电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法GB/T37049-2018

电子级多晶硅是制造半导体器件和太阳能电池的重要材料之一，其中基体金属杂质含量对其性能有着重要影响。因此，准确测定电子级多晶硅中基体金属杂质含量成为必要的工作。目前，国内外已经出现了多种测定方法，其中电感耦合等离子体质谱法在电子级多晶硅中基体金属杂质含量测定领域具有独特的优势。

为了规范电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定方法，中国国家标准化管理委员会发布了《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定-电感耦合等离子体质谱法》（GB/T37049-2018）标准。该标准主要针对电子级多晶硅中铜、铁、锰、镍、铝、锌等基体金属杂质的检测方法进行了详细规定。

根据该标准，电子级多晶硅样品经过前处理后，通过电感耦合等离子体质谱仪进行测试。其中，该方法可以大幅度降低背景噪音并且提高检出限，从而保证检测结果的准确性和可靠性。

此外，该标准还规定了样品制备、仪器操作、数据分析等多个方面的技术要求。例如，标准要求各实验室应当建立相应的质控系统，并定期进行质量评价。此外，标准还要求实验室应该配备相应的设备和技术人员，以保证测试的准确性和可靠性。

综上所述，《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定-电感耦合等离子体质谱法》（GB/T37049-2018）是规范电子级多晶硅中基体金属杂质含量检测方法的重要标准。通过该标准的实施，可以提高电子级多晶硅制造过程中的材料质量，并为相关行业的发展提供技术支持。