电子工业用气体六氟化硫

电子工业用气体六氟化硫

国家标准 GB/T18867一2014 代替GB/T188672002 电子工业用气体六氟化硫 GasesforelectronicindustrySulphurhexaflouride 2014-12-22发布 2015-07-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T18867一2014 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准代替GB/T18867一2002《电子工业用气体六氟化硫》 与GB/T18867一2002相比,除编 辑性修改外主要技术变化如下: 修改了范围(见第1章,2002年版的第1章). 修改了规范性引用文件(见第2章,2002年版的第2章); -修改了技术指标(见第3章,2002年版的第3章); 修改了抽样,判定和复验(见4.1，2002年版的第5章); 修改了氧十饭、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法(见4.3,2002年版的4.2、4.3) 删除了六佩乙炕、八氟丙熔含量的测定方法(见2002年版的4.4); -增加了一氧化碳和甲烧含量的测定方法(见4.3); 修改了水分含量的测定方法(见4.4,2002年版的4.5) -修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2002年版的第6章) 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAc/Tc203)提出并归口 本标准起草单位;黎明化工研究设计院有限责任公司,成都科美特氟业塑胶有限公司,青海信禾高 精化工有限公司,佛山市华特气体有限公司,四川众力氟业有限责任公司,上海华爱色谱分析技术有限 公司,大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司,光明化工研究 设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技 术开发公司 本标准主要起草人:黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧,方正、廖恒易、李晓明、 曲庆、杨任、常侠、杨遂平,邓建平,方华,周鹏云 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 GB/T18867一2002
GB/T18867一2014 电子工业用气体六氟化硫 范围 本标准规定了六氟化硫的技术要求,试验方法、标志,包装、贮存及安全等 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫 该产品主要用作电子工业中化学 气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等 分子式SFa 相对分子质量146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算). 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分;电解法 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法 GB7144气瓶颜色标志 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T12022工业六氟化硫 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726一2012气体分析氮离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程(2000版 危险化学品安全管理条例(2002版 要求 六氟化硫的技术指标应符合表1要求 表1技术指标 目 指 标 项 名称 六氟化硫(SF )纯度(体积分数)/10" 99.999 氧氯)(O十Ar含量(体积分数/10 2.0 氮(N)含量(体积分数/10- 2.0
GB/T18867一2014 表1(续 名 指 标 项目 称 四氟化碳(CF含量(体积分数/10- 1.0 -氧化碳(cO)含量体积分数/10-" 0,5 二氧化碳(co.)含量(体积分数/10" 0.5 甲熔(CH,)体积分数)/ 10-" 0,5 水分(H.o)含量(体积分数)/10" 3.0 0.1 酸度(以HF计)(质量分数/10-" 可水解氟化物(以HIF计)含量(质量分数/10-" 0.8 总杂质含量(体积分数/10-" 10.0 颗粒 供需双方协商 试验方法 4.1抽样、判定和复验 4.1.1同一生产线连续稳定生产的六氟化破构成一批,每批产品质量不超过2 六氟化碗抽样瓶数拨 表2规定从每批产品中随机抽样 当检验结果有任何一项不符合表1要求时,应自该批产品中重新加 倍抽样检验,若仍有一项指标不符合要求,则该批产品为不合格 表2瓶装六氟化硫产品抽样表 每批产品瓶数 最少抽样瓶数 1~10 1l20 2130 3140 40 4.1.2六氧化碗产品中氧十氧、氮,水分含量应逐一检验并验收 当检验结果有任何一项指标不符合 本标准技术要求时,则判该产品不合格 4.1.3六氟化硫采样安全应符合GB/T3723的相关规定 4.1.4数值修约规则与极限数值的表示和判定按GB/T8170的规定执行 4.1.5采样管线应采用不锈钢管或聚四氟乙烯管 4.1.6检验样品应为液相取样 4.2六氟化硫纯度 六氟化硫纯度按式(1)计算 =l00一十p，十十中十;十十p7×10"
GB/T18867一2014 式中: -六氟化硫纯度(体积分数),10-?; 氧十氯)含量(体积分数),l0-"; 氮含量(体积分数),10-; -四氟化碳含量(体积分数),l0-; -氧化碳含量(体积分数),10- 二氧化碳含量(体积分数),10- b 甲烧含量(体积分数),10- D 水分含量体积分数),l0 4.3氧氯、氮、四氟化碳、一氧化碳,二氧化碳、甲院含量的测定 按GB/T28726一2012规定的切割进样的方法测定六氟化硫中的氧十氲、氮、四氟化碳、一氧化碳、 二氧化碳、甲婉含量 测定条件和步骤见附录A 允许采用其他等效的方法测定六氟化硫中的氧十氯、氮、四氟化碳、一氧化碳,二氧化碳,甲烧含量 当以上测定结果有异议时,GB/T28726规定的方法为仲裁方法 4.4水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行 取样时应防止出现冷凝 允许采用GB/T5832.1或其他等效的方法测定六氟化硫中的水含量 当测定结果有异议时. GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法 4.5酸度含量的测定 按GB/T12022中的规定执行 4.6可水解氟化物含量 按GB/T12022中的规定执行 标志、包装、贮运及安全 5.1标志、包装及贮运 5.1.1六氟化硫的包装、标志、贮运应符合国家《气瓶安全监察规程》和《危险化学品安全管理条例》的 规定 包装六氧化硫的气瓶应符合GB5099的规定 5.1.2 5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶,气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求 瓶阀推荐 使用cCGA590和CGA716 5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏 5.1.5六氟化硫的充装应符合GB14193的相关规定 5.1.6六氟化硫的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB7144的规定,标签应符合 GB16804,G;B15258规定的要求 5.1.7包装容器上应标明“电子六氟化硫”字样 5.1.8瓶装六氟化硫的最大充装量按式(2)计算
GB/T18867一2014 =F,V n 式中: 气瓶内六氟化硫的质量,单位为千克(kg) V 气瓶标明的内容积,单位为升(L); F 六氟化硫的充装系数，气瓶设计压力为8MPa时,充装系数不大于1.17kg/L;气瓶设计压 力为12.5MPa时,充装系数不大于1.33kg/L 5.1.9六氟化硫的充装量按实际称量的质量计 5.1.10六氟化硫的保存期限按GB/T26571规定执行 5.1.11六氟化硫出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括 产品名称、生产厂名称; ,充装质量(ke) 生产日期或批号、 本标准号及技术指标、检验员号等 5.1.12六氟化硫产品应存放在阴凉、干燥,通风的库房内,严禁曝晒,远离热源 5.2安全警示 5.2.1六氧化硫在常温常压下为无色、无臭、,无毒的非易燃气体 在火焰中释放出刺激性或有毒烟雾 或气体) 周围环境着火时,允许使用各种灭火剂 5.2.2六氟化硫的化学性质不活泼,热稳定性能好,在204C下,对大多数材料仍能完全保持稳定 加 热到500C以上时,该物质分解生成硫氧化物和氟化物等有毒腐蚀性烟雾 5.2.3着火时,应喷雾状水保持钢瓶冷却 5.2.4人体吸人六氟化硫时,会窒息 此时应保证空气新鲜、人体处于休息状态,必要时应进行人工呼 吸,应及时治疗 5.2.5人体皮肤与六氟化硫液体接触,会发生冻伤,应佩戴保温手套 冻伤时应用大量水冲洗,不应脱 去衣物,应及时治疗 5.2.6应佩戴安全护目镜、面罩 眼睛若溅人六氟化硫,先用大量水冲洗几分钟(应摘除隐性眼镜),然 后及时治疗 5.2.7发生泄漏时,应撤离危险区域！保持通风 转动泄漏钢瓶,使漏口朝上,防止液态气体溢出 不 应直接将水喷洒在液体上 5.2.8个人防护用具;推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服 5.2.9六氟化硫无毒,有窒息性 但在放电条件下,六氟化硫会分解出一系列含硫的氟化物,当含有这 些杂质时便变成有毒物质 应避免吸人放电后的气体 5.2.10六氟化硫无腐蚀性 但在放电条件下,其分解产物具有腐蚀性 空气中高浓度引起缺氧,有神 志不清和死亡危险 进人污染的工作区域前,检验氧含量 中毒浓度存在时,无气味报警
GB/T18867一2014 附 录A 规范性附录 六氟化硫中的氧十氲、氮,四氟化碳、一氧化碳,二氧化碳、甲烧含量的测定 A.1仪器 采用配备氢放电离子化检测器的气相色谱仪测定六躯化硫中的氧十氯、氮、四氟化碳、一氧化碳、二 氧化碳、甲烧含量 检测限:0.05×10-(体积分数) A.2原理 以纯化后高纯氮作载气,采用配备切割装置的氨离子化检测器的气相色谱仪,对样品主组分(六氟 化硫)切割处理后,采用气相色谐法定性、定量分析样品中的目标组分 A.3测定条件 A.3.1载气:高纯氨,经纯化器纯化 其流速参照相应的仪器说明书 A.3.2辅助气;需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气 预分离柱;长约2m,内径约3 A.3.3 mm的不锈钢柱,内装粒径为0.18mm一0.25mm 的PorapakR -种高分子聚合物),或其他等效色谱柱 A.3.4分析柱;色谱柱I;长约3m,内径3mm的不锈钢柱,内装粒径为0.18mm一0.25mm的5A分 子筛,或其他等效色谱柱 该柱用于分析氧十氧,氮、一氧化碳、甲炕含量 色谱柱I:长约2m,内径约3mm的不锈钢柱,内装粒径为0.18mm一0.25mm的PorapakR(一 种高分子聚合物),或其他等效色谱柱 该柱用于分析二氧化碳、四氟化碳含量 A.3.5标准样品;组分含量的体积分数为1×10 0一55 10-,平衡气为缸 5. A.3.6其他条件:载气纯化器温度、色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书 A.3.7参考的切割气路流程示意图参见图A.1
GB/T18867一2014 000 12 说明: -高纯复载气钢瓶: 检测器; 钢瓶减压器; 分析柱; 10 稳压阀; 1 切割阀 12 -压力表; 预分离柱; 净化管; 13 六通阀 14 稳流阀; 过滤器; 流量调节阀: 定体积量管 15 -流量计; 图A.1参考的切割气路流程示意图 A.4分析步骤 开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析 平行测定气体标准样品和样品气至少两次,直至相邻两次测定结果之差不大于指标值的10%,取 其平均值 A.5结果处理 氧十氧、氮,四氟化碳、一氧化碳、,二氧化碳、甲烧含量按式A.1)计算 (A.1 ，-六义火 式中: 样品气中被测组分的含量(体积分数); 样品气中被测组分的峰面积 A -气体标准样品中相应已知组分的峰面积 A -气体标准样品中相应已知组分的含量(体积分数) 典型色谱图见图A.2
GB/T18867一2014 强度 O 保留时间/s 图A.2典型色谱图

电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014

一、引言

气体在电子工业中有着重要的应用。其中，六氟化硫是一种常用的气体，在半导体生产等领域有着广泛的应用。为了规范六氟化硫在电子工业中的使用，国家制定了电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014标准。

二、GB/T18867-2014标准概述

GB/T18867-2014标准是针对电子工业用六氟化硫气体的质量要求和试验方法进行规定的。主要包括以下方面：

• 六氟化硫气体的名称、分类、等级、外观和性状、包装、标志、运输、储存要求等；
• 六氟化硫气体的质量要求，包括纯度、水分、氧化物、杂质、非挥发有机物、总烷烃含量、氟化合物含量等；
• 六氟化硫气体的试验方法，包括纯度试验、水分试验、氧化物试验、杂质试验、非挥发有机物试验、总烷烃含量试验、氟化合物含量试验等。

三、GB/T18867-2014标准对电子工业的意义

GB/T18867-2014标准的出台，为电子工业中六氟化硫气体的应用提供了规范和标准，有助于保证产品质量和生产安全。同时，该标准的实施也推动了行业技术的进步和发展。

四、结论

电子工业用气体六氟化硫GB/T18867-2014标准的出台，对规范电子工业中六氟化硫气体的应用起到了重要的作用。我们应当认真遵守该标准的要求，确保产品质量和生产安全，推动电子工业的持续发展。

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