电子级多晶硅GB/T12963-2014介绍

电子级多晶硅是一种应用广泛的半导体材料，用于制造太阳能电池、集成电路等产品。为了保证产品质量和安全性，我国制定了电子级多晶硅的国家标准——GB/T12963-2014。

1. 电子级多晶硅的定义

电子级多晶硅是指用于集成电路、太阳能电池等半导体器件制造的多晶硅材料，在制备过程中需要经过特殊的精选、清洗和加工处理，以保证其纯度和品质符合特定的要求。

2. 电子级多晶硅的分类

根据GB/T12963-2014标准的规定，电子级多晶硅可分为以下几类：

• N型电子级多晶硅
• P型电子级多晶硅
• NP型电子级多晶硅

其中，N型电子级多晶硅的杂质主要为磷、氮等元素，P型电子级多晶硅的杂质主要为硼、铝等元素，而NP型电子级多晶硅则同时掺杂了上述两种元素。

3. 电子级多晶硅的技术要求

GB/T12963-2014标准对电子级多晶硅的纯度、结晶度、尺寸及形状、表面洁净度等方面均作出了详细的规定。具体包括：

• 电子级多晶硅应具有高纯度，杂质总量应小于10¹⁵/cm³；
• 电子级多晶硅的结晶度应大于0.9；
• 电子级多晶硅的尺寸和形状应符合产品规格要求；
• 电子级多晶硅的表面应保持清洁，不得有任何污染物残留。

4. 电子级多晶硅的应用

电子级多晶硅广泛应用于制造太阳能电池、集成电路、光电器件等领域。随着新能源产业的不断发展，太阳能电池市场的规模也在逐年扩大，对于电子级多晶硅的需求不断增加。

5. 总结

GB/T12963-2014标准为我国电子级多晶硅的制造和应用提供了明确的标准和要求。各生产厂家应按照该标准要求进行生产，以保证产品质量和安全性，同时推动我国半导体产业的健康发展。