电子工业用气体硅烷(SiH4)GB/T15909-2009

气体硅烷（SiH4）是一种无色有臭味的气体，在电子工业领域被广泛应用。它可以用来制造半导体器件、纳米材料、薄膜和光学玻璃等产品。

根据国家标准GB/T15909-2009，电子工业用气体硅烷分为A、B两类。其中，A类气体硅烷的纯度要求在99.999%以上，B类气体硅烷的纯度要求在99.99%以上。

除了纯度要求外，国家标准GB/T15909-2009还对电子工业用气体硅烷的技术要求、检验方法和包装等方面进行了详细的规定。例如，气体硅烷的杂质含量应该低于一定的标准；检验方法包括气相色谱法和质谱法等；包装要求使用不透明的钢瓶或玻璃瓶，并在瓶身上标注产品名称、规格、生产日期等信息。

总之，国家标准GB/T15909-2009中对于电子工业用气体硅烷的规定非常详细，从纯度要求到技术要求、检验方法和包装等方面都有明确的规定。这些规定为电子工业用气体硅烷的生产和使用提供了有力的保障。