扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法GB/T31226-2014

气体配送系统是许多工业领域都需要使用的设备。在这些系统中，不同部件的表面粗糙度对于气体流动的影响非常重要，因此如何准确地测量部件表面的粗糙度成为了一个关键的问题。

目前，测量表面粗糙度的方法有很多种，其中一种比较常用的方法是扫描隧道显微术。扫描隧道显微术是近年来发展起来的一种新型的表面形貌分析技术，能够对样品表面进行高分辨率的扫描和成像。

根据GB/T31226-2014标准，采用扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法如下：

• 首先，需要准备待测量的部件样品，并使用清洁的溶剂将其表面清洁干净。
• 然后，在扫描隧道显微镜中设置相应的参数，包括扫描速度、扫描范围等。
• 接着，将待测量的部件样品放置在扫描隧道显微镜的扫描平台上，然后进行扫描。扫描结束后，可以得到一个二维的表面形貌图像。
• 最后，根据得到的表面形貌图像，计算出部件表面的粗糙度参数，比如Ra、Rq等，并进行记录和分析。

通过采用扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法，可以有效地提高对气体流动特性的了解和控制，保证气体配送系统的正常运行。