GB/T20510-2017
氧化铟锡靶材
Indium-tinoxidetarget
- 中国标准分类号（CCS）H62
- 国际标准分类号（ICS）77.150.60
- 实施日期2018-05-01
- 文件格式PDF
- 文本页数7页
- 文件大小481.92KB
氧化铟锡靶材
国家标准 GB/T20510一2017 代替GB/T205102006 氧化绸锡靶材 Indium-tin0xidetarget 2017-10-14发布 2018-05-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T20510一2017 氧化钢锡靶材 范围 本标准规定了氧化钢锡(简称ITO)靶材的要求,试验方法、检验规则及标志、包装,运输与贮存、质 量证明书、订货单(或合同)内容等
本标准适用于以99.99%金属钢、锡为原料生产的氧化钢锡靶材,用于制作透明导电膜
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GB/T351金属材料电阻系数测量方法 GB/T5163烧结金属材料(不包括硬质合金可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的 测定 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T13298金属显微组织检验方法 GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件
3.1 表观密度density 每单位体积物质的质量
3.2 相对密度relatvedensity 物质的密度与参照物的密度的比值
注:在本标准中氧化钢锡靶材的相对密度为靶材表观密度与理论密度的比值
氧化钢锡靶材当质量百分比 n.o:SnO=90:10时,理论密度以7.155g/cm'计算
3.3 开尔文电桥kelinbridge 开尔文电桥,是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器,具有很高的灵敏度和准确性,在电测技 术和自动控制测量应用极为广泛
而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形,在测量小阻值电阻(通常<1欧) 时具有相当高的准确度,适于测量10-Q~10Q低阻值电阻
要求 4.1产品分类 氧化圜锡靶材按相对密度分为三个牌号:RD99.0,RD99.5,RD99.7
GB/T20510一2017 4.2化学成分 4.2.1主要成分 氧化钢和氧化锡的质量百分比In,O;SnO=90:10,偏差为士0.5. 4.2.2氧化钢锡靶材的主要杂质成分应符合表1的规定
表1氧化绸锡靶材主要杂质成分 杂质含量,质量分数不大于(×10- Fe Al Si Cu Pb Cd Cr Tl Ni 总和 15 15 100 注，杂质总和为包含且不限于表中所列杂质元素实测值之和. 4.2.3需方如对氧化钢锡靶材主要成分的质量百分比和杂质成分有特殊要求时,由供需双方商定 4.3物理性能 4.3.1相对密度:RD99.0,RD99.5、RD99.7牌号的氧化钢锡靶材相对密度应分别>99.0%、99.5%、 99.7%;密度均匀性偏差为士0.2
4.3.2电阻率;<1.6×10-Qcm 4.3.3线膨胀系数:6×10-4C-'9×10-C-" 4.4物理规格 氧化钢锡靶材呈片状或其他形状,其规格尺寸及其偏差由供需双方商定
4.5表面质量 4.5.1表面粗糙度;Ra<1.6(4m)
4.5.2氧化钢锡靶材呈黑色或灰黑色,颜色应均匀
4.5.3氧化钢锡靶材表面应平整,无裂纹,无明显崩边,气孔直径不大于0.3mm,且无任何外来夹杂 物、缺陷和污染物
4.6组织均匀性 氧化钯锡靶材的SnO固熔到lIn.O中,Sn在靶材中均匀分布,晶粒均匀
5 试验方法 5.1化学成分分析方法 氧化圜锡靶材化学成分的仲裁分析方法由供需双方商定
5.2物理性能检验方法 5.2.1表观密度检验方法 氧化钢锡靶材的表观密度按GB/T5163的规定进行测定
GB/T20510一2017 5.2.2电阻率检验方法 氧化钢锡靶材的电阻率按GB/T351的规定进行测定
5.2.3线膨胀系数检验方法 氧化钢锡靶材线膨胀系数的按GB/T16535的规定进行测定
5.3物理规格 氧化钢锡靶材的物理规格采用相应精度的测量仪器进行测定
5.4表面质量 氧化钢锡靶材的表面质量采用目视法或相应仪器进行检验
5.5组织均匀性 氧化钢锡粑材的组织均匀性采用GB/T13298的规定进行检验 检验规则 6.1检查和验收 6.1.1氧化钢锡靶材应由供方质量技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准或订货单(合同 的规定,并填写质量证明书
6.1.2需方对收到的产品按本标准的规定进行检验
如检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不 符时,应在收到产品之日起30天内向供方提出,由供需双方协商解决
如需仲裁,仲裁取样在需方由供 需双方共同进行
6.2组批 氧化钢锡粑材应成批提交检验,每批应由同一生产工艺、同一批原料生产的产品组成
6.3检验项目 6.3.1每批氧化圜锡靶材应进行化学成分、物理性能、组织均匀性的检验
6.3.2每片(件)氧化锯锡靶材应进行物理规格、表面质量的检验
6.4取样和制样 6.4.1化学分析试样的采取和制备 氧化钢锡靶材化学分析样的采取和制备方法由供需双方商定
6.4.2物理性能检验试样的采取 6.4.2.1表观密度检验试样的采取;从产品中按片(件)随机抽取10%样品,但不少于1片(件),沿靶材 的中心线,用线切割机等距分取20mm×20mm的样品3一4块,用超声波清洗器清洗干净后进行表观 密度的测定 6.4.2.2电阻率检验试样的采取;从产品中按片(件)随机抽取10%的样品,但不少于1片件),用线切
GB/T20510一2017 割机沿氧化钢锡靶材的边切割长120mm的矩形长条2个,用超声波清洗器清洗干净后进行电阻率的 测定
6.4.2.3线膨胀系数检验试样的采取:从产品中按片(件)随机抽取10%的样品,但不少于1片(件),用 线切割机沿氧化钢锡靶材的边切削下与标准样品尺寸一致的长条2个,用超声波清洗器清洗干净后进 行线膨胀系数的测定
6.4.3组织均匀性检验试样的选取 组织均匀性检验试样的选取由供需双方商定
6.5检验结果的判定 6.5.1氧化锯锡靶材检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T8170中的有关规定进行
6.5.2氧化锻锡靶材的化学成分、物理性能和组织均匀性的检验结果与本标准或订货单(合同)的规定 不符时,按批判不合格
6.5.3氧化钢锡靶材的物理规格、表面质量与本标准或订货单(合同)的规定不符时,按片件)判不 合格
包装、标志、运输与贮存、质量证明书 7.1包装 每片氧化钢锡靶材应在洁净环境下采用真空包装,并采用相应的防震措施
7.2标志 每片(件)氧化铜锡肥材的包装上应标注注册商标(或企业标志),产品名称,批号及产品合格标志 7.3运输与贮存 氧化钠锡靶材应存放在干燥阴凉的库房
运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次 污染
7.4其他 需方如对氧化钢锡靶材的标志,包装、运输与贮存有特殊要求时,由供需双方商定
7.5质量证明书 每批氧化钢锡粑材出厂时应附质量证明书,其上注明 供方名称和商标; a 产品名称; b 牌号 c d 批号; 净重和件数; 分析检验结果和技术监督部门印记 fD) 本标准编号; g h)出厂日期
GB/T20510一2017 订货单(或合同)内容 本标准所列材料的订货单(或合同)内应包括下列内容 a 产品名称; b 牌号; c 化学成分、物理性能、物理规格,表面质量等特殊要求; d)数量; e 本标准编号; fD 其他
氧化铟锡靶材GB/T20510-2017介绍
氧化铟锡靶材是一种重要的薄膜材料，在信息存储、平面显示、太阳能电池等领域得到广泛应用。根据国家标准GB/T20510-2017的要求，氧化铟锡靶材应该具有以下技术要求：
- 化学成分：In2O3-SnO2或In2O3-SnO2-ZnO
- 形状：圆形或方形，直径或边长一般为1英寸或2英寸；厚度一般为0.125英寸至0.25英寸之间。
- 密度：≥6.8g/cm³
- 导电率：≥100S/cm
- 纯度：≥99.99%
氧化铟锡靶材的制备方法主要有物理气相沉积法、溅射法和热蒸发法等。其中，物理气相沉积法是一种常用的制备方法，其原理是将高纯度的氧化铟锡材料加热至高温，使其升华成为气态，然后在基底表面进行凝固形成靶材。
氧化铟锡靶材具有良好的导电性能、光学性能和化学稳定性，可以制备出优质的透明导电薄膜。未来随着技术的不断进步和应用领域的拓展，氧化铟锡靶材的市场需求将会进一步增长。
