蓝宝石衬底片弯曲度测试方法GB/T31353-2014

蓝宝石是一种在半导体行业中应用广泛的材料，其晶体质量直接影响器件性能。而衬底片弯曲度作为评价晶体质量的一个重要指标，也受到了越来越多的关注。

为了规范蓝宝石衬底片弯曲度的测试方法，GB/T31353-2014《半导体蓝宝石衬底片弯曲度测量方法》被制定并发布。该标准主要从试样制备、测试设备、测试步骤等方面进行了详细规定。

试样制备

根据标准要求，试样应该选取表面无裂纹、磨损、污染以及附着物的蓝宝石衬底片。同时，在试样制备过程中，也需要严格控制温度、湿度等环境因素的影响。

测试设备

GB/T31353-2014标准规定了适用于衬底片弯曲度测试的设备类型和性能要求。其中，主要包括量测台、加热装置、辅助平台、温度控制器等。

测试步骤

蓝宝石衬底片弯曲度的测试步骤主要分为两个部分：预处理和量测。其中，预处理包括衬底片去除应力、平整化以及恒温处理等；量测则是通过加载外力，来获取衬底片在不同温度下的弯曲度数据。

综上所述，GB/T31353-2014标准为蓝宝石衬底片弯曲度的测试提供了科学规范的方法，对于提高晶体质量的评价标准具有重要意义。