微机电系统技术微几何量评定总则GB/T26113-2010解读

在MEMS设备制造过程中，微几何量的评定是一个至关重要的环节。微几何量评定主要是针对微米级别的尺寸、形状、表面特性等进行测量和分析，其结果直接关系到MEMS设备的性能和稳定性。

该标准规定了微几何量的评定方法，主要包括以下几个方面：

• 基本概念和定义
• 评定原则
• 评定方法
• 测量不确定度
• 评定报告

微几何量的评定方法主要包括四个方面：形状和尺寸、表面粗糙度、平整度和直线度。其中，形状和尺寸是指MEMS器件中微米级别的尺寸和形状特征；表面粗糙度是指MEMS器件表面的粗糙程度；平整度是指MEMS器件表面的平整程度；直线度是指MEMS器件中直线的偏差程度。

以MEMS加速度计为例，该加速度计在进行自由落体测试时，需要保证加速度计的底部面平整度符合标准规定的误差范围，否则会影响测量结果的准确性。

微几何量评定作为MEMS设备制造过程中不可或缺的环节，必须遵循GB/T26113-2010标准中的规定，进行准确、可靠的评定工作。这样才能够保证MEMS设备的性能和稳定性，从而更好地满足各种应用需求。