GB/T39163-2020
靶材与背板结合强度测试方法
Testmethodsofthebondingstrengthfortarget-backingplateassemblies
- 中国标准分类号（CCS）H22
- 国际标准分类号（ICS）19.060
- 实施日期2021-10-01
- 文件格式PDF
- 文本页数12页
- 文件大小857.66KB
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靶材与背板结合强度测试方法
国家标准 GB/T39163一2020 靶材与背板结合强度测试方法 Iestmethodsofthebondingstrengthfortargetbackingplateassemblies 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标涯花管理委员会国家标准
GB/39163一2020 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草
本标准由有色金属工业协会提出
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司,贵研铂业股份有限公司
本标准主要起草人:丁照崇、陈明,赵永善、熊晓东、,贺听、林若虚、李勇军,张晓娜、曹欢欢、王云能、 袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
GB/39163一2020 靶材与背板结合强度测试方法 范围 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法
注，肥材与背板结合方式包括纤媒(传统煤料,导电银胶,纳米箔媒接等,扩散媒,电子束或激光煤,爆炸媒,摩挪 焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等
规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的
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GB/T228.1-2010金属材料拉伸试验第1部分;室温试验方法 GB/T228.2金属材料拉伸试验第2部分;高温试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T10623金属材料力学性能试验术语 GB/T16825.1静力单轴试验机的检验第1部分:拉力和(或)压力试验机测力系统的检验与 校准 术语和定义 GB/T228.12010界定的以及下列术语和定义适用于本文件
为了便于使用,以下重复列出了 GB/T228.1一2010中的某些术语和定义
3.1 靶材 target 在溅射沉积技术中的阴极部分
该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积
由靶坯和背板组成 3.2 靶还坯trgetank 阴极上用作溅射材料的部分 3.3 背板baekinephate 用来支撑或固定靶坯的部分
3.4 最大力maximumforee F 试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力
对于无明显屈服(连续屈服)的材料,为试验期间最大 的力
注，改写GBT28.I1一200,定义391租39.2.
GB/T39163一2020 3.5 应力stres 试验期间任一时刻的力除以试样原始横截面积(S.)之商
[GB/T228.12010,定义3.10] 3.6 抗拉强度temsilestrength Rm 相应最大力(F.)对应的应力
[GB/T228.1一2010,定义3.10.1] 3.7 抗剪强度shearstrength m 试样在剪切断裂前所能承受的最大切应力
[GB/Tl1363一2008,定义4.4] 3.8 室温 ro0mmtemperature 温度为10C35C的条件
对温度要求严格的试验,试验温度应为23C士5C
3.9 高温highteperature 温度高于35C的条件
符号和说明 表1列出的符号适用于本文件
表1符号和说明 符号 单位 说明 最大力 结合面积 mm" R N/mm" 抗拉强度 N/mm 抗剪强度 D 拉伸试样-背板外径 mmm 拉伸试样-靶坯外径 D mmm D 拉伸试样-背板内径 mm H mnm 拉伸试样-背板厚度 拉伸试样-靶坯厚度 H mmm AH 拉伸试样-背板过结合界面余量 mmm H 拉伸试样-靶坯过结合界面余量 mmm D 拉伸试验装置-垫座外径 mmm D. 拉伸试验装置-垫座内径 mmm
GB/39163一2020 表1(续 符号 说明 单位 D 拉伸试验装置-压头直径 mm H 拉伸试验装置-垫座厚度 mm H 拉伸试验装置-压头高度 mm H 剪切试样-背板厚度 mmmm H 剪切试样-靶坯厚度 mmmm AH
剪切试样-背板过结合界面余量 mm 剪切试样-靶坯过结合界而余量 AHr mm L 剪切试样-总长度 mm L 剪切试样-背板长度 mm 剪切试样-靶坯长度 mm L 剪切试样-结合面长度 mmm W 剪切试样-总宽度 mmmm H
剪切试验装置-垫座固定背板长度 mm H 剪切试验装置-垫座总长度 mm mm 剪切试验装置-垫座总厚度 La w 剪切试验装置-垫座固定靶坯宽度 mm w 剪切试验装置-垫座总宽度 mm 注:1N/mm'=1MPa 试样 5.1试样的种类 按试验的种类和试样的形状分类,见表2
表2试样的种类 试验种类 试样形状 拉伸试验 环面对接 剪切试验 平板搭接 5.2试样及装置的形状与尺寸 5.2.1拉伸试验试样及装置的尺寸 拉伸试样的尺寸见表3,试样形状如图1所示
拉伸试验装置的尺寸见表4,拉伸试验装置如图2a) 及图2b)所示
拉伸试验试样与装置装配如图3所示
GB/T39163一2020 表3拉伸试样的尺寸 单位为毫米 D D 名称 D H H . AH 拉伸试样 4060 2535 1525 520 515 0.20.5 0.2~0.5 表4拉伸试验装置的尺寸 单位为毫米 D D D 名称 H H 拉伸试验临装置 D D十(0,2~0,5) -(0,2~0,5) H十(510 H
+(510 5.2.2剪切试验试样及装置的尺寸 剪切试样的尺寸见表5,试样形状如图4所示
剪切试验装置的尺寸见表6,剪切试验装置如图5 所示,勇切试验试样与装置装配如图6所示
表5剪切试验试样的尺寸 单位为毫米 W 名称 H
H AH H AI b le 剪切试样 520 5090 2050 2050 5~15 0.2~0.5 0.2~0.5 5一20 20~50 剪切试验装置的尺寸 表 6 单位为毫米 W H w 名称 H
剪切试验装置 H
+(0.2一0.5 4060 Le十I. W
+(0.20.5) 40100
GB/39163一2020 表面粗糙度单位为微米 背板 [AH. A 靶材- 结合界面 花还 " 图1拉伸试验试样示意图 表面粗糙度单位为微米 表而粗糙度单位为微米 b 2 垫座 压头 图2拉伸试验装置示意图
GB/T39163一2020 拉伸试验 装置-压头 拉伸试样 拉伸试验 装置-垫座 图3拉伸试验试样与装置装配示意图 表面粗随度单位为微米 -背板 靶材 AH
结合界面 -粑坯 图4剪切试验试样示意图
GB/39163一2020 表面粗糙度单位为微米 " 图5剪切试验装置-垫座示意图 剪切试样-靶坯 剪切试样-背板 剪切试验 装置-垫座 图6剪切试验试样与装置装配示意图 5.3试样的取样及加工 试样取样主要选择在以下三个阶段进行;新品研发、产品、产品使用后(残靶)
结合强度测试属于 破坏性试验,产品阶段的抽样频次应由供需双方沟通确定
同一块靶材上均匀取样,取样间隔301 mm 200mm不等,试样数量不少于3个
先采用水刀电火花线切削等加工方式,从靶材上掏取出试样,然后进行机械加工,在机械加工过程 中,避免施加使靶材与背板结合面变形的载荷
剪切试样的非搭接测试区域的结合连接需完全去除
GB/T39163一2020 6 结合面积(s)的测定 试样结合面积测量时按GB/T228.1一2010中相关规定进行,应根据测量的试样原始尺寸计算原 始结合面积,计算结果表示到小数点后两位,数值修约规则按GB/T8170的规定进行
试验方法 7.1试验机应按GB/T16825.1l进行检验,并应为1级或优于1级准确度
按GB/T228.1一2010中规 定的拉伸试验方法进行试验
加载时应避免结合处产生人为的偏心载荷
试验机施加及脱离载荷的速 率需保持恒定
7.2按GB/T228.1一2010中规定,室温时拉伸与剪切试验应保证试样在10C35丫温度范围下进 行
对温度要求严格的,试验温度可在23C士5C下进行
高温时拉伸与剪切试样应置于备有加热炉的拉伸试验机上施加载荷
加热炉温度的允许偏差及 7.3 温度梯度,按GB/T228.2进行
当高温大气气氛对试样结合强度有显著影响情况下,则加热炉需具备 真空或惰性气体保护功能
7.4拉伸试样宜采用图2所示的试验装置,剪切试样宜采用图5所示的试验装置,也可采用具有相同 试验条件的试验装置
试验数据处理 8 8.1拉伸试验 8.1.1结合面积(s)为靶坯与背板对接的环形面积,由式(1)求出 r(D！一D') 式中 结合面积,单位为平方毫米(mm); 圆周率,可近似取3.14; DN -拉伸试样-靶坯外径,单位为毫米(mm); D 拉伸试样-背板内径,单位为毫米(mm)
8.1.2试样的抗拉强度(R.)由式(2)求出 R一 式中 R 抗拉强度,单位为牛顿每平方毫米(N/rmm): Fm 最大力,单位为牛顿(N); S 结合面积,单位为平方毫米(mm)
8.2剪切试验 8.2.1结合面积(S)为剪切试样-结合面长度乘以剪切试样-总宽度
由式(3)求出: (3 S=ALw 式中 S 结合面积,单位为平方毫米mm');
GB/39163一2020 -剪切试样-结合面长度,单位为毫米(mm); AL W -剪切试样-总宽度,单位为毫米(mm). 8.2.2试样的抗剪强度(r)由式(4)求出 Tm= 式中: 抗剪强度,单位为牛顿每平方毫米(N/mm'); Tm F -最大力,单位为牛顿(N); S 结合面积,单位为平方毫米(mm'). 试验报告 试验报告应包括以下内容: 试验时间(年、月、日); a b 试验名称,试验编号,试验目的,试验条件; 试样编号、靶材与背板结合方式、靶坯材质、背板材质; c d 结合强度试验种类(拉伸试验,剪切试验); 试验温度(室温、高温); 试验应力-应变曲线,破坏最大力、结合面积、强度; 本标准编号; g h)试验人员; 试验中观察到的异常现象
GB/T39163一2020 参 考文献 [1]GB/T1l363一2008 针焊接头强度试验方法 0
靶材与背板结合强度测试方法GB/T39163-2020
1. 引言
靶材是一种用于射击训练和比赛的特殊材料，通常需要与背板结合使用。为了确保靶材与背板结合牢固，需要进行结合强度测试。GB/T39163-2020就是针对靶材与背板结合强度测试而制定的标准。
2. 靶材与背板结合强度测试方法
GB/T39163-2020主要从以下几个方面规定了靶材与背板结合强度测试方法：
- 试样制备：首先需要制备一定数量的试样，并按照标准规范进行制备。
- 试验设备：应选择适当的试验设备，如拉伸试验机、压力试验机等。
- 试验环境：应在适当的温度和湿度条件下进行试验。
- 试验过程：将试样放置在试验设备上，进行拉伸或压力等试验过程，记录下相关数据。
- 试验结果分析：根据试验数据进行统计和分析，得出结论。
3. 结论
通过GB/T39163-2020规定的靶材与背板结合强度测试方法，可以确保靶材和背板的结合强度符合标准要求。在实际应用中，可以根据具体情况选择适当的试验设备和试验环境，并按照标准规范进行试验，从而提高靶材和背板的结合强度。
4. 总结
GB/T39163-2020为靶材与背板结合强度测试提供了一系列规范和方法，对于确保射击训练和比赛的安全性具有重要意义。希望本文能够为专业人士提供有益的参考。
