半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理

半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理

国家标准 GB/T1403092 半导体集成电路时基电路 测试方法的基本原 Generalprineiplesofmeasuringmethods oftimereircuitsforsemiconductor integratedcireuits 1993-08-01实施 1992-12-18发布 国家技术监督局 发布国家标准
国家标准 半导体集成电路时基电路 GB/T14030-92 测试方法的基本原理 Generalprineiplesofmeasuringmethods oftimnercircuitsforsemiconductor integratedcircuits 本标准规定了半导体集成电路时基电路(以下简称器件或时基电路)电参数测试方法的基本原理 时基电路与CMOS电路相同的静态参数和动态参数测试可参照GB3834《半导体集成电路CMOS 电路测试方法的基本原理》. 总的要求 若无特殊说明,测试期间,环境或参考点温度偏离规定值的范围应符合器件详细规范的规定 1.2测试期间,施于被测器件的电参量应符合器件详细规范的规定 1.3测试期间,应避免外界干扰对测试精度的影响 测试设备引起的测试误差应符合器件详细规范的 规定 1.4被测器件与测试系统连接或断开时,不应超过器件的使用极限条件 15若有要求时,应按器件详细规范规定的顺序接通电源 1.6测试期间,被测器件应连接器件详细规范规定的外围电路和补偿网络 1.7若电参数值是由几步测试的结果经计算而确定时,这些测试的时间间隔应尽可能短 1.8本标准的参数定义按如下规定的真值表给出,如被测器件与本规定不符合时,可对测试电路进行 相应的调整 触发端 复位端 引出端名称 岗值端 输出端 TH TR RES OUT 引出端符号 X L H 规范 H H H H H 表中:L为低电平,H为高电平,X为任意电平 2 参数测试 2.1复位电压Vg 2.1.1目的 在器件输出电压为低电平时,测试复位端施加的临界输入电压 2.1.2测试原理图 v，测试原理图见图1. 1993-08-01实施 国家技术监督局1992-12-18批准
GB/T14030-92 电源 REs 被测器件 可调直流 电源 图1 2.13测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定， 环境温度 a b 电源电压 2.1.4测试程序 2.1.41将被测器件接入测试系统中 2.142接通电源 2.1.43触发端接地,在复位端接输入电压v,调节v,使输出电压V翻转为低电平时,读取输入电 压值,即为VR 2.2复位电流IR 2-21目的 在复位电压范围内,测试流经复位端的最大电流 2.2-2测试原理图 测试原理图见图2 电源 RES 被测器件 可调直流 电源 图2 2.23测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定
GB/T1403092 环境温度; a. 电源电压; o 复位电压范围 2.2.4测试程序 2.2.4.1将被测器件接入测试系统中 2.2.4.2接通电源 2.2.4.3在复位端输人电压v,调节v在规定的复位端输入电压范围内,读取复位端的最大电流值 即为lR 2.3触发电压VrR 2.3.1目的 在器件输出电压为高电平时,测试触发端施加的临界电压 2.3.2测试原理图 L '测试原理图见图3 电源 REs TH TR 被测器件 可调直流 电谋 图3 2.3.3测试条件 测试糊间,下列测试条件应符合器件详捆规范的规定 环境温度; a 电源电压 23.4测试程序 2.3.4.1将被测器件接入测试系统中 2342接通电源,并将复位端和阔值端接电源电压 2343在触发举输入电压,调节使输出电压a为高电平时,读取输入电压值,即为vm 2.4触发电流lm 2.4.1目的 在触发电压范围内测试流经触发端的最大电流 2.4.2测试原理图 I测试原理图见图4
GB/T14030-92 电源 被测器件 可调流 电谋 图4 2.4.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度; a 电源电压; b c 触发电压范围 2.4.4测试程序 2.4.4.1将被测器件接入测试系统中 2.4.4.2接通电源 2.4.43调节输入电压v1,在规定的触发端输入电压范围内,读取触发端的最大电流值,即为IRa ？ 2.5阔值电压 25.1目的 在器件输出电压为低电平时,测试阅值端所施加的临界电压， 2.5.2测试原理图 V测试原理图见图5 电源 RES TH 被测器件 TR 可调育流 电源 图5 25.3测试条件 洲试期间.下列测试条件应符合器件详细规范的规定
GB/T14030-92 环境温度; b.电源电压 2.5.4测试程广 2-5.41将被测器件接入测试系统中 2.5.4.2接通电源,复位端接电源电压 2.543在网值端输入电压,,调节,,使w足够低,并撤动开关K,触发端接地,使输出电压v,为 高电平 2.5.4.4调节输入电压V使输出电压v翻转为低电平,读取输入电压v值,即为V 2.6阙直电流1 2.6.1目的 在值电压范围内,测试流经值端的最大电流 2.6.2测试原理图 I测试原理图见图6 电源 RES 被洲器件 可调直流 电源 图6 2.6.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详绷规范的规定 环境温度; 电源电压 阅值电压范围 26.4测试程序 26.41将被测器件接入测试系统中 2.64.2接通电源 264.3在因值端输入电压',调节输入电压v在规定的阔值崭输入电压范围内,读取岗值端的最 大电流值,即为n 2.7控制端电压 2.7.1目的 测试器件控制端的电压 2.7.2测试原理图 v测试原理图见图了.
92 GB/T14030 电谋 Ve 被测器件 图7” 2.7.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度; a. b 电源电压 2.7.4测试程序 2.7.4.1将被测器件接入测试系统中 2.7.4.2接通电源 27.43在控制端读取v值 2.8静态电源电流1 2.8.1目的 测试输出端空载条件下电源流过器件的电流 2.8.2测试原理图 ,测试原理图见图8. 电源 RES TH 被测器件 TR 可调直流 电源 图8 2.8.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 6
GB/T14030-92 a. 环境温度 b 电源电压; 触发端和闭值端输入电压范围 c. 2.8.4测试程序 2.8.4.1将被测器件接入测试系统中 2.8.4.2接通电源 2.8.43在值端和触发端输入电压V并调节V1,在规定的输入电压范围内,读取电源电流的最大 值,即为I 29最高振荡频率m 2g.1目的 在输出波形符合规定的条件下,测试器件作自激振荡器时的最高振荡颗率 2.9.2测试原理图 f测试原理图见图9 电部 RES DISC 被澳器件 TH 示 顿 TR 器 二 图9 2.g.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度 a 电源电压 b 外接的定频元件R.Rn,c. c. 2.9.4测试程序 2g.41将被测器件接入测试系统中 2g.42按通电源,并将复位端接电源电压 29.43调节电位器k,在保证输出被形符合规定的条件下,读取输出端的最高振荡颜率值,即为 fm 2.10频率偏差Af 2.10.1目的 测试器件作自激振荡器时的振荡频率与设计值之间的相对偏离 2.10.2测试原理图 Af测试原理图见图10
GB/T14030-92 电都 RES DISg 被渊器件 TH 帮 个 9 波 器 图10 2.10.3渊试条件 测试期间.下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度; a h 电源电压; 外接的定额元件R、Ra.c. 2104测试程序 210.41将被测器件接入测试系统中 2.1042接通电源,并将复位端接电谋电压 210.43在糖出端读取自激振荡颗率厂. 210.44计算甘激振荡棚率理论值 210.45计算/ f-- Af= ×I00% 211电源电压灵敏度K、 2.11.1目的 器件作为自激熊荡器时,测试单位心谋g压变化所引起的操荡频率的相对变化. 2.11.2测试原理图 Ks测试原理图见图!1
GB/14030-92 电测 RES DISC 被渊器件 H "懒 矛 有 波 t 图11 2.11.3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度 b 电源电压 外接的定频元件RA、Ra、c 2.11.4测试程序 2.11.4.1将被测器件接入测试系统中 2.11.42接通电源,将电源电压调至在输出期读取自激振荡赖率f 211.43将电源电压调至v,在输出端读取自激振荡颊率.a 2.11.4.4计算Kvs Kv= 了V×I00% 2.12’振荡频率温度系数a 2.12.1目的 在规定工作温度范围内,器件作为自激振荡器时单位温度变化所引起的振荡颗率的相对变化. 2.12.2测试原理图 a测试原理图见图12
GB/T14030-92 电源 REs R DISC 被测器件 TH R 示 率 波 然 图12 2.12-3测试条件 测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定 环境温度; a. b 电源电压; 外接的定频元件R,Rg,C c. 2.12.4测试程序 2.12.4.1将被测器件接入测试系统中 2.12.42接通电源,并将复位端接电源电压 2.12.4.3将器件置于规定的环境温度T下,在输出端读取自激振荡频率 2.12.4.3将器件置于规定的环境温度T下,在输出端读取自激振荡频率A 2.12.4.4计算a .-f ×100% a T一T 1G
GB/T14030 92 附 录 参数符号对照表 补充件 符号 含义 最高振荡频率 f 静态电源电流 I. IR 复位电流 Ir 闯值电流 触发电流 lTn Kss" 电藜电压灵敏度 Ve 控制端电压 w 复位电压 V 阅值电压 触发电压 Vx 频率偏差 振荡频率温度系数 附加说明: 本标准由全国集成电路标准化分技术委员会提出 本标准由上海元件五厂负责起草 主要起草人王庆光、刘国荣 1