微机电系统（MEMS）技术MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法GB/T34898-2017

微机电系统（MEMS）技术是一种将微型电子、机械和光学等技术相结合的多学科交叉领域技术，应用于传感器、执行器、微加工和生物医疗等领域。其中，MEMS谐振敏感元件是一种利用谐振频率变化来检测外界物理量的传感器，广泛应用于惯性导航、气体质量分析和生命体征监测等领域。

在MEMS谐振敏感元件的应用中，非线性振动是一个重要的问题。由于谐振频率与振幅之间存在非线性关系，当谐振元件受到较大的激励时，其振动特性会发生显著变化，从而影响传感器的工作精度和可靠性。因此，对于MEMS谐振敏感元件的非线性振动特性进行测试是非常必要的。

GB/T34898-2017是我国推出的与MEMS谐振敏感元件有关的国家标准，其中规定了MEMS谐振敏感元件的非线性振动测试方法。该标准主要包括试验设备的选择、试验条件的确定和测试结果的处理方法等内容，旨在为MEMS制造商和用户提供更加明确的技术指导和质量保证。

根据GB/T34898-2017标准，MEMS谐振敏感元件的非线性振动测试可以采用多种方法，如扫频法、干扰法和跳变法等。其中，扫频法是一种常用的测试方法，其原理是通过改变外界激励频率，在谐振元件的共振频率范围内逐步增大激励信号的振幅，记录下谐振元件的振动响应曲线，并计算出其非线性特性参数。

总之，在MEMS谐振敏感元件的应用中，对于其非线性振动特性的测试是非常必要的。而GB/T34898-2017标准则为MEMS制造商和用户提供了一种规范化、标准化的测试方法，可以有效提高MEMS谐振敏感元件的工作精度和可靠性。