国家标准 GB/T17874一2021 代替GB/T17874一2010 电子特气三氯化棚 Eleetrmiespetialygs一Bwrntriehwride 2021-10-11发布 2022-05-01实施国家市场监督管理总局发布国家标涯花警理委员会国家标准
GB/17874一2021 前言本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分;标准化文件的结构和起草规则》的规定起草本文件代替GB/T17874一2010《电子工业用气体三氧化碉》与GB/T21287一2007相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下 -更改了三氯化棚应符合的技术要求(见第4章,2010年版的第3章) -更改了检验规则的要求(见第5章,2010年版的4.1); 更改了纯度计算方法(见6.1,2010年版的4.2); 更改了氧十氯、氮、一氧化碳、二氧化碳甲婉含量的测定方法(见6.2,2010年版的4.4、4.5) 增加了四氯化硅含量的测定方法(见6,2) -增加了氯气含量的测定方法(见6.3); 增加了碳酰氯、氯化氢含量的测定方法(见6.4); -更改了金属元素的鹉定方法(见65. 2010年版的4.7); 删除了颗粒的测定(2010年版的4.8); 更改了标志,包装、运输及贮存(见第7章,2010年版的第5章); -更改了安全信息(见7.3,2010年版的5.2). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sAc/Tc203)提出并归口本文件起草单位;大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体(上海)有限公司、太和气体(荆州)有限公司、广东华特气体股份有限公司,海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处杭州国家电子商务产品质量监测处置中心、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谐分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司、,浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司,西南化工研究设计院有限公司武汉分公司,西南化工研究设计院有限公司双流分公司本文件主要起草人;施旖旎、赵趟、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余曹素英、宋富财、苏子杰,廖恒易、刘健、史婉君,张建君、王新喜、孙猛,史售涛周礼誉、隔春利张琦炎吕博文、陈洁吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德余民、周鹏云、沈翠平本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: 1999年首次发布为GB/T17874一1999,2010年第一次修订; 本次为第二次修订
GB/17874一2021 电子特气三氯化棚范围本文件规定了电子级三氯化棚的技术要求、检验规则试验方法、标志,包装、运输、贮存及安全信息的要求本文件适用于以粗制三氯化棚为原料提纯制得的电子级三氯化砌规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099(所有部分钢质无缝气瓶 GB/T7144气瓶颜色标志 1736居住区大气中氯卫生检验标准方法甲基橙分光光度法 GB 14193液化气体气瓶充装规定 GB 化学品安全标签编写规定 GB15258 16804气瓶警示标签 GB GB/T28726气体分析缸离子化气相色谱法大容积钢质无缝气瓶 GB/T33145 GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感羁合等离子体质谱法 TsG07特种设备生产和充装单位许可规则气瓶安全技术规程 TSG23 术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义技术要求三氯化碉的技术要求应符合表1的规定表1技术要求项目指标三氧化碉(HBCl)纯度(体积分数)/10- >99.999 >99.9995 >99.9999 氧十氧)(o十An)含量(体积分数)/10-" 0.5 <0,25
GB/T17874一2021 表1技术要求续项目指标氮(N,)含量(体积分数)/10- <0.5 <0.30 0,05 氧化碳(co)含量(体积分数)/ 10-6 0.3 二氧化碳(co.)含量(体积分数)/10" 0.5 0.l 0.5 甲烧(CH,)含量(体积分数)/10-" 0.5 0.l 叙气(Cl)含量(体积分数)/1" 10-6 0.5 0. 0. 碳酰氯(coCl,)含量(体积分数)/10 0.l 氯化氢(HC|)含量(体积分数)/10" <3 四氯化硅(siCl,)含量(体积分数)/10" <0.l 杂质总含量(体积分数)/10" 5 10 钙(Ca)含量/g/ke) GB/17874一2021 5.2采样三氯化碉的采样安全应符合GB/T3723的规定 5.3尾气处理测定时,应有三氯化酬尾气处理措施,以防止三氯化碉对环境的污染试验方法警示本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护措施 6.1三氯化棚纯度 6.1.1 杂质总含量杂质总含量按公式(1)计算 p0=中十中十p十中十中十中，十中十中十中式中: p 氧十氯)含量(体积分数),l0-; 氮含量(体积分数),10-" p: -氧化碳含量(体积分数),10-" 二二氧化碳含量体积分数),10-" 奴 p 甲婉含量(体积分数),l0 气含量(体积分数),10 碳酰氯含量体积分数),10 更 p 氯化氢含量体积分数),10-" p -四氯化硅含量(体积分数),l0- 杂质总含量(体积分数),10-" o 6.1.2三氯化棚纯度三氯化碉纯度按公式(2)计算 p=l00一中n×10 式中三氯化碉纯度(体积分数),10-" 6.2氧十氲、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲炕、四氯化硅含量的测定 6.2.1测定方法按GBy/T28726规定的切割进样的方法测定三氧化棚中氧十氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲婉、四氯化硅含量允许采用其他等效的方法测定三氧化棚中氧十氯、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲婉、四氧化硅含量当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法 6.2.2预分离柱 mm0.25 长约0.6m,内径约2mm的316L.不锈钢管,内装粒径为0.18 mm的一种改性碳分子
GB/T17874一2021 筛 CST),或采用其他等效预分离柱 6.2.3色谱柱色谱柱I;长约2m,内径约2mm的316L.不锈钢管,内装粒径为0.18mm一0.25mm的5A分子筛,或其他等效色谱柱该柱用于测定氧十氯、氮、一氧化碳和甲炕含量色谱柱I;长约4m,内径约2mm的316L.不锈钢管,内装粒径为0.18mm一0.25mm的一种高分子聚合物(PorapakQ)或其他等效色谱柱该柱用于测定二氧化碳色谱柱I:长约50m,内径0.53mm,内涂聚甲基硅氧烧的毛细柱,或其他等效色谱柱该柱用于测定四氯化硅 6.2.4标准样品标准样品中组分含量(体积分数)为1×10-有一5×10-",平衡气为氨 6.3氧气含量的测定按GB/T11736的规定执行 6.4碳酰氯、氯化氢含量的测定 6.4.1仪器采用配备相应气体池的傅立叶红外光谱仪测定三氯化碉中的碳酰氯、氯化氢含量检测限:0.1×10-(体积分数). 6.4.2测定条件 6.4.2.1参考的测定条件窗片:BaFa; 碳酷氧特征峰波数:851cn=' 氯化氢特征峰波数:2998cm-" 分辨率;4emm' 气体池温度:30C 6.4.2.2标准样品测定三氯化棚中的碳酰氧含量时,至少应有3种不同组分含量的气体标准样品,碳酰氯的含量分别约为1X10-(体积分数),5×I0-(体积分数),10X10-"(体积分数),平衡气为复测定三氯化棚中的氯化氢含量时,至少应有3种不同组分含量的气体标准样品,氧化氢的含量分别约为:l×10-"体积分数),5×10-体积分数)、10×10-"体积分数),平衡气为氨 6.4.2.3其他测定条件其他测定条件按照仪器说明书执行 6.4.3测定步骤 6.4.3.1 启动仪器按傅里叶红外光谱仪说明书开启仪器调整仪器各部件达到测定条件,待仪器稳定后即可测定
GB/17874一2021 6.4.3.2工作曲线的建立用标准样品进样分别记录标准样品中碳酰氯在851em-1、氯化氢在2998em-'处吸收峰的吸光度信号(峰面积或峰高) 每种标准样品至少重复进样两次,直至两次平行测定的相对偏差不大于5% 取其平均值,分别制作以吸光度信号(峰面积或峰高)为纵坐标以含量为横坐标的工作曲线 6.4.3.3样品的测定以建立工作曲线同样的测定条件测定样品,记录三氯化棚样品中碳酰氯在851em1、氯化氢在 2998cm'处吸收峰的吸光度信号(峰面积或峰高),重复进样至少两次,直至两次平行测定的相对偏差不大于5%,取平均值 6.4.3.4结果处理用测得的三氯化砌样品中碳酰氯在851cm',氯化氢在2998cm'吸收峰的吸光度信号(峰面积或峰高)在工作曲线上查出三氯化砌样品中碳酰氯、氯化氢的含量 6.4.4其他等效方法允许采用其他等效的方法测定三氯化棚中的碳酰氯、氯化氢当对测定结果有异议时,以6.4规定的方法为仲裁方法 6.5金属元素及其他元素含量的测定按GB/T34972的规定执行标志、包装、运输、贮存及安全信息 7.1标志 7.1.1三氧化棚出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号; 生产日期或批号,以及安全使用期或失效日期充装质量(kg); 本文件编号及三氯化碉的纯度 7.1.2包装容器上应涂刷“电子级三氯化砌”字样 7.1.3三氯化酬的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB/T7144的规定,标签应符合GB15258,GB/T16804规定的要求 7.2包装、运输及贮存 7.2.1包装三氯化砌的气瓶应符合GB/T5099(所有部分).,GB/T33145的规定 7.2.2三叙化棚的充装及贮运应符合GB/T14193,TsG07,TsG23的规定,充装及贮运的安全管理要求见《危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例》. 三氯化碉的最大充装量按公式(3)计算 7.2.3 m=F×V 3 式中: -气瓶内三氯化碉的质量,单位为千克(kg); n
GB/T17874一2021 三氯化碉的充装系数,F,=1.2kg/L 气瓶标明的内容积,单位为升(L) 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本文件的要求瓶阀出气口连接方式宜使用cGA660,DIsS634 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染 7.2.6三氯化棚产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,应远离热源,不应暴晒 7.3安全信息三氯化棚的安全信息应符合附录A的规定
GB/17874一2021 附录 A 规范性安全信息 A.1基本信息 A.1.1化学式;BCl;中文名;三氯化棚;英文名;Borontriehloride A.1.2相对分子质量;117.17(按2018年国际相对原子质量计算). A.1.3代码:CAs号:10294-34-5、UN号:1741 A.1.4物理性质;沸点12.5C,熔点一107.3C,临界温度178.8,临界压力3870kPa,临界密度 0,79g/em;相对密度;4.045;液体密度;1.,35g/em'常温常压) A.1.5毒性:半数致死浓度;大鼠吸人ICaa助=1270.5mL/m A.2危险性说明三氯化碉是无色的低压液化气体,液态迅速燕发可能造成冻伤，有刺鼻气味;与水或潮湿空气激烈反应,生成氯化氢和碉酸;与碱金属,碱,苯胺、磷化氢、醇类、强氧化剂和有机物(如油脂)激烈反应三氯化棚对眼、皮肤、呼吸道有强烈腐蚀性,吸人该气体可能导致肺水肿,肺水肿症状通常过几个小时以后才变得明显,体力劳动使症状加重高浓度接触时,可能导致死亡 A.3操作注意事项 A.3.1生产过程密闭操作,生产装置全面通风操作人员应经过专门培训,严格遵守操作规程 A.3.2为防止堵塞,使用前应清除系统中的水分 A.3.3操作人员应穿戴适当的个人防护装备如耐腐蚀防化手套,防护眼镜,面罩和防溅防护服现场配备自给式正压呼吸器和气密式化学防护服 A.4紧急情况应对措施发生火灾时,切断气源消防人员应佩戴空气呼吸器,穿全身防火防毒服,在上风向灭火尽可 A.4.1 能将容器从火场移至空旷处 A.4.2灭火剂宜用干粉不应使用水,泡沫和酸碱灭火剂 A.4.3如果误吸人三氯化棚,迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅如呼吸困难,给氧如呼吸停止、心跳停止,立即进行心肺复苏术,并就医 A.4.4眼睛接触;立即分开眼脸,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10nmin~15min,并就医 A.4.5皮肤接触;立即脱去污染的衣着,用大量流动清水彻底冲洗，冲洗时间一般要求20min 30min,并就医 A.5泄漏处理处置 A.5.1尽可能切断泄漏源 A.5.2根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区 A.5.3应急处理人员应佩戴内置正压自给式呼吸器,穿气密性化学防护服 A.5.4有液化气体泄漏,应注意防冻伤 A.5.5不应接触或跨越泄漏物尽可能切断泄漏源 A.5.6防止气体通过下水道,通风系统和密闭性空间扩散
GB/T17874一2021 A.5.7喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向,避免水流接触泄漏物不应用水直接冲击泄漏物或泄漏源 A.5.8构筑围堤堵截泄漏的液体 A.5.9隔离泄漏区直至气体散尽 A.6贮存注意事项 A.6.1贮存于阴凉、干燥,通风良好的库房远离火种,热源库房温度不宜超过30 A.6.2防阳光直射,应与碱金属、碱,苯胺,磷化氢、醇类,强氧化剂和有机物(如油脂)分开存放 A.6.3生产,使用、贮存三氯化砌的车间或场所应设置三氯化棚气体泄漏检测报警仪 A.6.4贮存区应备有泄漏应急处理设备 A.7 废弃处置说明 A.7.1处置前应参阅国家和地方有关法规,宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理 A.7.2处置废弃的三氯化棚时,不应直接排放
GB/17874一2021 参考文献 [1]危险化学品安全管理条例(2002年1月26日国务院令第344号公布,201 年2月16日国务院第144次常务会议第一次修订,2013年12月7日国务院令第645号第二次修订通过 [2]特种设备安全监察条例(2003年3月11日国务院令第373号公布,2009年 1月14目国务院第46次常务会议修订通过

介绍电子特气三氯化硼GB/T17874-2021

什么是电子特气三氯化硼？

电子特气三氯化硼是一种高纯度气体混合物，通常由氩气和三氯化硼混合而成。它具有优异的化学稳定性和热稳定性，并且在半导体工业中被广泛应用。

GB/T17874-2021的主要内容是什么？

GB/T17874-2021是一项新的国家标准，它规定了电子特气三氯化硼的技术要求、试验方法、包装、运输和储存等方面的内容。

该标准的主要内容包括：

电子特气三氯化硼的通用技术要求
电子特气三氯化硼的试验方法
电子特气三氯化硼的包装、标记、运输和储存

该标准的发布将对电子特气三氯化硼的生产、使用和质量控制起到重要的指导作用。