吸气剂术语

吸气剂术语

国家标准 GB/T4314一2017 代替GB/T4314一2000 剂 术语 吸气 Getterters 2017-12-29发布 2018-07-01实施 中华人民共利国国家质量监督检验检疙总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/4314一2017 吸 术语 范围 本标准界定了吸气剂一般术语、分类术语及特性术语 本标准适用于真空器件用吸气剂 2 -般术语和定义 2.1 气体量gasqantity Q 处于统计平衡态的理想气体所具有的动能量度,其值等于气体所占有的体积与其压强的乘积 注:必要时,应注明气体温度或换算成20C时的数值,单位为帕[斯卡]立方米(Panm'),或焦[尔](J 2.2 吸附相分子adsorhedgasmolecule 已吸附在固体表面上的气体分子 2.3 气相分子gasmoleculeinspace 对应于吸附相分子而言,处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子 2.4 气流量throughput Q. 单位时间内通过某截面的气体量 单位为帕[斯卡]立方米每秒(Pam:/s). 2.5 漏放率 leak-uprate 系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量 单位为帕[斯卡]立方米每秒(Pam/s) 2.6 吸附adsorptionm 吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象 注，也可以更明确地说成“表吸附” 2.7 吸收absrpton 气体或蒸汽扩散进人到吸气剂或吸气剂膜内部的现象 2.8 吸气sorptiom 由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程 2.9 脱附depton 吸着气体的释放现象
GB/T4314一2017 2.10 脱附速率desorptionrate 在一定压强和温度下,单位时间内固体表面脱附的气体体积数 单位为立方米每秒(m=/s) 注:也称为放气或除气速率(outgassingordegassingrate). 2.11 放气outgassing 真空状态下,材料中气体的自发脱附现象 2.12 除气degassing 促使材料中气体脱附的工艺 2.13 表面扩散surfacedifftusionm 吸附相分子沿吸气剂表面的扩散 2.14 表面扩散活化能aetieeneryofsurfaeedrrusion 单位摩尔气体分子或原子)由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能量 单位为焦每摩尔(/mol 2.15 体扩散bulkdiffusionm 气体在吸气剂体内的扩散 2.16 体扩散活化能aetieenergyofbulkdifusion 单位摩尔气体分子(原子)进行体扩散时所需的最小能量 单位为焦每摩尔(J/mol). 分类术语和定义 3.1 吸气剂getter 在一定条件下,能有效地吸着某些(某种)气体或燕汽,以获得、维持真空以及纯化气体或可以精确 释放特定物质的材料、制剂或元件 3.2 吸气材料getteringmaterial 在一定条件下,对某些(某种)气体具有特殊活性的材料,根据材料的组分,也称为“吸气金属”“吸 气合金等” 3.3 rfilm 吸气剂膜getter 吸气剂中的吸气材料经蒸散后,在沉积面上形成的薄膜 3.4 单质型吸气剂 elementarygetter 由单一元素材料制成的吸气剂 3.5 合金型吸气剂alloygette 由合金材料制成的吸气剂
GB/T4314一2017 3.6 蒸散型吸气剂lashgetter 需采用蒸散工艺,靠吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂 3.7 反应型吸气剂reaetiegetter 蒸散时兼有化学反应的吸气剂 3.8 吸热型吸气剂endothermicgetter 蒸散时呈吸热反应的吸气剂 3.9 放热型吸气剂 exothermicgetter 蒸散时呈放热反应的吸气剂 3.10 noneaporablegeter 非蒸散型吸气剂 不需蒸散,在一定条件下激活后,即有吸气作用的吸气剂 3.11 体吸气剂bulkgetter 表面与实体都能参与吸气,其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂 3.12 低温吸气剂getterforlowtemperatures 经敞话后,在常盐下具备良好吸气能力的眼气剂 3.13 高温吸气剂getterforhightemperatures 经激活后在200C以上才能具备良好吸气性能的吸气剂 3.14 低温激活型吸气剂getterforlowtemperaturesactivation 在500C以下可以有效激活的吸气剂 3.15 高温激活型吸气剂getter forhightemperaturesactivation 在800C以上可以有效激活的吸气剂 3.16 高牢固度吸气剂gte rforhighfirmness 在高强度振动条件下,没有超过微米级微粒脱落的吸气剂 3.17 热子型吸气剂thermistorgetter 以热子加热方式进行激活的吸气剂 3.18 吸气剂载体geterearier 装载吸气剂载料的器具 其形状有;带、槽环、碟、管等;相应称呼为吸气剂带吸气剂环、吸气剂 碟、吸气剂管等 注，也称为吸气剂容器(getercontainer)
GB/T4314一2017 3.19 电阻加热型吸气剂载体ohmieheatingearrier 以直接通电加热方式来加热的吸气剂载体,也称“开式载体”,“开式容器” 3.20 感应加热型吸气剂载体indeetmhetngeaurier 以感应加热方式来加热的吸气剂载体,也称“闭式载体”“闭式容器” 3.21 吸气剂支架gettersupport 用来将吸气剂安装和定位在真空器件中的辅助件,形状有;带、杆、框等 3.22 吸气剂支撑gettermount 用来把吸气剂及其支架(如果有的话)固定在吸气剂测试泡特定位置的机构 3.23 反射器refleetor 在蒸散型吸气剂蒸散时,使吸气材料作定向蒸散的零件 3.24 吸气剂元件getterdeviee 由吸气材料、辅助材料、载体和其他专用部件组合在一起的综合体 注;实际使用中,允许简称吸气剂 3.25 吸气剂载料getterfi 装载于吸气剂载体的吸气材料(含掺气合金)和辅助材料的混合物 3.26 ntofillin 吸气剂装载量 amount inggetter 装人吸气剂载体中的吸气剂载料的重量 单位为克(g) 3.27 掺气dopedgas 在蒸散型吸气剂的蒸散过程中,让一定量合适气体同时进人空间的手段 注:目的在于改善吸气剂膜的结构和分布,用以提高吸气剂膜的吸气能力 3.28 掺气合金alnoy withtlegssdope 含有掺气合金的吸气剂 注，如采用掺氮合金时,就称“掺氮吸气剂” 3.29 掺气吸气剂getterwiththegasdoped 含有掺气合金的吸气剂 注;如采用掺氮合金时,就称“掺氮吸气剂" 3.30 延迟掺气吸气剂getterwiththedelayinggasdoped;DGD 在蒸散过程中分期释放被掺气体的掺气吸气剂 注:英文缩写为DGD(DelayingGasDoped);如采用掺氮吸气剂时,就叫“延迟掺氮吸气剂DelayingNitrogen Doped”
GB/4314一2017 3.31 全产额吸气剂tolalyiedgettee 蒸散型吸气剂中吸气材料接近全部蒸散的吸气剂,也称为全得率吸气剂 3.32 复合型吸气剂combined getter 装有蒸散和非蒸散两种类型吸气材料的吸气剂 3.33 释汞剂mereury ydipn nser 经过一定的工艺处理后,能获得纯汞的制品 3.34 释赤吸气剂eterwiththemereurydispenser" 装有释汞剂的吸气剂 3.35 碱金属释放剂alkalimetaldispenser 经过一定工艺处理后,能获得碱金属的制品 3.36 碱金属释放吸气剂eter withalkalimetaldispenser 将吸气合金作为还原剂的碱金属释放剂 3.37 吸气剂泵eter pump 以吸气材料为吸气源的装置 注:可以代替钛升华系,与溅射离子泵配合以获得清洁真空 3.38 试件sample 煤有热电偶丝的吸气剂试样 3.39 耐高温吸气剂getterforhightemperature-resistmg 通过特殊工艺处理,在大气中经受420C以上温度一定时间烘烤后,仍能满足规定蒸散条件下所具 备的质量要求的蒸散型镇吸气剂或者是指吸气合金中添加有抗烧结剂,在温度950以上、时间大于 5min的激活条件下仍能保证吸气性能的非蒸散型吸气剂 3.40 组合吸气剂combgetter 将非蒸散型吸气剂、化学吸附剂、催化转化剂中的两种或三种按一定顺序装配而成的吸气剂 3.41 lowmeltins 低温永齐 ngpointamalgam 熔点低于250C,有较宽的固液相变温度区间使得其在荧光灯等器件正常工作温度区间内汞蒸气 压随温度的上升低于纯汞的合金 吸气剂特性术语和定义 4.1 surface 吸气表面getter 在吸气剂的工作过程中,参与吸气的表面 单位为平方米(m').
GB/T4314一2017 4.2 视在表面积apparentarea 把吸气剂表面视作完全光滑平整的几何表面时所得的表面积,单位为平方米(m) 4.3 rfieialarea 外在表面积externalsupert 直接受到与吸气剂所处空间相同的气体压强作用的吸气表面的面积,其值与表面粗糙因素有关 单位为平方米(m' 4.4 总表面积totalarea 参与吸气的吸气剂微粒表面积的总和 单位为平方米(m') 4.5 比表面积speiie area 吸气总表面积与视在表面积之比,其值恒大于1 4.6 孔隙度porosity 吸气材料中孔隙的体积占材料儿何体积的百分数 4.7 吸气量gteringqmtity 吸气剂在一定的时间间隔内所吸的气体量 4.8 吸气剂疲劳寿终thefatiguedeadlineofgetter 当非杰散型吸气剂经多次激活或蒸散型吸气剂燕散后,其吸气速率降低到某一规定值时,即称为吸 气剂疲劳寿命终了,简称为疲劳寿终 4.9 吸着容量sorptioneapacity 吸气剂自每次全激活(蒸散)后至疲劳寿终所吸的气体量,用来量度吸气剂能够吸着的气体量,单位 为帕[斯卡]立方米(Pa nm) 4.10 比吸着容量speeiricsoptioneapaecity 单位装载重量吸气材料的吸气容量,或单位视在表面积吸气材料的吸气容量 单位为帕[斯卡]立 方米每克(Pam'/g)或帕[斯卡]立方米每平方米(Pam/m') 4.11 总吸着容量totalsorptioneapacity 能多次激活再生使用的吸气剂,其各次吸气容量的总和 4.12 特征吸着容量fteaturesorptioneapaeity 吸气剂经激活或蒸散启用后,直至其吸气速率下降到终端吸气速率时的吸气量 4.13 -氧化碳吸着容量earbonmoosidesorptioncapaeity 在室温(25)下,直至达到终端吸气速率为止,所吸着的一氧化碳量 4.14 吸气速率getteringrate 在一定压强和温度下,单位时间内吸气剂吸着气体的体积数,作为吸气剂泵使用时,改称“抽速”,必
GB/4314一2017 要时允许两者通用 单位为立方米每秒(m'/s) 4.15 比吸气速率speeifeeterimg" rate 单位视在表面积吸气剂的吸气速率,或单位重量吸气剂的吸气速率 单位为立方米每秒平方米 [[m'/sm=)],或立方米每秒克[m'/(sg)] 4.16 初始吸气速率initialgetteringrate 在选定的温度压强条件下开始测试后3min的瞬时吸气速率 注:上述3min的时间是为忽略瞬时效应而必须采用的延迟,该时间延迟可以根据需要修改,但是需在报告中注明 单位为立方米每秒(m'/s). 4.17 终端吸气速率endpointgetteringrate 人为规定的吸气速率的某一特定值 注，人为规定是为了确定吸气剂对某一气体的吸着容量的试验终点 无特殊说明,是指吸气速率降低至初始吸气 迷率5%时的值 单位为立方米每秒( m/s 4.18 吸着速度sorptionvelocity 单位时间内股气剂所吸着的气体量 单位为帕[斯卡]立方米每秒(Pa”m'/s)或帕[斯卡]升每秒 PaI/s) 4.19 吸气能力getteringabilitsy 吸气剂的吸气速率和吸着容量的综合能力,用来评价吸气剂的工作效能和寿命 4.20 吸着特性曲线sorptioncharacteristies 以吸气剂的吸气速率为纵坐标,以其吸气量为横坐标所绘制的双对数关系曲线 4.21 一氧化碳吸着曲线earbonmoosidesorptioncere 吸气速率的对数值对一氧化碳吸气量对数值的曲线 工轴表示吸气量(Pa”m),其范围由零到理 论容量值 y轴表示吸气速率(m/s)的对数,它必须至少包括四个数量级 该曲线用来比较各种类型 吸气剂的特性;确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能,以及研究吸气剂膜的吸气机理 4.22 氢气吸着曲线hydrogensorptioncurve 吸气速率的对数值对氢气吸气量对数值的曲线 轴表示吸气量(Pa”m'),其范围由零到理论容 量值 y轴表示吸气速率(m'/s)的对数,它必须至少包括四个数量级 该曲线用来比较各种类型吸气 剂的特性;确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能,以及研究吸气剂膜的吸气机理 4.23 吸气剂老化ageingofgetter 吸气剂吸气能力的变劣现象 4.24 吸气剂稳定性stabilityofgetter 吸气剂在某种环境中的理化性能的稳定程度 4.25 放气量outgassingquantity 吸气剂在蒸散或激活过程中所释放出来的气体量 蒸散型吸气剂的放气量分为总放气量和预处理
GB/T4314一2017 后放气量;非蒸散型吸气剂的放气量就是总放气量 单位为帕[斯卡]立方米(Pa”m' 注如不注明,均为采用绝对真空计测量 如采用相对真空计,需注明测量值是折合气体当量，一般为折合氮当量 或氢当量 4.26 总放气量totaloutgassingquantity 蒸散型吸气剂为从室温开始加热到起始蒸散前所测得的放气量,非蒸散型吸气剂为激活全过程中 所测得的放气量 4.27 预处理后放气量preashoutgassingquantity 蒸散型吸气剂在动态真空条件下经350C、15min除气后,让其冷却到100C以下时再开始加热 到起始蒸散前所测得的放气量 4.28 比放气量speeificoutgassingquantity 吸气剂单位装载重量(或单位面积)的总放气量或预处理后放气量 单位为帕[斯卡]立方米每克 Pa”m'/g),或帕[斯卡]立方米每平方米(Pam/m'). 4.29 掺氢量hydrogencntentofgetterwithhnydrogen doped 掺氢吸气剂中所含被掺氢气的量 单位为帕[斯卡]立方米(Pa m') 4.30 掺氮量nitrogencontentofgetterwithnitrogendoped 掺氮吸气剂中所含被掺氮气的量 单位为帕[斯卡]立方米(Pam') 4.31 含银量bariumeontent 含镇吸气剂载料中金属锁所占的重量 单位为克(g). 4.32 得银量bariumyiea 从含锁吸气剂中蒸散出来的量 单位为克(g) 如未指定具体蒸散条件,则其含义为依据制造 商推荐的总蒸时间与起蒸时间的中间值所能蒸散出来的镇,即标称得颚量 4.33 得钢率bariumrate 得钏量与含颚量之百分比 4.34 颚膜分布bariumfilmdistribution 含颚吸气剂蒸散后,金属颚在沉积区的分布状态 4.35 膜纯度purityofbariummfilm 钏膜中不受铝、镍等杂质污染的程度 4.36 得量一致性consisteneyofbartumyieat 依据标准工艺规范,以恒定的起蒸时间所对应的加热功率,恒定的总蒸时间,先后蒸散九个以上的 吸气剂,所得起蒸时间和得颚量的标准偏差
GB/4314一2017 4.37 表面吸附决定区intervaldeterminelbysurlaeeadsorpton 吸气剂的吸着速度决定于表面吸附速度时的时间区间 4.38 扩散决定区interaldeterminelbydifrfusion 吸气剂的吸着速度决定于扩散速度时的时间区间 4.39 转换温度eritiealtemperature 从表面扩散为主转换到体扩散为主的温度 4.40 蒸散lashing 因受感应加热或电阻加热而引起的蒸散型吸气剂内所含吸气材料的蒸发现象 4.4 蒸散条件lashingconditonm 用电阻加热装置或感应加热装置使蒸散型吸气剂蒸散时所规定的起蒸时间和总蒸时间 注，感应加热装置频率范围为250kHz一450kH 4,42 总蒸时间totaltime t 蒸散型吸气剂加上加热功率期间的全部时间间隔 单位为秒(s). 4.43 起蒸时间 starttime 用肉眼观察燕散型吸气剂被加热至蒸发的那一瞬间称为开始燕散 从加上加热功率到开始蒸散 即闪亮)的时间间隔即为起蒸时间 单位为秒(s) 注:一般以1，标示 4,44 得钢量报告bariumyieldreport 标明如下项目数据和曲线的报告 得钏量; a b得颚率; c 得锁量一致性; d)蒸散曲线 4.45 蒸散曲线lashimgcharaeteristies 以总蒸时间为参变量,得颚量为纵坐标,起蒸时间为横坐标所绘制的曲线 注:也称为得量曲线bariumyieldcurve),用此可评述各种蒸散型吸气剂的得量特性 并据此以制定最佳蒸 散工艺规范 4,46 热蒸散holashins 当沉积区温度超过100C时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺 4.47 冷蒸散coldlashing 当沉积区为室温或接近室温时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺
GB/T4314一2017 4.48 过蒸散 overflashing 蒸散过程中,由于蒸散温度过高等原因所造成载料中的铝、镍以及载体金属等的过量蒸发 4.49 蒸散区间lashinginterval 适当地选择合乎实用的起蒸时间和总燕时间的不同组合,使得颚量在某一规定的范围内,反映在蒸 散曲线上,这种不同组合所对应的区间称为“蒸散区间” 从蒸散区间探讨中,可提供获得高得颚量的最 佳工艺规范 4.50 激活aetivation 在一定真空度下,将吸气剂加热到一定温度并保持一定时间,从而使吸气剂具有吸气能力的工艺 4.51 全激活fuaetivatiom 使吸气剂获得最大吸气能力的激活 4.52 部分激活fraetioaryactiation 未达到最大吸气能力的激活 4.53 激活温度activationarytemperature 使吸气剂达到激活目的的温度 4.54 激活时间aetivationarytime 吸气剂加温激活时、保持激活温度的时间 4.55 再生regeneration,reactivationm 将工作后已失去吸气能力的吸气剂再次激活以恢复吸气能力的工艺 4.56 加温再生reactivationbyheat-up,hotreaetivation 在一定真空度下,借提高温度以完成再生的工艺 4.57 降压再生reactatioyredeingprssure 在一定温度下,借提高真空度以完成再生的工艺 4.58 释氮吸气动态曲线 nitrogen-releasedversusgasabsorbeddynamiccurve 掺氮吸气剂蒸散过程中,静态测试容器内压强随时间变化的曲线 它可以形象地描述和准确地折 算掺氨吸气剂试样在显像管等真空器件内蒸散过程中压强的变化情况 4.59 释氮量nitrogen-releasedquantity 掺氮吸气剂试样在蒸散时所释放出的氮气量 4.60 释汞量 releaselquantity mercury 在给定条件下,从释汞吸气剂中释放出的永量 10
GB/4314一2017 4.61 总释汞量 totalmercury-releasedlquantity 释汞吸气剂在压强低于10-？Pa、温度950C保温5nmin条件下所得的释汞量 4.62 标准释汞量 standardmercury-releasedquantity 释汞吸气剂在300Pa氧分压强的真空中,经历一定升温规范的过程后所得的释汞量 注:其测试条件与实际使用情况接近,为选择释永吸气剂用量提供依据 4.63 释汞率mereury-releaselrate 释汞吸气剂在一定的测试条件下释汞量与同批释汞吸气剂平均含汞量的百分比 4.64 释赤特性曲线mereuryyieldcharacteristiccurve 释汞吸气剂加热温度-释汞率曲线 它综合表征释汞吸气剂释汞性能的优劣 4.65 释汞吸气剂热稳定性thermalstableforgettermererydispenser 释汞吸气剂在应用中可能经历的工艺过程内,由于温度的影响所引起的预先释汞的程度 用释汞 吸气剂在除汞蒸气的压强外,所有气体的分压小于10-'Pa的真空中,l0s中加热至500C,然后以保 温30后的释汞率表示 4.66 游离汞freemereury 释汞吸气剂在存放过程中,由于合金不稳定而逐渐分解出的单质汞 以在大气压力下加热到 300C,所释放出的汞燕气的质量表示 11
GB/T4314一2017 索 引 汉语拼音索引 2.11 放气 钢膜纯度 2.10 4.35 放气或除气速率 钒膜分布 4.34 放气量 4.25 比表面积 4.5 放热型吸气剂 3.9 比放气量 4.28 非蒸散型吸气剂 3.10 4.15 比吸气速率 复合型吸气剂 3.32 4.10 比吸着容量 c 标准释乘量 表面扩散 2.13 感应加热型吸气剂载体 3.20 表面扩散活化能 2.14 高牢固度吸气剂 3.16 表面吸附决定区 4.37 高温吸气剂 3.13 部分激活 高温激活型吸气剂 4.52 3.15 过蒸散 4.48 4.30 掺氮量 3.27 4.31 掺气 含银量 掺气合金 3.28 合金型吸气剂 3.5 掺气吸气剂 3.29 掺氢量 4.29 初始吸气速率 4.16 激活 4.50 除气 2.12 激活时间 4.54 45 激活温度 4.56 加温再生 4.57 单质型吸气剂 降压再生 碱金属释放剂 3.35 得量 4.32 得银量报告 4,44 碱金属释放吸气剂 3.36 得钢量曲线 4.45 4.36 得钢量一致性 4.33 4.6 普* 得钢率 孔隙度 4.38 低温汞齐 3.41 扩散决定区 低温吸气剂 3.12 低温激活型吸气剂 3.14 电阻加热型吸气剂载体 3.19 冷蒸散 4.47 漏放率 2.5 3.23 反射器 3.39 反应型吸气剂 耐高温吸气剂 12
GB/T4314一2017 4.1 吸气表面 吸气材料 3.2 起蒸时间 4.43 3.1 吸气剂 2.4 3.37 气流量 吸气剂泵 气体量 2.1 吸气剂老化 4.23 气相分子 2.3 吸气剂膜 3.3 4.22 吸气剂疲劳寿终 氧气吸着曲线 4.8 3.31 3.18 全产额吸气剂 吸气剂容器 全激活 4.51 吸气剂稳定性 4.24 吸气剂载料 3.25 3.18 吸气剂载体 4.46 热蒸散 吸气剂支架 3.21 热子型吸气剂 3.17 吸气剂支撑 3.22 吸气剂装载量 3.26 3.24 吸气剂元件 释氮量 4.59 吸气量 4.7 释氮吸气动态曲线 4.58 吸气能力 4.19 释汞剂 吸气速率 3.33 3.8 释汞量 4.60 吸热型吸气剂 释汞率 4.63 吸收 2.7 释汞特性曲线 4.64 吸着容量 4.9 3.34 释汞吸气剂 吸着速度 4.65 4.20 释汞吸气剂热稳定性 吸着特性曲线 试件 3.38 视在表面积 4.2 3.30 延迟掺气吸气剂 氧化碳吸着曲线 4.21 特征吸着容量 -氧化碳吸着容量 4.13 4.12 体扩散 2.15 预处理后放气量 4.27 4.66 体扩散活化能 2.16 游离汞 体吸气剂 3.11 脱附 2.9 脱附速率 2.10 再生 4.55 4.40 蒸散 蒸散区间 4.49 外在表面积 4.3 蒸散曲线 4.45 4.41 蒸散条件 蒸散型吸气剂 3.6 终端吸气速率 吸附 4.17 2.6 吸附相分子 2.2 转换温度 4.39 吸气 2.8 总表面积 13
GB/T4314一2017 4.26 4.42 总放气量 总蒸时间 总释汞量 4.61 组合吸气剂 3.40 总吸着容量 4.11 英文对应词索引 absorption 2.7 4.50 aetivation aetivationarytemperature aionaryvtime 2 2.16 sior energyofbulk 217 Surfacedifusionm energy 2 gasmoleeule 2 ads0rDtion 28 ngeingofgetter 335 alkalimetaldispenser 3.5 alloygetter 3.28 alloywiththegasdopedl amountoffilin 3.26 linggetter 4.2 apparentarea 4.31 bariumcOntent bariumfilmdistribution 4.34 bariumrate 4.33 bariumyield 4.32 4.45 bariumyielderve 4.44 bariumyieldreport 2.15 bulkdiffusion bulkgetter 3.11 4.13 carbonmonoxidesorptioncapaeit 4.21 carbonmonoxidesorptioncurve 4.47 col laShlng 3.32 nedgetter 3.40 getter 4.36 onsisteneyofbariumyield 4.39 criticaltemperature 2.12 degassing 14
GB/T4314?2017 2.9 desorption 2.10 desorptionrate DGD 3.30 3.27 dopedgas elementargetter 3.8 endothermicgetter 4.17 endp0intgetteringrate externalsuperficialarea 4.3 3.9 eX0thermicgetter featuresorptioncapacity 4.12 flashgetter 3.6 4.40 4.45 characteriSticS 4.41 4.49 4.52 fractionaryactivationm 4.66 freemereury fullactivation 4.51 gasmoleeuleinspce 2.3 2.1 gasquantity 3.1 getter 3.18 gettercarrier 3.18 gettercontaine 3.24 getterdevice 3.25 getterfill 3.3 getterfilm 33 16 getterforhighfirmness 3 .13 getterforhightemperatures .15 33 getterforhightemperaturesactivation 3.39 getterforhightemperatureresisting getterforlowtemperatures 33 .12 3.14 getterforlowwtemDeraturesactiivation 4.19 gettering 3.2 getteringmateria 4.7 getteringquantit 4.14 getteringrate 3.22 gettermount 15
GB/T4314?2017 3.37 getterpummp 3.21 gettersupport 4.1 getterSurface 3.36 getterwithalkalimetaldisSpenser 4.30 getterwiththedelayinggasdoped 3.29 getterwiththegaSdOped 3.34 eterwiththemereurydispenser hotlashing 4.46 hotreactivationm 4.56 hydrogencontentofgetterwithhydrogendoped 4.29 ydrogensorptioncure 4.22 Induetionheatingcarrier 3.20 initialgetterpumpingspeed 4.16 intervaldeterminedbydiffusion 4.38 intervaldeterminedbysurfaceadsorption 4.37 Leak-uprate 2.5 lowmeltingpointamalgam 3.41 M 3.33 mercurydispenser 4.60 mercury-releasedquantit 4.63 mercury-releasedrale 4.64 mercuryyieldcharaeteristiccurve 4.30 nitrogencontentofgetterwithnitrogendoped 4.59 nitrogen-releasedquantity 4.58 mitroge-releasedversusgasabsorbeddynamiecurve 3.10 nonevaporablegetter 3.19 ohmicheatingcarrier 2.11 outgassing 2.10 outgassingordegassingrate 4.25 outgaSsingquantity nashing 4.48 0ver 16
GB/T4314?2017 4.6 porosity ntity 4.27 prelashoutgassingquant ofbariufilm 4.35 puriy 4.56 reactivationbyheat-up 4.57 reactivationbyredueingpressur 3.7 getter ivege 3.23 4.55 Vati0n 4.55 regenerati0n Sample 3.38 2.8 S0rptiOn sorptionapaeity 4.9 sorptioncharacterristies 4.20 veloeity 4.18 S0T 4.5 rate 4.15 4.28 4.10 sorptioncapacity 4.24 stabilityofgetter 4.62 standardmereury-releasedquantity 443 starttime 2.13 surfacediffusion 4.8 thefatiguedeadlineofgetter 4.65 thermalstableforgettermercurydispenser 3.17 thermistorgetter 2.4 ihroughput 4.4 totalarea 4.61 totalmercury-releasedquantity 4.26 totaloutgassingquantit 4.11 totalsorptioncapacit 4.42 totalti1e 3.31 totalyieldgetter 17