电子工业用气体氩

电子工业用气体氩

国家标准 GB/T16945一2009 代替GB/T16945一1997 电子工业用气体气 Gasforelectronieindustry一Argon 2009-10-30发布 2010-05-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管蹬委员会国家标准
GB/T16945一2009 电子工业用气体 显 范围 本标准规定了氯的技术要求,试验方法以及包装、标志,贮运及安全 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氨以及经纯化方法得到的氨 氯用于系统的吹扫,保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积,溅射,等离子及活性离子刻蚀剂和退 火等不同工艺中 分子式:Ar 相对分子质量;39.948(按2005年国际相对原子质量) 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T48422006 叙 GB/T5832.1气体中湿度的测定电解法 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 技术要求 3.1电子工业用气体氨的质量应符合表1的要求 表1技术指标 项 标 99,9999 99.9992 氧气(Ar)纯度(体积分数)/10- 氢H.)含量(体积分数/10- 0,1 氮(N)含量(体积分数/10" 0.5 氧(O)含量(体积分数)/10 0.2 0.5 -氧化碳;0.l -氧化碳(cO)和二氧化碳(cO.)总含量(体积分数)/10- 0.5 二氧化碳;0.1 总短(以甲烧计)含量(体积分数)/ 10-6 0.1 水分(H.O)含量(体积分数)/10-" 0.2 0.5 杂质总含量体积分数)/10" 供需双方商定 供需双方商定 颗粒 3.2液态氯的水分应气化后测定 试验方法 抽样、判定和复验 4.1.1瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氨产品应逐一检验并验收 当检验结果有
GB/T16945一2009 任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格 生产企业应确保每一包装氲产品符合本 标准技术要求 4.1.2对稳定生产的管道输送的气态氧由供需双方确定抽样方案 企业应确保管道输送的氧产品符 合本标准技术要求 4.1.3氧采样安全应符合GB/T3723的相关规定 4.2氲纯度 氯纯度按式(1)计算 中=100-(p十内十A十中十A十A×10" 式中: 氯纯度(体积分数)/10子; 氢含量(体积分数/10-; 氮含量(体积分数/10-"; 氧含量体积分数/10-6 -氧化碳十二氧化碳含量(体积分数)/10" 总泾(以甲烧计)含量(体积分数/10-" 水分含量(体积分数)/10-" 4.3氧、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的测定 氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T4842一2006中4.3的规定 仪器检测限:0.05×10-"(体积分数). 总经(以甲完计)含量的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氯中的微量总姬含量 当以上测定结果有异议 时,以GB/T8984规定的方法为仲裁方法 仪器检测限:0.05×10-体积分数) 4.5气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为(15)×10-"体积分数),平衡气为氧 4.6水分含量的测定 按GB/T5832.1执行 仪器检测限:0.05×10-"体积分数). 允许采用其他等效的方法测定氨中水分含量 当测定结果有异议时,以GB/T5832.1规定的方法 为仲裁方法 标志、包装、贮运及安全 5.1推荐使用进行内表面处理的气瓶,气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求 5.2包装容器上应标明“电子氯”字样 5.3其余按GB/T4842一2006中第5章的规定