光学长度计量仪器基本参数GB/T3720-1988

光学长度计量仪器是一种用于测量物体长度的仪器，其工作原理是利用光学原理进行测量。光学长度计量仪器通常包括显微镜、干涉仪、激光测距仪等部分。

在使用光学长度计量仪器时，需要了解其基本参数，这些参数直接影响仪器的测量精度和稳定性。下面我们将对光学长度计量仪器的基本参数进行详细介绍。

1. 分辨率

分辨率是指光学长度计量仪器能够区分两个相邻点之间的距离的最小值。通常用微米（μm）或纳米（nm）来表示，分辨率越高，仪器对微小尺寸变化的检测就越敏感。常见的分辨率为0.1μm、0.01μm、0.001μm等。

2. 精度

精度是指光学长度计量仪器测量结果与实际值之间的误差，通常以百分比或微米为单位表示。精度越高，仪器的测量结果就越准确。常见的精度有±1μm、±0.5μm、±0.1μm等。

3. 重复性

重复性是指在相同条件下，光学长度计量仪器重复测量同一物体时，测量结果之间的差异程度。重复性越好，代表仪器稳定性越高，测量结果更可靠。常见的重复性有0.5μm、0.3μm、0.1μm等。

4. 线性度

线性度是指光学长度计量仪器输出信号与被测距离之间的关系是否呈线性关系。通常用百分比表示，线性度越高，仪器的测量范围就越宽广，仪器对不同尺寸物体的测量结果更加稳定。常见的线性度有0.05%、0.02%、0.01%等。

5. 工作距离

工作距离是指显微镜或干涉仪的物镜和被测物体之间的距离。工作距离越大，仪器对大型物体的测量就越方便，但同时会降低仪器的分辨率。

6. 测量范围

测量范围是指光学长度计量仪器能够测量的距离范围。通常用微米或毫米表示，测量范围越大，仪器适用范围就越广泛。

7. 信号输出方式

信号输出方式是指光学长度计量仪器输出信号的方式，通常有模拟信号输出和数字信号输出两种。模拟信号输出一般需要外部模数转换器进行转换，而数字信号输出则更容易被计算机等设备处理。

以上是光学长度计量仪器的基本参数介绍。在使用光学长度计量仪器时，需要注意其所处的环境，避免温度、湿度等因素对测量精度的影响。同时，定期校准也是确保测量结果准确可靠的重要步骤。

总之，了解光学长度计量仪器的基本参数可以帮助我们更好地使用和选择仪器，提高测量精度和效率。