉冲辉光器件将样品直接转化成带电物质，并与惰性气体反应产生荷质比不同的离子，再通过质谱分析仪进行检测和测定。该方法适用于多种金属和非金属元素的定量分析，特别是微量元素和痕量元素的测定。

GB/T33236-2016是我国多晶硅痕量元素化学分析的标准方法，其中包括了辉光放电质谱法的详细步骤和技术要求。该标准规定了多晶硅中21种元素的检测范围、仪器的性能指标、样品的制备方法和测定条件等内容。

在实际应用中，多晶硅样品的制备和测定条件对于结果的准确性影响较大。因此，需要严格按照标准方法进行操作，并对仪器进行校准和验证。同时，还需注意样品的保存和处理方式，避免外界污染对结果的干扰。

总之，辉光放电质谱法是一种快速、准确、灵敏度高的多晶硅痕量元素化学分析方法，GB/T33236-2016为其提供了详细的操作规范和技术要求，可广泛应用于太阳能电池材料的研究和生产中。