半导体器件机械和气候试验方法第11部分：快速温度变化双液槽法GB/T4937.11-2018

一、试验目的

半导体器件在使用过程中经常会遇到快速温度变化的情况，例如在电源开关时。为了保证半导体器件的可靠性，在设计和生产阶段需要进行相应的试验来评估其能否在这种情况下正常工作。而GB/T4937.11-2018《半导体器件机械和气候试验方法第11部分：快速温度变化双液槽法》就是用于此类试验的标准。

二、试验原理

快速温度变化双液槽法是通过将半导体器件置于两个温度不同的液槽中进行试验，其中一个液槽维持室温，而另一个液槽则会在很短的时间内迅速降温，以模拟快速温度变化的情况。在试验过程中，可以观察到半导体器件在温度变化时的电性能变化。

三、设备和仪器

进行快速温度变化双液槽法试验需要以下设备和仪器：

1. 试验箱：能够容纳两个液槽的试验箱，具有良好的密封性，并且能够保证液槽之间的隔离。
2. 液槽：由金属或非金属材料制成，具有良好的导热性和耐腐蚀性，能够承受高温和低温的侵蚀。
3. 加热器：用于加热室温液槽中的液体，使其保持恒定的温度。
4. 冷却器：用于降温另一个液槽中的液体，在短时间内使其达到所需温度。
5. 温度控制仪：能够对两个液槽中的温度进行精确控制，并且能够实时监测温度变化。
6. 半导体器件测试仪：用于测试半导体器件在不同温度下的电性能。

四、试验步骤

进行快速温度变化双液槽法试验需要按照以下步骤进行：

1. 将试验箱置于室内，保持温度稳定。
2. 将两个液槽放入试验箱中，一个放在上层，一个放在下层。
3. 加注适量的液体到液槽中，并将加热器和冷却器连接好。
4. 将要测试的半导体器件安装在测试仪上，然后将测试仪与计算机相连。
5. 将温度控制仪设置为所需的试验温度范围，并启动试验程序。
6. 在设定时间内观察半导体器件的电性能变化，例如输出电压、电流、功率等。并将数据记录下来。
7. 根据要求进行多组试验，每次试验之间需要让液槽温度回到室温，以确保试验结果的准确性。
8. 完成试验后，对试验箱和测试仪进行清洁和维护。

通过以上步骤，就可以进行快速温度变化双液槽法试验，以评估半导体器件在快速温度变化情况下的可靠性。