电子级三甲基镓

电子级三甲基镓

国家标准 GB/T37007一2018 电子级三甲基嫁 Eleetromicgradetrimethylgalium 2018-12-28发布 2019-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/37007一2018 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口 本标准起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、电子技术标准化研究院 本标准主要起草人:陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
GB/37007一2018 电子级三甲基乙 范围 本标准规定了三甲基镶的技术要求,试验方法、检验规则、包装、标志,运输、贮存和安全 本标准适用于镶铁合金法,三氧化镶法格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基 嫁 该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等 分子式:C,H,Ga 相对分子质量;ll4.83(按2013年国际相对原子质量计算) 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T11446.1电子级水 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB15258化学品安全标签编写规定 GB15603常用化学危险品贮存通则 GB50073洁净厂房设计规范 技术要求 三甲基嫁的技术指标应符合表1要求 表1技术指标 目 指 项 标 三甲基(CH,Ga)纯度(质量分数/10-" 999.99995 银(Ag)含量/4g/g 0.2 金属 铝(A)含量/(4g/e 0.1 元素 0.5 呻(As)含量/(gg/g) 砌(B)含量/(g/g 0.2 其他 锁(Ia)含量/(4g/ 0. 元素 镀(Ie)含量/(4g/g 0.02 含量 泌(Bi)含量/(4g/g 0.5
GB/T37007一2018 表1续 目 项 指 6 钙(Ca)含量/4g/ 0.03 0.02 镐(C)含量/4g/E 0.2 (Co)含量/4g/g 铬(Cr)含量/(4g/g 0.2 铜(Cu)含量/4g/g 0,05 铁(Fe)含量/4g/g 0.l 错(Ge)含量/(4g/g 0,5 0.5 汞 Hg)含量/g/g 0.02 镁(Mg)含量/(g/e) 金属 钮Mn)含量/(4g/g 0.03 元素 镍(Ni)含量/4g/g 0.3 及 铅(Pb)含量/4g/g) 其他 元素 硫(S)含量/(g/g 含量 郎(Sb)含量/(4g/g) 0,5 0.2 硅(Si)含量/4g/g 锡(Sn)含量/4g/g 钯(Sr)含量/4g/g 0.1 钛(Ti)含量/(4g/g 0.1 饥(V)含量/(4g/g 0.3 锌(Zn)含量/4g/g 0. 甲基峰信噪比达到50×10'以上,扣除空 氧和有机杂质 白峰后未检测出甲氧基峰与有机杂质峰 即为合格 试验方法 4.1三甲基嫁纯度 三甲基镶纯度按照式(1)计算 rw=100. w1十weg十we'十w十ws)×10- 式中 三甲基嫁纯度质量分数),l0 Z心 -硅元素含量(质量分数),单位为微克每克(g/e) 7 铜元素含量(质量分数),单位为微克每克(4g/g) Z' -镁元素含量质量分数),单位为微克每克(4g/g); we -锌元素含量(质量分数),单位为微克每克(gg/g); Z -铁元素含量(质量分数),单位为微克每克(4g/g) Z5
GB/37007一2018 4.2环境条件 4.2.1取样、测试环境应符合GB50073的规定,空气洁净度等级为6N 4.2.2测试环境温度20C28C,相对湿度<80% 4.3金属元素及其他元素含量 4.3.1仪器 采用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICPOES)测定三甲基嫁中的银、铝等金属及其他元素的 含量 仪器分辨率;<0.01nm;仪器波长范围;160nm800nm 方法检出限;小于或等于表1所列相应元素杂质指标 4.3.2材料与试剂 无氧无水惰性气氛操作箱 4.3.2.1 mx分折天平 4.3.2.2精度为0.1" 43.2.3 超净工作台应符合GB5073中规定,空气清净度等级为5N. 43.2.4硝酸或盐酸:分析纯,金属及其他元素含量低于0.01"g/g 4.3.2.5溶解液;5%硝酸或盐酸 4.3.2.6金属及其他元素离子的标准溶液;标准溶液中金属及其他元素的含量应当与被测试样中所对 应的含量相近 4.3.2.7 试验用水:符合GB/T11446.1中Ew-1级的要求 43.2.8聚四氟乙婚取样瓶，60mL 4.3.3产品前处理 将已精确称重后的干燥取样瓶和石英滴管送人惰性气氛操作箱中,用石英滴管吸取三甲基嫁液体 约0.2g于取样瓶中,拧上瓶盖,拿出手套箱 取样安全应符合GB/T3723中规定 分析天平上精确称 量至0.1mg,减去空瓶重量,即为取样瓶中三甲基嫁的重量 超净工作台内将取样瓶内三甲基嫁氧化 分解为固体粉末后,用5%硝酸或盐酸溶液配制为相应待测溶液 待测溶液浓度应为10mg/mL 4.3.4空白溶液 体积分数为5%的硝酸或盐酸溶液 4.3.5测定步骤 4.3.5.1启动仪器 按照电感稠合等离子体原子发射光谱(cPoEs)说明书开启仪器,调整仪器参数达到测定条件,待 仪器稳定后即可测定 4.3.5.2测定 4.3.5.2.1标准曲线的绘制 用金属及其他元素的标准溶液进样 记录标准溶液中待测元素在无干扰峰下的最灵敏波长值的强 度信号 每种标准溶液至少重复测定三次,直至三次平行测定强度值的相对标准偏差不大于3%,取平
GB/T37007一2018 均值,绘制以待测元素的波长值强度信号为纵坐标,以待测元素的浓度为横坐标的标准曲线 4.3.5.2.2样品测定 将空白溶液与待测溶液以测定标准溶液同样的测定条件进样,记录不同待测元素波长的强度信号， 重复测定至少三次,直至三次强度平行测定值的相对偏差不大于3%,取平均值 4.3.5.3结果处理 用测得的待测溶液中待测元素的波长强度信号在相应的金属元素标准曲线上查出待测溶液中待测 元素的含量,同样方法算出的空白溶液中相应待测元素含量,按式(2)分别计算三甲基嫁中相应待测元 素的含量 w一w'8×V Z'6 m11 式中 三甲基嫁中待测元素含量,单位为微克每克(4g/g); Z'6 待测溶液中待测元素含量,单位为微克每毫升(4g/mL); wu 空白溶液中待测元素含量,单位为微克每毫升(gg/mL); Z's V 待测溶液的体积,单位为毫升(mL); 三甲基嫁的取样质量,单位为克(g) 7 4.3.6其他方法 允许按其他等效的方法测定三甲基嫁中的待测元素含量,当测定结果有异议时,以4.3.14.3.5规 定的方法为仲裁方法 4.4氧和有机杂质 4.4.1仪器及试剂 4.4.1.1低温超导傅里叶变换核磁共振(NMR) 核磁探头氢的灵敏度>300 4.4.1.2无氧无水惰性气氛操作箱 44.1.3尔代苯;策含量大于99.6% 4.4.2操作步骤 4.4.2.1产品前处理 无氧无水惰性气氛操作箱中用石英滴管取三甲基液体于核磁管中,加人代苯溶剂,制备成三甲 基浓度为10%~15%左右待测溶液 核磁管密封,拿出手套箱 取样规则与安全应符合GB/T6679 与 iGB/T3723中规定 4.4.2.2空自 冗代苯试剂 启动仪器 4.4.2.3 按照低温超导傅里叶变换核磁共振(NMR)说明书开启仪器,调整仪器各参数达到测定条件,待仪 器稳定后即可测定
GB/37007一2018 4.4.2.4测试 4.4.2.4.1将待测溶液与空白分别放人低温超导傅里叶变换核磁共振上进行扫描叠加测定 空白峰位移;o=7.16×10-";甲基峰位移;d=一0.15×10-";甲氧基峰位移o=3.10×10-《一3.20× 0"之间;有机杂质峰位移(除甲氧基峰外);=0.5X10有一7.0X10" 4.4.2.4.2谱图中的甲基峰信噪比(SNR)应达到50×10'以上 信噪比按式(3)计算 SNR一 式中: 甲基峰信号强度; N 基线噪声强度 4.4.2.5判定结果 甲基峰信噪比达到50×10'以上,扣除空白峰后未检测出甲氧基峰与有机杂质峰即为合格 典型 谱图参见附录A 5 检验规则 5.1以同一条产品生产线、,同一原料、同一工艺生产连续稳定生产的三甲基液体构成一批 5.2应逐批对三甲基产品接收罐进行检验 当检测结果有任何一项不符合第3章要求时,应对该批 产品重新加倍取样检测,若仍有任何一项指标不符合要求,则该批产品为不合格 5.3同一批次接收罐进行连续分装的钢瓶应对首、,尾分装钢瓶进行检测 当检测结果有任何一项不符 合第3章要求时,应对全部分装钢瓶进行取样检测,若仍有任何一项指标不符合要求,则该批产品为不 合格 标志、包装、运输、贮存及安全 6.1标志 三甲基镶钢瓶与包装桶外标志应符合GB190中的有关规定 6.1.1 三甲基镶钢瓶上应使用防水标示标签 标签应符合GB15258中相关规定 6.1.2 6.2包装 6.2.1包装容器应使用316L不锈钢焊接钢瓶 6.2.2 包装容器上应注明“三甲基”字样 6.2.3应防止钢瓶瓶口被污染与泄漏 6.2.4三甲基嫁包装应符合GB12463中有关规定 6.2.5三甲基镶最大灌装量按式(4)计算: V" m=G" 式中: 钢瓶内三甲基嫁的最大灌装质量,单位为克(g); m1 钢瓶的内容积单位为毫升(mL). G 三甲基嫁的灌装系数,l.035 单位为克每毫升(g/ml).
GB/T37007一2018 6.3运输、贮存 6.3.1三甲基嫁贮存应符合GB15603的规定 6.3.2存放在洁净,干燥和无酸碱气氛之处,避免阳光直射 6.3.3保证贮存运输过程中钢瓶的稳定 6.4质量合格证 三甲基嫁出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括 产品名称,生产企业名称; -生产日期或批号,产品净重; 钢瓶号,保质期; 本标准编号及技术指标等 6.5安全警示 三甲基镶室温下是一种无色有强烈刺激性气味的无色透明液体 对皮肤,眼睛,呼吸道有强烈 6.5.1 的刺激和腐蚀作用 三甲基嫁的物化性质表参考附录B. 6.5.2危险特征;在高温下不稳定 如暴露在空气中极易自燃,遇水剧烈反应释放易燃气体,可引起燃 烧爆炸 生产与使用时应在惰性气体中操作,避免与水接触并对人体做好防护猎施 灭火方法;干燥黄沙石子、干粉灭火剂 严禁用水 6.5.3 6.5.4泄漏应急处理;隔离泄漏污染区,疏散无关人员限制出人 应急处理人员需穿戴合适的防护设 备,避免接触皮肤及眼睛,避免吸人蒸气 尽可能切断泄漏源 将容器内的压力释放 消除所有火源 确保足够的通风 将泄漏物收集至合适的容器再进行安全处置 6.5.5健康危害;皮肤接触产生严重灼伤 吸人燕气或燃烧分解气体可引起类似金属烟尘热的表现 对上呼吸道和眼结膜有刺激作用,严重时引起肺水肿
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GB/T37007一2018 附 录 B 资料性附录) 三甲基嫁化学性质和物理参数 B.1三甲基嫁的化学性质 CAs注册号l445-79 三甲基嫁遇空气自燃,完全反应生成三氧化二嫁、二氧化碳,水,有时会有一甲氧基二甲基饽等中间 产物生成,反应方程式如式(B.1): CH.).Ga十12O一Ga,O十6cO十9H,O B.1 2 三甲基嫁遇水三甲基嫁遇水剧烈反应释放易燃气体,可引起燃烧爆炸,会生成Me,GaOH和 [Me.Ga).o] 等中间产物,完全反应生成氢氧化嫁,并放出甲婉气 反应方程式如式(B.2) B.2 CH,).Ga十3HOGaOH)十3CH 由于三甲基嫁遇水或氧发生剧烈反应,少量的水氧也会生成杂质严重影响三甲基嫁品质,所以需要 对三甲基镶的纯化系统采取良好的密封措施 此外三甲基嫁与AsH、PH 形成稳定的呻化嫁(GaAs)、磷化GaP)和CH,,该反应是它在 MOCVD技术中应用的基础 B.2三甲基嫁的物理参数 表B.1给出了三甲基的部分物理参数 表B.1三甲基嫁的物理参数表 序号 项目 数值 外观 无色透明液体 55.7 沸点(101.3kPa)/c 熔点(101.3kPa)/C -15.8 -18.0 闪点/C 液体密度(15,100kPa)/g/cm' 1 .151 气体密度/kg/m' 4.o P=(8.07一1703/T)×133.3224 lg" 蒸气压方程/Pa T=(C+273.15)K

电子级三甲基镓GB/T37007-2018

电子级三甲基镓是指纯度高于99.9999%的三甲基镓。这种材料具有优良的光电性能和热稳定性，适用于制造光电子元器件。与其他半导体材料相比，电子级三甲基镓的电子迁移率较高，载流子寿命较长，可以提高光电器件的效率和寿命。

根据《电子级三甲基镓GB/T37007-2018》标准，生产电子级三甲基镓需要符合以下条件：

• 原料纯度高：三甲基镓的纯度应达到99.999%以上。
• 生产过程严格：制备电子级三甲基镓的生产过程需要戴手套，操作装置要求无尘或洁净度达到一定要求，以防止杂质污染。
• 检验方法规范：生产出的电子级三甲基镓需要经过严格的质量检验，包括分析纯度、含杂量和掺杂浓度等参数。

此外，《电子级三甲基镓GB/T37007-2018》标准还规定了电子级三甲基镓的性能指标，例如红外吸收率、荧光强度、表面张力等。这些指标可以作为评价电子级三甲基镓质量的依据。

总之，《电子级三甲基镓GB/T37007-2018》标准的发布，为电子级三甲基镓的生产和质量检验提供了详细的规范。符合标准的产品具有纯度高、稳定性好等特点，在太阳能电池、发光二极管、雷达接收器等领域有着广泛的应用前景。

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2022/8/8 5:43:32 现行