平面显示用高纯铜旋转管靶

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国家标准 GB/T39158一2020 平面显示用高纯铜旋转管靶 Highpuritycopperrotatable tubetargetforlatpaneldisplay 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标涯花管理委员会国家标准
GB/39158一2020 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口 本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、沈阳有色金属加工有限公司 本标准主要起草人:曾浩、罗俊锋、韩知为,贺听、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、 袁海军、刘晓、张健、郭姗姗
GB/39158一2020 平面显示用高纯铜旋转管靶 范围 本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义,分类、技术要求、试验方法、检验规则、标 志、包装,运输、贮存,质量证明书及订货单(或合同)内容 本标准适用于平面显示用各种规格的4N,4N5,5N高纯铜旋转管靶产品 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T1804一2000 一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 铜及铜合金化学分析方法第27部分:电感棋合等离子体原子发射光谱法 GBT5121.27 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 Ys/T347铜及铜合金平均晶粒度测定方法 Ys/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法 YS/T10002014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 3.1 旋转管靶rotatabletuhetarget -种平板显示领域用的管状靶材 注主要用于电子薄膜沉积 表面粗糙度surface roughness Ra 加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度 轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度 范围内,轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差 用下式表示: Ra= i.lyldr 分类 产品的牌号按纯度分RCu4N,RCu4N5,Cu5N三个牌号 产品的规格可分为155×438、155× 888、155×1091、155×888、167×2490 不同牌号对应的规格见表1 示例;铜含量为99.995%的旋转铜粑,表示为RCuAN5
GB/T39158一2020 表1牌号与规格 规格 牌号 mm RCu4N 155× 155×888 438、 35x101、$155X88 RC4N5 RCu-5N 支167×2490 5 技术要求 5.1化学成分 平面显示用高纯钢能转管爬的化学成分要求应符合表2规定 表2化学成分 牌号 RCu-4N RCu4N5 RCu-5N 铜含量"(质量分数/%,不小于 99,99 99,995 99,999 Ag 25 A 0.5 As 20 0,l Bi 20 0.2 0.5 Ca 0.1 0.3 0.l 杂质元素含量 30 10 Fe 0.5 质量分数/10-4%， 0.5 Mn 0,l 不大于 Ni 10 10 0.5 0.1 P 10 0.05 10 0.l 0.l 0.5 10 0. 0.1 10 0.l
GB/39158一2020 表2(续 牌号 RCu4N RCu4N5 RCu-5N l0 20 气体杂质元素含量 10 质量分数/10-%， 30 不大于 15 30 杂质总含量质量分数/10-4%， 50 10 100 不大于(不包括c,N,S,O) 注:需方对某种特定杂质元素含量有特殊要求时,由供需双方协商确认 铜含量为100%减去表中所列杂质实测总和的余量(不含C、O、.N、S) 5.2晶粒度 产品的晶粒度应符合表3的规定,并且晶粒大小分布均匀 需方如有特殊要求时,由供需双方商 定,并在订货单(或合同)中注明 表3平均晶粒度及允许偏差 平均品粒度及允许偏差 牌号 进m RCu4N 60 士10 RCu-4N5 <80 士10 RCu-5N 100 士10 5.3内部质量 产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷 单个不连续缺陷大小应不大于0.8mm;25mm 以内多个不连续缺陷大小应不大于0.4mm;长条形不连续缺陷宽度应不大于0.4mm,长度不大于3mm 5.4外形尺寸及允许偏差 产品应按照供需双方签订的技术图样进行加工,长度和直径允许偏差应符合表4的规定,其他尺寸 和允许偏差应符合技术图样要求 未注公差产品应符合GB/T1804一2000中等级m的要求 表4外形尺寸及允许偏差 单位为毫米 外形尺寸 允许偏差 155 士0,3 直径 167 士0,2 438 士0.2 888 士0,2 长度 1091 士0.2 1188 士0. 2940 士0.8
GB/T39158一2020 5.5表面粗糙度 产品表面粗糙度应符合技术图样要求,技术图样无要求时Ra值应不大于0.8m. 5.6外观质量 产品表面应清洁光滑,无指痕、油污、锈蚀、伸润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污,并无凹坑、划伤、裂 纹、凸起等缺陷 6 试验方法 6.1化学成分 产品中气体杂质元素c,N,O的分析方法按照GB/T14265的规定执行 RCu-4N,RCu-4N5牌号 的其他杂质元素按照GB/T5121.27的规定进行 RCur-5N牌号的其他杂质元素按照Ys/T922规定 进行,或由供需双方协商确定 6.2晶粒度 产品的晶粒度检验按照Ys/T347的规定进行 6.3内部质量 产品的内部质量检验按Ys/T10002014的规定进行,超声检验质量验收等级需为AAA级 6.4外形尺寸 外形尺寸和允许偏差应用相应测量精度的量具进行检测 未注公差按照GB/T1804一2000中等级m的规定进行检验 6.5表面粗糙度 产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪,按照加工技术图样标识尺寸进行测量,或按照供需双方约定 的方法测定 6.6外观质量 产品的外观质量用目视检查,如发现异常现象,用放大镜或数码显微镜进行鉴别 检验规则 7.1检查和验收 7.1.1产品由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规定,并填写质 量证明书 7.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验 如复验结果与本标准及订货单(或合同)的规 定不符时,应在收到产品之日起三个月内向供方提出,由供需双方协商解决 如需仲裁,仲裁取样应由 供需双方在需方共同进行 7.2组批 产品应成批提交验收 每批应由同一牌号和规格的产品组成
GB/39158一2020 7.3检验项目及取样规定 7.3.1产品检验项目、取样位置及数量应符合表5的规定 表5检验项目及取样规定 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 5.1 化学成分 铸锭缩孔下 每批取1件 6.l 5.2 6,." 晶粒度 靶坯边料(见7.3.2) 每批取1件,每件取2个点 内部质量 成品前 逐件 5.3 6.3 外形尺寸 成品 逐件 5,4 6, 表面粗糙度 成品 逐件 5.5 6.5 外观质量 成品 逐件 5.6 6,6 7.3.2在生产过程中,为了不破坏靶材的整体性,晶粒度的检测在高纯铜靶成品加工前进行 取样示 意图如图1所示 样品" 样品2 图1晶粒度检验的取样示意图 7.4检验结果的判定 7.4.1检验结果的数值修约和判定按GB/T8170的规定进行 7.4.2化学成分不合格时,判该批靶材不合格 7.4.3晶粒度抽检合格,则该批产品全部合格;抽检不合格时,判该件不合格;再从该批产品中加倍抽 样进行复检,若复检全部合格,判定该批其余产品合格;若复检仍有不合格,则判整批产品不合格 7.4.4 内部质量.外形尺寸.表面粗糙度、外观质量检验任一项不合格时,判该件产品不合格 标志包装、运输、贮存和质量证明书 8 8.1标志 8.1.1在检验合格的靶材上,将生产厂标志、成分及生产批号刻在产品指定位置 8.1.2在每个外包装上贴纸质标贴,内容包括 制造厂名称与地址; a b) 公司标志; 产品名称; c 牌号及纯度 d 客户名称 e 订单编号 f 物料编号 g
GB/T39158一2020 h) 生产批号; i出厂日期; 其他 j 8.2包装 8.2.1产品的清洗、干燥,包装应在洁净环境下进行,管粑应经过全面清洗,真空干燥后每块单独真空 包装 真空袋封口要平整无贯通,无真空泄露 8.2.2外包装采用木箱包装 包装箱内应有防碰撞措施 将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装 箱上 8.3运输和贮存 运输和贮运过程中,应注意防震、防潮、防压、防止二次污染 8.4质量证明书 每批产品应附有质量证明书,注明 供方名称、地址、电话、传真 a b) 产品名称; 牌号及纯度; c 需方名称; d 订单编号; e 需方编号 生产批号; 8 h)分析检测结果和质量监督部门印记; 生产日期; 其他 订货单(或合同)内容 9 订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容 产品名称; a b) 靶材纯度; c 化学成分、物理性能,表面质量等特殊要求; 规格 d) 数量; e 本标准编号; f 其他 日

平面显示用高纯铜旋转管靶GB/T39158-2020解析

随着平面显示技术的不断发展，高质量的显示材料和制造工艺日益成为关键。而在平面显示器件的制造过程中，高纯铜旋转管靶作为重要材料，对于提高显示器件品质和性能具有重要作用。

为了规范高纯铜旋转管靶的生产和使用，国家标准化管理委员会于2020年发布了《平面显示用高纯铜旋转管靶GB/T39158-2020》。该标准规定了高纯铜旋转管靶的基本性能要求、技术指标以及测试方法等方面内容，以保证其在平面显示器件制造中的稳定性和可靠性。

在具体实施中，高纯铜旋转管靶的制造需要遵循精细化的工艺流程，并且严格控制其含杂质和缺陷等因素。同时，GB/T39158-2020标准还对高纯铜旋转管靶的形状、尺寸、表面质量、化学成分及纯度等方面做出了详细的规定，并要求在生产过程中进行严格的检验和测试。

需要注意的是，高纯铜旋转管靶的使用应该遵守国家相关法律法规，同时在实践中也需要结合具体情况进行技术细节的调整和优化，以获得更加稳定和可靠的显示器件。

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