GB/T30861-2014
太阳能电池用锗衬底片
Germaniumsubstrateforsolarcell
- 中国标准分类号（CCS）H82
- 国际标准分类号（ICS）29.045
- 实施日期2015-04-01
- 文件格式PDF
- 文本页数9页
- 文件大小309.08KB
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太阳能电池用锗衬底片
国家标准 GB/T30861一2014 太阳能电池用绪衬底片 Geraniusubstrateforsolarcel 2014-07-24发布 2015-04-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T30861一2014 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会SAC/TC203及材料分技术委员会 sAC/TC203/sC2)共同提出并归口
本标准起草单位中错科技有限公司,云南临沧鑫圆错业股份有限公司,厦门乾照光电有限公司、天 津三安光电有限公司
本标准主要起草人:孙小华、刘绍良、张莉萍、普世坤、王向武、林桂江
GB/T30861一2014 太阳能电池用储衬底片 范围 本标准规定了太阳能电池用储衬底片的要求,试验方法,检验规则以及标志、包装,运输、储存质量 证明书与订货单(或合同内容
本标准适用于垂直梯度凝固法(VvGF)和直拉法(CZ)制备的太阳能电池用错衬底片(以下简称错衬 底片 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分;按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6619硅片弯曲度测试方法 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6620 硅片表面平整度测试方法 GB/T6621 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T6624 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T13387 太阳能电池用错单晶 GB/T26072 要求 产品分类 3.1 错衬底片按导电类型分为两种 a)N型;主要用于单结电池; b)P型:主要用于三结电池
3.2规格 错衬底片按直径分为中50.8mm,p100mm、p150mm
3.3物理性能及位错密度 错衬底片导电类型、掺杂剂、电阻率、晶品向及晶向偏离度、载流子浓度和位错密度应符合 GB/T26072的规定
3.4外形尺寸 错衬底片的外形尺寸应符合表1的规定
GB/T30861一2014 表1外形尺寸 项目 要求 直径/mm 50.8 100 150 直径允许偏差/mm 士0.2 士0.2 士0,2 240~27o 厚度、中心点/m 140200 140200 厚度允许偏差/ 士15 士15 士15 /Mm 主参考面长度/mm 17士1.0 32.5士1.0 57.5土2.5 总厚度变化(TTV)/am" 10 S15 <15 弯曲度(BOW)/am 15 <20 30 翘曲度(wARP)/m 15 20 30 总平整度(TIR>)/m s5 5 3.5强度 50.8mm、100mm、150mm 错衬底片的强度都应多22.25N(51bf) 3.6表面质量 错衬底片的表面质量应符合表2的规定
表2表面质量 序号 项目 最大缺陷限度 划伤 无 蚀坑 无 无 雾 错衬底片直径/mm 150 50.8 100 亮点 颗粒沾污) 10 5 数量(个/片) 正 区域沾污 表 崩边 无 面 裂纹 无 E 凹坑 沟(槽 无 小丘 10 橘皮,波纹 无 ll 状态 开盒即用 13 崩边 无 14 裂纹 无 区域沾污 15 无 面 酸或碱腐蚀,吸除处理或由供需双方商定 16 背表面处理
GB/T30861一2014 3.7其他 需方如有对本标准规定以外的技术要求,由供需双方另行商定 试验方法 4.1错衬底片的导电类型,电阻率,晶向及晶向偏离度、载流子浓度、位错密度测量按GB/T26072规 定的方法进行
4.2错衬底片的直径测量用千分尺或精度相当的量具进行 4.3错衬底片的厚度和总厚度变化测量参照GB/T6618规定的方法进行
4.4储衬底片的主参考面长度的测量参照GB/T13387规定的方法进行
4.5储衬底片的弯曲度的测试参照GB/T6619规定的方法进行 错衬底片的翘曲度的测试参照GB/T6620规定的方法进行 4.6 4.7 错衬底片的总平整度的测试参照GB/T6621规定的方法进行
4.8错衬底片的强度的测试参照附录A进行
4.9错衬底片的表面质量的测试参照GB/T6624规定的方法进行
检验规则 检查和验收 5.1 5.1.1产品应由供方技术(质量)监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或合同)的规定,并填 写产品质量证明书
5.1.2需方可对收到的产品按本标准(或合同)的规定进行检验,若检验结果与本标准(或订货合同)的 规定不符时,应在收到产品之日起三个月内向供方提出,由供需双方协商解决
5.2组批 错衬底片应成批提交验收,每批应由相同规格的产品组成
5.3检验项目 每批错衬底片抽检的项目有物理性能及位错密度,外形尺寸、强度和表面质量
5.4抽样验收 5.4.1每批错衬底片如属非破坏性测量的项目,检测按GB/T2828.1一般检验水平l,正常检验一次 抽样方案,或由供需双方协商确定的抽样方案进行
5.4.2如属破坏性测量的项目,检测按GB/T2828.1特殊检验水平S-2,正常检验一次抽样方案,或由 供需双方协商确定的抽样方案进行
5.5检验结果的判定 5.5.1错衬底片的导电类型晶向与本标准规定不符时,则判该批产品为不合格
5.5.2错衬底片的其他检验项目的接收质量限(AQL)见表3
抽检不合格的产品,供方可对不合格项 进行全数检验,除去不合格品后,合格品可以重新组批
GB/T30861一2014 表3检验项目及接收质量限 检验项目 接收质量限(AQL 序 电阻率 1.0 直径允许偏差 1.0 厚度允许偏差 .0 1.0 主参考面长度 总厚度变化 1.0 弯曲度 1.0 翘曲度 l.0 6 总平整度 l.0 强度 1.0 划伤、蚀坑、 ,雾 累计1.o 1.0 亮点 区域沾污 1.0 10 表面质量 崩边、裂纹 累计1.0 沟槽、凹坑、小丘、橘皮 累计1.0 波纹 1.0 累计 2.5 5.5.3需方如有其他判定要求,由供需双方另行商定
标志、包装、运输和贮存 6.1标志和包装 6.1.1储衬底片应在5级洁净室的环境中,装人专用的装运盒,外用洁净的塑料袋和防潮、防静电的铝 箔袋充氮气真空包装
6.1.2上述产品包装完后,贴上标签,注明;生产厂名称、商标、产品名称,型号、规格、产品编号、净重、 执行标准、生产日期
6.1.3将经过包装的错衬底片装人包装箱内,并装满填充物,防止松动
包装箱外侧应有“小心轻放”、 “防潮”,“易碎”,“防腐”等标识,并标明. a)需方名称,地点; b)产品名称; e)产品片数及重量(毛重/净重); 供方名称
d 6.2运输和储存 产品在运输过程中应轻装轻卸,匆压勿挤,并采取防震防潮措脸 6.2.1 6.2.2产品应贮存在清洁、干燥的环境中
6.2.3每批产品应附有产品质量证明书,其上注明
GB/T30861一2014 供方名称 a b 产品名称及规格 c 产品批号 d产品净重及片数 e 各项参数检验结果和检验部门的印记 f 本标准编号 出厂日期
g 订货单(或合同内容 本标准所列材料的订货单(或合同)内应包括下列内容 a 产品名称; 型号 b c) 数量; d)规格、技术要求; 本标准编号 e 其他需要协商或增加标准以外要求的内容
f
GB/T30861一2014 附 录A 规范性附录 错衬底片强度测试方法 A.1范围 本方法规定了错衬底片强度的测试方法
A.2方法提要 首先调整加压探头与圆环形托架之间的距离,以便将错衬底片放在一个圆环形托架的平台上,如图 A.1所示
加压探头以一定的速度向圆环形托架做相对运动
当加压探头与错衬底片接触时,将以一 定的力施压在绪衬底片上,直至错衬底片破裂为止,系统自动记录错衬底片所能承受的最大压力,将这 -压力值记为试样的机械强度
错片 托架 图A.1强度测试原理图 A.3干扰因素 A.3.1由于圆环形托架的尺寸对测量结果有影响,测量时应根据错衬底片的尺寸选择合适的圆环形 托架
A.3.2由于探针压力对测量结果有影响,测量时应选择合适的加压探头
A.3.3设备硬件的不同或测量参数的不同设置可能会影响测量结果
A.3.4加压探头和圆环形托架平台之间的外来颗粒、沾污会影响测量结果
A.4仪器及样品 A.4.1仪器 A.4.1.1压力探针
A.4.1.2电动立式测试台
A.4.1.3圆环形托架 A.4.2环境条件 测试温度20C士5笔,相对湿度<65%
GB/T30861一2014 A.4.3样品 待测错衬底片,应具有清洁、干燥的表面
A.5测量步骤 3mm/min A.5.1将电动立式测试台的速度设为0.2 1,加压探头将以该设定的速度垂直向测 mm/min一 试台的圆环形托架运动
A.5.2调整圆环形托架与加压探头之间的距离,以便将错衬底片放在圆环形的平台上
A.5.3将错衬底片放在圆环形托架的平台上
A.5.4按相应的按钮,加压探头将以设定的速度向圆环形托架运动,直至错衬底片破裂,系统将自动记 录压力的峰值
记下系统给出的压力值及单位
A.5.5
太阳能电池用锗衬底片GB/T30861-2014
太阳能电池是一种利用光电效应直接将太阳光转换成电能的设备。其中最重要的部件就是锗衬底片。锗衬底片是太阳能电池中的基础材料，对太阳能电池的性能有着至关重要的影响。
锗衬底片的主要作用是提供一个可靠的基础支撑，并通过与其他材料的结合来形成PN结。 PN结是太阳能电池的关键部分，它被用于产生光电效应并将光能转化成电能。
按照现行的国家标准GB/T30861-2014，太阳能电池使用的锗衬底片应该符合以下要求：
- 纯度要求：锗衬底片的纯度应不低于99.999%。
- 尺寸要求：锗衬底片的直径应在100mm-150mm之间，厚度应在300um-350um之间。
- 表面要求：表面应无裂缝、无气泡、无异物，并且光洁度应达到Ra 0.2nm以下。
- 电学性能要求：导电类型为n型或p型，电阻率应在0.01Ω·cm至50Ω·cm之间。
符合GB/T30861-2014标准的锗衬底片具有良好的电学性能和稳定性，可有效提高太阳能电池的转换效率和使用寿命。
综上所述，锗衬底片是太阳能电池中不可或缺的重要组成部分，它的质量对太阳能电池的性能和寿命都有着至关重要的影响。我们应该根据国家标准GB/T30861-2014来选择优质的锗衬底片，以保证太阳能电池的正常工作和长期稳定性。
