电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014

一、引言

气体在电子工业中有着重要的应用。其中，六氟化硫是一种常用的气体，在半导体生产等领域有着广泛的应用。为了规范六氟化硫在电子工业中的使用，国家制定了电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014标准。

二、GB/T18867-2014标准概述

GB/T18867-2014标准是针对电子工业用六氟化硫气体的质量要求和试验方法进行规定的。主要包括以下方面：

• 六氟化硫气体的名称、分类、等级、外观和性状、包装、标志、运输、储存要求等；
• 六氟化硫气体的质量要求，包括纯度、水分、氧化物、杂质、非挥发有机物、总烷烃含量、氟化合物含量等；
• 六氟化硫气体的试验方法，包括纯度试验、水分试验、氧化物试验、杂质试验、非挥发有机物试验、总烷烃含量试验、氟化合物含量试验等。

三、GB/T18867-2014标准对电子工业的意义

GB/T18867-2014标准的出台，为电子工业中六氟化硫气体的应用提供了规范和标准，有助于保证产品质量和生产安全。同时，该标准的实施也推动了行业技术的进步和发展。

四、结论

电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014标准的出台，对规范电子工业中六氟化硫气体的应用起到了重要的作用。我们应当认真遵守该标准的要求，确保产品质量和生产安全，推动电子工业的持续发展。