靶材技术成熟度等级划分及定义

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国家标准 GB/T39157一2020 靶材技术成熟度等级划分及定义 Chassifieationanddeftintonofthetechnologyreadinesslevelsfortargets 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标涯花管理委员会国家标准
GB/39157一2020 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口 本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、贵研铂业股份有限公司 本标准主要起草人:高岩、韩知为、熊晓东、腾海涛、赵永善、贺听、边逸军、陈明、王传军、姚力军 闻明、徐国进、管丽梅
GB/39157一2020 靶材技术成熟度等级划分及定义 范围 本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则 本标准适用于靶材技术成熟度评价 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 2.1 靶材 target 在溅射沉积技术中的阴极部分 该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积 2.2 技术成熟度technovyreadines 技术满足预期靶材应用目标的程度 2.3 技术成熟度等级teeholesy readinesslevels 用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度 注改写GB/T 37264一2018,定义2.2 技术参数techniealparameter 针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据 注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告 2.5 靶材样品 targetsamples 在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性能的实物,具备 了靶材的部分特性 注:改写GB/T37264一2018,定义2.3 2.6 靶材试制品 targetdevelopedproducts 在靶材工程化阶段,考虑最终形式,并在实验室环境或使用环境下,对粑材关键性能和功能进行测 试,通过小批量或小规模制备的实物 注:改写GB/T372642018,定义2.4 2.7 实验室环境 laboratoryenvironments 实验室的检测和校准设施以及环境条件,用于验证技术原理和使用功能 2.8 模拟环境 simulatioenyirOnments 模拟真实使用环境,用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能
GB/T39157一2020 注:改写GB/T37264一2018,定义2.6 2.9 使用环境 realenvironments 靶材产品实际使用时的环境和工况 注:改写GB/T37264一2018,定义2.7 2.10 靶材产品 targeproducts 在产业化阶段,生产工艺成熟,可批量生产,并能实现全部功能,完全满足预期使用目标的实物 注:改写GB/T37264一2018,定义2.5 靶材技术成熟度等级划分要求 3.1靶材技术成熟度等级划分 靶材技术成熟度按照三个阶段分为十个等级,即实验室阶段(等级1一等级4)、工程化阶段(等级 5一等级7)、产业化阶段(等级8一等级10) 各等级的技术成熟度见表1 表1靶材技术成熟度等级界定 等级 技术成熟度 阶段 靶材设计和制备的基本概念,原理形成 靶材的应用背景、使用环境、关键技术参数指标、制造工艺和工艺设备等内容得到明确 初步明确了靶材的实验室技术方案,将概念、原理实施于靶材制备和工艺控制中,并初步得 实验室阶段 到验证 实验室制备工艺贯通,获得靶材样品,部分关键技术参数指标得到实验室环境验证 靶材 技术应用的可行性得到验证,提出了工程化转化实施方案 靶材试制工艺流程贯通,获得靶材试制品,结构和性能通过实验室测试验证 对关键试制 工艺进行了评估,进行了初步的故障模式及影响分析 工程化阶段 粑材试制品通过模拟环境验证,明确了关键生产工艺 靶材试制品通过使用环境验证,完成靶材试制工艺流程优化,全面演示了技术的工程可行性 靶材产品通过用户测试和认定,生产线完整,形成产品和技术规范 靶材产品经验证满足客户使用要求,能够稳定生产,满足质量一致性要求 产业化阶段 10 靶材产品生产要素得到优化成批量稳定供货 3.2等级条件 3.2.1等级1应符合表2的规定 表2等级1条件 序号 条件内容 明确了粑材研发基础的基本概念和基本原理 依据基本原理提出了靶材的基本组分、结构和设计,并预测了基本性能及使用性能 通过实验,观察到了基本原理,相关技术资料上也已公布了观察结果
GB/39157一2020 3.2.2等级2应符合表3的规定 表3等级2条件 序号 条件内容 明确了靶材的应用背景和使用环境 明确了靶材关键技术参数指标 明确了肥材制造工艺和工艺设备等内容,提出了基本实验室技术方案 3.2.3等级3应符合表4的规定 表4等级3条件 序号 条件内容 确定了靶材制备的实验室实施方案 完成了靶材样品制备的准备,原材料及相应的实验设备 完成了靶材制备原理的验证 明确了靶材结构与性能的测试内容与方法 3.2.4等级4应符合表5的规定 表5等级4条件 序号 条件内容 实现了实验室工艺贯通,制备出靶材样品 完成了结构和主要性能的实验室环境测试 部分测试结果满足关键技术指标要求 粑材技术应用的可行性得到验证 实验室工艺条件下保证靶材样品的实现性,稳定性和可重复性,抛出了工程化转化实施方案 3.2.5等级5应符合表6的规定 表6等级5条件 序号 条件内容 试制工艺流程贯通,获得了靶材试制品 靶材试制品的结构和性能通过实验室环境测试验证 依据靶材工程化实施方案,开展系统集成的初步研究,对关键试制工艺进行了评估,进行了初步的失效模 式及影响分析 3.2.6等级6应符合表7的规定
GB/T39157一2020 表7等级6条件 序号 条件内容 完成模拟环境用靶材试制品验证件的制备 试制品验证件通过了模拟环境测试,分析了模拟环境和实验室环境的差异 制定了完整的试验验证和测试方法,明确了关键生产工艺 3.2.7等级7应符合表8的规定 表8等级7条件 序号 条件内容 完成了试制品验证件在使用环境中的测试,并通过应用评价 完成靶材试制工艺流程优化全面演示了技术的工程可行性 完成了试制品的工程化制备及性能评价,完成生产的演示验证 3.2.8等级8应符合表9的规定 表9等级8条件 序号 条件内容 完成靶材产品验证件在使用环境中的全面测试和鉴定,分析了使用环境和模拟环境的差异 工艺稳定,工艺文件完整,完成产业化生产文件编制 掌握了产业化制备工艺技术 生产线通过环境、安全,职业卫生等相关评审 完成规模生产装备的建设,生产线完整,具备小批量生产条件 3.2.9等级9应符合表10的规定 表10等级9条件 序号 条件内容 靶材产品经验证满足客户使用要求 靶材产品满足质量一致性要求,质量等级达到客户要求 具备大批量稳定生产的能力,材料有稳定的供货渠道 制定了靶材产品成本优化方案 完成了维修性、可靠性和保障性等数据的收集 3.2.10等级10应符合表11的规定
GB/39157一2020 表11等级10条件 序号 条件内容 靶材产品的性能全部满足使用需求 靶材制造过程受控且具备稳定生产的能力 粑材产品生产要索得到优化,满足市场需求 粑材产品具备稳定的产能和市场,成批量稳定供货 判定规则 按照3.2给出的技术成熟度等级条件划分等级,该等级包含的条件应全部满足 4.1 4.2判定结论的表示为:××阶段××等级
GB/T39157一2020 考文献 参 [[1]GB/T37264一2018新材料技术成熟度等级划分及定义

靶材技术成熟度等级划分及定义GB/T39157-2020

1. 前言

靶材是指用于薄膜沉积、光学涂层、电镀等工艺的材料。靶材技术成熟度等级是评价靶材研发和生产的一项重要指标，对于提高靶材的质量和性能具有重要意义。

2. 技术成熟度等级的定义

GB/T39157-2020《靶材技术成熟度等级划分和定义》是由中国材料研究学会制定发布的标准，旨在规范靶材技术成熟度等级的划分和定义。

根据该标准，靶材技术成熟度等级分为5个等级，分别是：

• 等级0：概念验证
• 等级1：实验室验证
• 等级2：验证产品原理
• 等级3：验证产品可行性
• 等级4：验证产品可靠性

不同等级的技术成熟度代表了不同阶段的技术发展水平和研究程度，也对应着不同的评价指标和测试方法。

3. 技术成熟度等级划分的意义

靶材技术成熟度等级划分的意义在于帮助企业确定靶材的研发方向和生产计划，促进技术创新和产品升级。同时，该等级划分还能够为靶材研发和生产提供一套统一的评价标准，实现技术成果的可比性。

4. 技术成熟度等级的应用

靶材技术成熟度等级的应用主要体现在以下几个方面：

• 研发方向的确定：根据技术成熟度等级的划分，企业可以确定靶材的研发方向和目标，提高研发效率。
• 生产计划的制定：根据技术成熟度等级的划分，企业可以合理安排靶材生产时间和资金，避免资源浪费和生产风险。
• 产品质量控制：根据技术成熟度等级的不同，对靶材的评价指标和测试方法也有所差异。通过制定相应的评价标准和测试方法，可以实现对靶材质量的控制和管理。

5. 结论

靶材技术成熟度等级是评价靶材研发和生产的一项重要指标，在靶材研发和生产中具有广泛的应用前景。GB/T39157-2020的发布，为靶材技术成熟度等级的划分和定义提供了明确的标准依据，有助于规范行业发展和促进技术创新。

总之，靶材技术成熟度等级划分及定义GB/T39157-2020对于靶材研发和生产具有重要意义，企业应该加强对该标准的学习和应用，实现技术和产品的升级和创新。

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