氟及氟氮混合气

氟及氟氮混合气

国家标准 GB/T26251一2010 氟和氟氮 混合气 Fluorineandmixedgasesoffluorine-mitrogen 2011-01-14发布 2011-05-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管蹬委员会国家标准
GB/T26251一2010 前 言 本标准的附录A为规范性附录 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出. 本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/Tc203)归口 本标准起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司,山东锐华氟 业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院 本标准主要起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云
GB/T26251一2010 氟和氟氨混合气 范围 本标准规定了氟和氟氨混合气的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟 氟用于制备六氟化铺、六氟化碗 三氟化砌、二氟化银,三氟化钻和三氟化镁等氟化物,也可用于激光气或塑料氟化处理等领域 叙氮混合气制备采用压力法 混合气主要用于汽车,制药工业中材料氟化处理 氟的分子式;F 氟的相对分子质量:37.9968064(按2007年国际相对原子质量计算) 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB7144气瓶颜色标志 GB/T8979纯氨、高纯氮和超纯氨 GB/T11640铝合金无缝气瓶 GB14194永久气体气瓶充装规定 GB/T26571特种气体储存期规范 《气瓶安全监察规程>(国家质量监督检验检疫总局发布,2000年) 技术要求 氟的技术要求应符合表1的规定 表1氟的技术指标 项 指标 氟(F)纯度(体积分数)/10 99.0 氧(o)十氮(N,)含量(体积分数)/10 s 0.45 0.05 四氟化碳(CF)含量(体积分数)/10- 0.50 氟化氢(HF)含量(体积分数)/10 3.2氟氮混合气的技术要求应符合表2的规定 表2氟氮混合气的技术指标 项 指标 20 氟(F)含量(体积分数/10- 80 氮(N)含量(体积分数/10-
GB/T26251一2010 表2(续 项 指标 含量(体积分数)/10 0.08 氧( 0.03 四氟化碳(CF)含量(体积分数)/10 0.5o 氟化氢(HF)含量(体积分数)/10" 3.2.1配制氟氮混合气所用的原料氮应符合GB/T8979高纯氮的规定 氟氮混合气配制允差为氟公 称含量的士0.5% 3.2.2允许氟氮混合气的比例按供需双方确定的要求 试验方法 4.1检验规则 4.1.1氟的检验规则 氟气应逐一检查验收 当检验结果有一项指标不符合本标准表1要求时,则判该产品不合格 4.1.2氟氮混合气的检验规则 连续稳定生产的混合气构成一批,每批随机抽检1瓶 当检验结果有任何一项不符合本标准表2 要求时,应自该批产品中重新加倍抽样检验.若仍有一项指标不符合要求,则该批产品为不合格 \. .3 氟和氟氮混合气的采样安全应符合GB/T3723的相关规定 4.2氧、氮、四氟化碳、氟化氢以及氟的测定 4.2.1氧、氮、四氟化碳、氟化氢及氟的测定见附录A 4.2.2允许采用其他等效的方法测定氧、氮、四氟化碳、氟化氢及氟含量 当测定结果有异议时,以本 标准4.2.1规定的方法为仲裁方法 4.2.3测定氟和氟氮混合气时,应对放空的尾气进行处理,推荐采用三氧化二铝吸收 包装、标志、贮运及安全 5.1包装、标志及贮运 5. .1.1氟和氟氮混合气的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定 55 1. 2 包装氟和氟氮混合气的气瓶应符合GB5099或GB/T11640的规定 55 推荐使用经过内表面处理的气瓶 推荐使用cGA679瓶阀 .3 应防止瓶口被污染和泄漏 1.5充装氟和氟氮混合气的气瓶应进行彻底清洗、脱脂和干燥处理 氟和氟氮混合气的充装应符合GB14194的相关规定 5 气瓶颜色标志应符合GB7144的规定 5 1.8运输时,氟和氟氮混合气的气瓶上应附有GB190中指定的标志 5 包装容器上应标明“氟”或“氟氮混合气”字样 5 瓶装氟的成品压力在20C时不高于2MPa 瓶装氟氮混合气的成品压力在20C时不高于 10MPa 5 氟和氟氮混合气的充装量按实际称量的质量计 5 1.12氟和氟氮混合气的保存期限按GB/T26571执行 5.1.13氟和氟氮混合气出厂时应附有产品质量合格证,其内容至少应包括 -产品名称,生产厂名称; -生产日期或批号,充装压力(MPa)或充装量(kg); 本标准号及技术指标,检验员号
GB/T26251一2010 5.1.14氟和氟氮混合气产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,严禁暴晒,远离热源 5.2安全警示 5.2.1氟气是黄色压缩气体,有刺鼻气味;是一种强氧化剂,与可燃物质和还原性物质激烈反应;与水 激烈反应,生成臭氧和氟化氢;与氨、金属、氧化剂和许多其他物质激烈反应,有着火和爆炸的危险 5.2.2氟气不可燃,但可助燃 不应与水,可燃物质和还原剂接触 着火时,应使用干粉和二氧化碳灭 火 喷雾状水保持钢瓶冷却,但应避免氟与水接触 5.2.3氟严重腐蚀眼睛、皮肤和呼吸道 吸人气体可能引起肺水肿 液态氟可能引起冻伤 5.2.4时间加权平均接触限值:1×10-体积分数) 短期接触限值:2×10-体积分数) 时间加权平均接触限值;正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均浓度 短期接触限值;每次接触时间不得超过15min的时间加权平均接触限值 5.2.5皮肤烧伤时应用大量水冲洗,然后脱去污染的衣物并再次冲洗,应及时治疗 5.2.6泄漏时,人员应撤离危险区域!保持通风 接触氧和氟氮混合气时,推荐使用带有隔绝式呼吸防器的气密式化学防护服 5.2.7 氟和氟氮混合气生产企业应为用户提供安全技术说明书 5.2.8
GB/T26251一2010 附 录A 规范性附录 氧、氮、四氟化碳、氟化氢以及氟的测定 A.1仪器 A.1.1采用配备双热导检测器的气相色谱仪测定氧、氮、四氟化碳、氟化氢及氟 检测限:0.01×10-体积分数) A.1.2采用配备氟化钠为吸附剂的取样系统 吸附剂用于吸附氟化氢,吸附罐约为2L A.2原理 样品经取样系统后HF被吸收,经六通取样阀进色谱分析,样品气经转化柱,其中的F 转化为C 氟氯油柱分离氧、氮和Cl.,Cl在氟氯油柱上分离定量,F含量可由C1 换算,所测得Cl含量可表达 F，含量 通过切换阀将氧、氮,CF，流人分子筛柱分析 HF含量通过差减法计算得出 A.3测定条件 A.3.1载气:高纯氨 流量参照相应的仪器说明书 A.3.2桥电流;参照相应的仪器说明书 A.3.3色谱柱 氟氯油柱;长1.5m,内径4mm,内装粒径为0.18mm~0.25mm的聚四氟氯乙烯担体,担体涂敷 三氟氯乙烯,失效后更换,或其他等效色谱柱 该柱用于分离氧、氮和Cl,并分析Cl, 分子筛柱;长3m,内径4mm,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛,色谱柱在280C 300C通载气活化约4h 或其他等效色谱柱 该柱用于分析氧、氮、四氟化碳 mm0.25 A.3.4转化柱;长1m，内径4mm，内装粒径为0.18 mm的氯化钾,失效后更换,或其他 等效柱 该柱用于将F，转化为Cl A.3.5吸收柱: 金属柱:长1m,内径4mm,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的Ag,失效后更换,或其他等效柱 该柱用于吸收氟气和氯气 10.25mm 三氧化二铝柱:长1m,内径4mm,内装粒径为0.18” 的三氧化二铝,失效后更换， mm一 或其他等效柱 该柱用于吸收氟化氢 A.3.6气体标准样品: 气体标准样品中的组分含量与样品气中相应组分含量相近,氯气代替氟气,含量为70×10-体积 分数),氯气不应液化 余气为氨 A.3.7其他条件;进样气体管路应采用耐腐蚀的特殊处理不锈钢 色谐柱温度、检测器温度、样气流 量等其他条件参考仪器说明书 A.3.8参考的气路流程示意图请见图A.1
GB/T26251一2010 15 16 球阀 传感器; 吸附罐 电磁阀l; 泵l; 电磁阀2 泵2; 载气 六通阀 l0 转化柱 叙氯油柱 12- 热导检测器(TCD1); 13 四通阀 热导检测器(TCD2) 14 15 分子筛柱; 三氧化二铝柱 l6 17 金属柱 图A.1气路流程示意图 A.4分析步骤 A.4.1关闭球阀,开启电磁阀和真空泵,将吸附罐和连接管道都抽空,压力达到-85kPa A.4.2开启球阀,调节样气流量,充分吹洗定量管
GB/T26251一2010 A.4.3切换六通阀进样 A.4.4氟气经转化柱转化为C,在氟氯油柱上分离,经TCD1测定Cl.(F)含量 A.4.5当氧、氮、四氟化碳合峰流出氟氯油柱后,切换四通阀 氧、氮、四氟化碳进人金属柱、三氧化二 铝柱,分子筛柱后分离,经TCD2测定氧、氮、四氟化碳的含量 A.4.6气体标准样品标定与样品测定相同 A.4.7平行测定气体标准样品和样品气各至少两次,记录色谱响应值,直至相邻两次测定的响应值相 对偏差不大于10%,取其平均值 参考的典型色谱图请见图A.2和图A.3 mVy N CF /minm 图A.2典型色谱图 mV 1/min 图A.3典型色谱图2
GB/T26251一2010 A.5结果处理 A.5.1氟、氧、氮、四氟化碳的含量 氟、氧、氮、四氟化碳含量按式(A.1)计算: A.1 p 义以 式中: 样品气中被测组分的含量(体积分数),10-; 样品气中被测组分的响应平均值; A, 气体标准样品中相应已知组分的响应平均值 A 气体标准样品中相应已知组分的含量(体积分数),10- 中 A.5.2氟化氢的含量 氟化氢含量按式(A.2)计算 =100一更十十更十×100 A.2 式中 氟含量(体积分数),10; 氧含量(体积分数),10子; p 氮含量(体积分数),l0- p 四氟化碳含量(体积分数),10" " p 氟化氢含量(体积分数),10- ！