电子工业用气体三氯化硼GB/T17874-2010

气体三氯化硼是一种重要的半导体材料，在电子工业中具有广泛的应用。GB/T17874-2010是中国国家标准化管理委员会发布的电子工业用气体三氯化硼标准，详细规定了该材料的物理和化学性质、生产和检验方法等内容。

1. 物理和化学性质

气体三氯化硼是一种黄色到棕色的气体，具有刺鼻的气味。它在常温下为液体状态，密度较大。其化学性质比较稳定，不易与其他物质发生反应。

2. 生产方法

气体三氯化硼的主要生产方法包括化学气相沉积法和热分解法两种。

• 化学气相沉积法：利用气相反应原理，在一定温度和压力下，使三氯化硼气体在载气的作用下与二甲基酮汽相反应，产生气体三氯化硼。
• 热分解法：将固态的三氯化硼通过加热升华到高温区域，再经冷凝得到气体三氯化硼。

3. 检验方法

GB/T17874-2010规定了气体三氯化硼的检验项目和检验方法，主要包括外观、纯度、水分含量、杂质含量等。其中，纯度的检测是非常重要的，可以使用气相色谱法进行检测。

4. 应用领域

气体三氯化硼在电子工业中有着广泛的应用，主要用于制备磊晶片、维护真空系统和清洗半导体器件等方面。此外，它也被用于金属表面处理、橡胶生产等领域。

5. 结论

GB/T17874-2010为气体三氯化硼的生产和使用提供了规范和指导，使得电子工业的生产质量和效率得到了提高。希望未来在气体三氯化硼的应用研究中，能够进一步发挥其优异的性能，并为电子工业的发展做出更大的贡献。