电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T11446.9-2013

电子级水是用于半导体生产等高科技领域的高纯水。其中微粒的含量必须控制在非常低的水平，否则会对半导体芯片的制造和性能产生严重影响。

GB/T11446.9-2013《电子级水中微粒的仪器测试方法》是根据目前国际上使用较为广泛的光散射法及其仪器发展而来的标准。该标准适用于纯水及超纯水中微粒的测定，包括金属离子、有机物、胶体和微生物等各种类型的微粒。

该标准中规定了微粒浓度的计算公式、检测系统的组成及其参数设置、样品采集、制备及测试方法等内容。具体来说，该标准要求使用光散射法进行微粒的检测，通过测量微粒在光束中产生的散射光强度来计算微粒浓度。

在实际测试过程中，需要注意仪器的正确操作和维护，样品的正确采集和制备，以及数据处理和结果判定的准确性等方面。另外，该标准还规定了不同级别的电子级水的微粒控制要求，以保证电子级水质量的稳定性和可靠性。

总之，GB/T11446.9-2013是电子级水中微粒检测的重要标准，其采用的光散射法具有灵敏度高、准确性好等优点，能够有效地保证电子级水的质量。