电子工业用气体磷化氢GB/T14851-2009

电子工业是现代工业中一个非常重要的分支，其中使用的各种材料、设备和工艺都需要严格控制。而其中最为关键的就是使用的气体，其中一种常用的气体就是磷化氢。

磷化氢是一种无色、有毒的气体，化学式为PH3。在电子工业中，磷化氢主要用于半导体制造中的扩散和蚀刻等过程，同时也用于一些特殊合金和材料的生产。

由于磷化氢具有剧毒性和易燃性，因此其使用需要遵守相关的安全规定和标准。其中最为重要的标准就是GB/T14851-2009《电子工业用气体磷化氢》。该标准规定了磷化氢的技术要求、包装、运输、储存、使用和废弃等方面的内容，旨在确保磷化氢的安全使用和管理。

根据GB/T14851-2009标准，磷化氢的纯度要求在99.999%以上，且含有杂质的量应该在PPB级别以下。此外，还规定了磷化氢的包装、运输和储存要求。例如，在运输过程中需要采取防护措施，如加压容器和隔离罩等，以免发生泄漏或事故。

总之，磷化氢是电子工业中常用的重要气体之一，但其使用也存在一定的风险和安全隐患。因此，遵守相关的标准和规定十分必要。