微束分析电子探针显微分析（EPMA）术语GB/T21636-2021

微束分析是一种重要的物质表征技术，其应用涵盖材料科学、化学、生物医学等多个领域。而电子探针显微分析（EPMA）作为微束分析的一种常见方法，具有快速分析、高分辨率、高精度等优点，广泛应用于材料科学、地质学等领域。

EPMA术语

根据标准GB/T21636-2021，以下是EPMA相关术语的定义：

• 电子探针：能够加速和聚焦电子束，并能测量被样品散射或逸出的电子的仪器。
• 激发体：充当电子探针束与样品交互的物质。激发体在电子探针束的作用下发生电子束与原子核、电子、分子等产物相互作用，进而引起样品中微区域的物理或化学激发。
• 辐射：指样品在经历光电子效应、X射线荧光效应、次级电子发射等多种机制时所产生的电磁波或粒子。
• 像素：图像的最小分辨元素，具有一定的面积和信号响应能力。EPMA分析过程中，图像采集设备接收到的光子或电子被称为“像素”。
• 峰值道址：X射线出现在谱仪中的通道位置，用于确定某一元素的存在及其含量。

EPMA分析流程

EPMA分析流程主要包括以下步骤：

• 步骤1：样品制备。首先需要选择合适的样品，并按照标准方法进行制备。
• 步骤2：样品预处理。将样品表面研磨平整，去除污染物。
• 步骤3：测量参数设置。根据分析目的设置加速电压、电子束流、扫描速度等参数。
• 步骤4：数据采集。在测量阶段，电子束照射到样品表面，经过与样品相互作用后产生的辐射被探测器捕获并转化成电信号，通过计算机采集并处理。
• 步骤5：数据分析。将采集得到的X射线强度谱和元素含量谱进行解析，得到样品中各元素的含量。

总体来说，标准GB/T21636-2021对于微束分析电子探针显微分析（EPMA）术语的定义和EPMA分析流程的描述，为科学研究人员提供了更加清晰和统一的术语规范，促进了EPMA分析技术的应用和发展。