电子束辐射加工装置, 剂量学导则, GB/T16841-1997

能量为300keV~25MeV电子束辐射加工装置剂量学导则GB/T16841-1997

添加时间:2023/11/7 23:59:20 阅读次数:

电子束辐射加工技术是一种高效、精准的材料加工方法,广泛应用于半导体设备、光电子器件等领域。而在电子束辐射加工中,剂量控制是非常重要的一环,它关系到加工质量和安全性。

因此,为了规范电子束辐射加工装置的剂量控制,在1997年发布了《能量为300keV~25MeV电子束辐射加工装置剂量学导则GB/T16841-1997》标准。该标准主要包括剂量测量、计算、控制及安全等方面的内容。

其中,电子束辐射加工装置的剂量测量是非常关键的一步。标准中规定了剂量测量的方法和要求,包括剂量仪的选用、校准以及测量位置等。此外,标准还对电子束辐射剂量计量单位进行了规定,并给出了相关的计算公式。

在电子束辐射加工过程中,剂量控制也是非常重要的。标准中规定了剂量控制的方法和要求,包括调整电子束参数、控制加工时间等。此外,标准还对剂量监测的要求进行了明确,要求必须设置剂量监测系统,并具备报警、停机等功能。

标准还对电子束辐射加工装置的安全性进行了规定,主要包括操作人员的保护、设备的保护以及环境的保护等方面。其中,对于操作人员的保护,标准中规定了必须戴防护服、手套、眼镜等个人防护装备;对于设备的保护,则要求必须设置防护屏障、紧急停止按钮等。

总的来说,能量为300keV~25MeV电子束辐射加工装置剂量学导则GB/T16841-1997标准为电子束辐射加工提供了重要的规范,它不仅确保了电子束辐射加工的质量和安全性,同时也推动了电子束辐射加工技术的发展。

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