真空技术四极质谱检漏方法GB/T35049-2018

在真空系统中，泄漏问题一直是一个重要的难题。为了保证系统的可靠性和稳定性，需要采取有效的检漏措施。四极质谱检漏法是一种常用的手段，可以实现快速、准确地检测出系统中的泄漏点。

四极质谱检漏法的原理是利用质谱分析仪对气体分子进行质量分析，从而判断被检测物质中是否含有气体分子。当有泄漏发生时，漏出的气体分子会进入质谱分析仪中，形成特定的质谱峰，从而可以确定泄漏点的位置。

根据GB/T35049-2018标准，四极质谱检漏法的具体操作步骤如下：

• 1. 准备工作：将质谱分析仪接入真空系统，并保证整个系统处于稳定的真空状态。
• 2. 加样：将鉴别气体（如氦气）注入待测系统中，或者直接在待测系统内产生气体。
• 3. 分析：开启质谱分析仪进行分析，记录气体分子的质谱峰位和强度。
• 4. 判断：根据质谱峰位和强度的变化判断是否存在泄漏点，如果存在，则可以进一步确定泄漏点的位置。

需要注意的是，在使用四极质谱检漏法时，需要选择合适的鉴别气体，并对其进行精确控制和准备。另外，还需要根据具体情况选择合适的检漏灵敏度和分辨率，以便能够快速、准确地检测出泄漏点。

在实际应用中，四极质谱检漏法已经被广泛运用于真空技术中，取得了良好的效果。通过该方法，可以有效地提高系统的可靠性和稳定性，从而为实验和生产等领域提供了重要的支持。