微束分析能谱法定量分析GB/T17359-2012

微束分析是一种常用的材料分析技术，可用于表面成分分析、元素分布分析等。而微束分析能谱法则是其中最为常见的一种方法之一，它通过测量样品产生的X射线或电子的能谱来分析样品的成分。

微束分析能谱法的基本原理是：当高能电子或离子束轰击样品时，样品会发出X射线或电子辐射。这些辐射中包含着样品的成分信息，通过测量这些辐射的能谱，可以确定所含元素的种类和相对含量。

在微束分析能谱法中，通常使用扫描电镜(SEM)来产生电子束，同时也可以使用离子束或X射线束。通过调节电子束的能量和强度，可以在不同深度上对样品进行分析。此外，还可以通过使用不同的探测器来分析X射线或电子束，以便获得更为准确的成分信息。

在GB/T17359-2012标准中，详细规定了微束分析能谱法的定量分析方法和技术要求。该标准包括了样品制备、仪器校准、分析条件等方面的内容，对于保证微束分析能谱法定量分析结果的准确性和可靠性具有重要意义。

总之，微束分析能谱法是一种非常重要的材料分析技术，它可以广泛应用于金属、合金、陶瓷、半导体等材料的分析。而GB/T17359-2012标准的出台，则为该技术的发展和应用提供了有效的指导和支持。