微机电系统技术微机械量评定总则GB/T26112-2010解读

MEMS技术是集微电子、光学、机械、材料等多学科交叉的产物，其应用领域广泛，包括但不限于惯性导航、医疗、环境监测、汽车、无人机等。在MEMS设备制造过程中，微机械量的评定是一个至关重要的环节。

该标准规定了微机械量的评定方法，主要包括以下几个方面：

• 基本概念和定义
• 评定原则
• 评定方法
• 测量不确定度
• 评定报告

微机械量的评定方法主要包括三个方面：精度、分辨率和灵敏度。其中，精度是指对同一输入量的重复测量值之间的偏差；分辨率是指最小可测量的物理量变化；灵敏度是指输出量随输入量变化的响应程度。

以MEMS加速度计为例，该加速度计在进行自由落体测试时，测得的自由加速度应该符合标准规定的误差范围。若测量结果超出误差范围，则需要对加速度计进行校准或修理。

GB/T26112-2010标准的制定和实施，为MEMS技术的发展提供了有力保障。在评定微机械量时，需要遵循标准中的规定，确保评定结果的准确性和可靠性。