电子级水

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国家标准 GB/11446.1一2013 代替GB/T446.1-1997 电子级水 Eleetromicgradewater 2013-12-31发布 2014-08-15实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T11446.1一2013 前 言 GB/T11446预计结构如下 GB/T1l446.1电子级水; GB/T1l446.2待定); GB/T11446.3电子级水测试方法通则; GB/T11446.4电子级水电阻率的测试方法 GB/T1l446.5电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法; GB/T1l446.6电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法; GB/Tll446.7电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法; GB/T1l446.8电子级水中总有机碳的测试方法 GB/T11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法; GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法 本部分为GB/T11446的第1部分 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本部分代替GB/T11446.11997《电子级水》. 本部分与GB/T11446.11997相比,主要有下列变化 “3术语和定义"中增加了“离子交换树脂”“无菌”和“pH”的定义(见第3章); 修改了“5要求”中“Ew-l”,“Ew-川”和“Ew-N”级水的电阻率指标(见第5章) 修订了“5要求”中“Ew-I”、“Ew-I”、“Ew-”和“Ew-N”级水的微粒数指标(见第5章); “5要求”中增加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“澳”阴离子的要求和指标(见 第5章) " 试验方法”中增加了“铁”,“铅”、“氟离子”“亚硝酸根离子”和“嗅离子”的检测方法(见 第6章). 本部分由工业和信息化部提出 本部分由电子技术标准化研究院归口 本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、科学院半导体研究所、电子技 术标准化研究院、电子科技集团公司第四十六研究所 本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠 本部分所代替标准的历次版本发布情况为 -GB/T1l446.l一1989,GB/T1l446.1一1997
GB/T11446.1一2013 电 子 级 水 范围 GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则 本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T11446.3一2013电子级水测试方法通则 电子级水电阻率的测试方法 GB/Tl1446.4一2013 (GB/T1l446.52013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 GB/T11446.6-2013电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 GB/T11446.7一2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法 GB/T11446.8一2013电子级水中总有机碳的测试方法 GB/T11446.92013电子级水中微粒的仪器测试方法 GB/T11446.10-2013电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 3.1 电子级水electronicgradewater 电子和半导体工艺过程中所用的高纯水 3.2 电阻率 resistivity 在规定温度下,1cnmr'(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值 通常用符号p表示,单位为 cm25C 欧姆厘米(Qem),纯水的理论电阻率为18.3MQ 3.3 全硅totalsilieon 水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量 3.4 可溶性硅solubhlesilicon 以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐 3.5 微粒性物质granularmatter 除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质
GB/T11446.1一2013 3.6 总有机碳totalorganiecarbon;Toc 水中以各种有机物形式存在的碳的总量 包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧 化的有机物 3.7 吸附 absorption 某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象 3.8 凝聚cgaon 在源水中加人某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集 成较大颗粒而沉降的现象 3.9 絮凝 focculation 水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉诧的现象 絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进 行,可除去水中更细的微粒 3.10 砂滤器samdfilter 用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置 3.11 活性碳过滤器 activatedcarbonfilter 装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯 3.12 离子交换ionexchange -种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化 3.13 离子交换树脂ion-exchangeresinm 种合成的有机离子交换材料 3.14 去离子水 deionmizedwater 经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水 3.15 再生regeneration 离子交换过程操作循环中的一部分 在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢 复交换能力 3.16 复合床complexbed 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装人两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个 柱而被纯化 3.17 nixedbed 混合床 M 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多 复合床串联使用
GB/T11446.1一2013 3.18 电渗析eleetrodialysis -种分离水中离子的方法 在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一 系列小室 水流通过小室时,在直流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子 则相反 这样就形成相间存在的浓,淡水室而达到提纯水的目的 3.19 逆向渗透reverseosmosis 用半透膜将浓水和淡水隔开,并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半 透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的 3.20 反渗透膜reverse0smwsismembrane 用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0.02Am或更小,可用于除去无机离子,有 机物,细菌等,使水纯化 3.21 embraneilter 微孔膜滤器 -种平均孔径(直径)大于0.01m的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近 3.22 超过滤ultrafiltration -种过滤方法,在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等 3.23 终端terminal 高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点 3.24 无菌sterile 不含任何活有机体(不论是活跃的或休眠的 3.25 p 水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数 分类和标记 4.1 分类 电子级水分为四个级别:I级、I级、级和级 4.2标记 级电子级水标记为;Ew-I 级电子级水标记为;Ew-I 级电子级水标记为;:Ew-I 级电子级水标记为:Ew-N 要求 电子级水的技术指标应符合表1规定
GB/T11446.1一2013 表1电子级水的技术指标 技术指标 项目 Ew-I Ew- Ew-l Ew-川 >18 >15 电阻率(25C)/MQcm >12.0 >0.5 (5%时间不低于17)5%时间不低于13) 2 S1o <50 S1000 全硅/(4g/儿) 0.05 一0.1 500 5Am Am 0,14m0.24m 300 微粒数 0,2m~0.3Am 50 个/L) 0.3m0.5Am 20 0.5Am 细菌个数个/" /ml s100 0,01 /L) <0.2 <1 <2 <500 铜/g！" 锌/ug/L. <0.2 <1 5 s500 镍/4g/1) <0. <1 2 s500 钠/4g/L) <0.5 5 <1000 钾/4g/L) 0.5 5 S500 铁/(g/L) 0.l 铅/4g/L s1 氟/g/1) 氯/(4g/L S1 S10 S1000 亚硝酸根/ug/1 S1 澳/4g/L) S1 <1 硝酸根/g/L 5 500 s500 磷酸根/(4g/L S1 <1 <5 碗酸根/g/L) <1 <5 1 500 20 <100 <1000 总有机碳/4g/L 200 6 试验方法 电阻率 电子级水的电阻率按GB/T11446.4一2013进行测定 6.2全硅含量以二氧化硅计 电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/Tll446,6一2013进行测定
GB/T11446.1一2013 6.3微粒数 电子级水中微粒数按GB/T11446.9一2013进行测定 6.4细菌总数 电子级水中细菌总数按GB/T1l446.102013进行测定 6.5痕量金属含量 电子级水中痕量金属的含量按GB/Tll446.5一2013进行测定 6.6氟离子、氧离子,亚硝酸根离子,澳离子,硝酸根离子,磷酸根离子、硫酸根离子的含量 电子级水中叙离子,氧离子,亚硝酸根离子,澳离子,硝酸根离子,磷酸根离子、,碗酸根离子的含量按 GB/T11446.72013进行测定 6.7 总有机碳含量 电子级水中总有机碳含量按GB/T11446.8一2013进行测定 检验规则 检验部门 7.1 电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行 7.2检验分类 电子级水的检验分为交收检验和例行检验 7.3交收检验 7.3.1抽验项目 电子级水中电阻率,钠离子,全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目 7.3.2合格判据 在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样进行检验,如仍不合 格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格 7.4例行检验(全检项目 7.4.1检验项目 检验项目为表1规定的全部项目 检验顺序应以不影响后序试验结果的原则进行检验 7.4.2不合格判定 在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有不合格项时,应再次采样进行检验,如仍有不合格 项时,应提出改进措施直到水质合格
GB/T11446.1一2013 7.4.3检验频次 例行检验至少每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验 采样、贮存,运输及标志 8.1 采样、贮存、运输 电子级水的采样、贮存,运输应符合GB/T11446.3一2013的规定 8.2 标志 在用水终端采样进行检验时,水质合格后应附有检验合格证,合格证应包含如下内容 a) 名称及级别; 各项技术指标 b e)制水单位; d)供水日期 检验员签章及检验日期 e

电子级水GB/T11446.1-2013简介

随着电子工业的不断发展，对纯净水的要求也越来越高。电子级水是一种高纯度的水，广泛应用于半导体、光电、电子器件等领域。GB/T11446.1-2013是我国针对电子级水制定的国家标准，规定了电子级水的质量要求、试验方法等方面的内容。

电子级水的分类

根据用途和纯净度的不同，电子级水可以分为多种类型，如下所示：

• 超纯水：纯度高达18MΩ.cm以上，适用于半导体晶圆制造、集成电路制造等领域。
• 高纯水：纯度在1-10MΩ.cm之间，适用于液晶显示器、太阳能电池等领域。
• 制备用水：纯度在0.5-1MΩ.cm之间，适用于电极镀铜、蚀刻等领域。
• 工业用水：纯度在0.1-0.5MΩ.cm之间，适用于印刷电路板、玻璃加工等领域。

GB/T11446.1-2013标准要求

GB/T11446.1-2013对电子级水的质量要求如下：

• 总溶解固体(TDS)不得超过0.1mg/L。
• 电导率不得超过0.1μS/cm。
• 溶解氧(DO)不得超过0.02mg/L。
• pH值应在5-7之间。
• 有机物、细菌和微生物数量应符合特定要求。

此外，标准还规定了电子级水的采样、实验室分析方法等方面的内容。

结语

随着电子工业的发展，电子级水的需求也越来越大。GB/T11446.1-2013为电子级水的制备提供了重要的参考标准，同时也保证了电子级水的质量和稳定性。

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