电子工业用气体氦

电子工业用气体氦

国家标准 GB/T16943一2009 代替GB/T169431997 电子工业用气体 氨 Gasforelectronicindustry一Helium 2009-10-30发布 2010-05-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管蹬委员会国家标准
GB/T16943一2009 电子工业用气体 氨 范围 本标准规定了氨的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全 本标准适用于以深冷法从天然气,空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氨,以及经纯化方法得到 的氨 它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等 分子式;He 相对分子质量:4.003(按2005年国际相对原子质量) 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准 GB190-2009危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 气体中湿度的测定电解法 GB/T5832.1 GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法 GB7144气瓶颜色标志 (GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB14194永久气体气瓶充装规定 GB16912深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程 气瓶安全监察规程 压力容器安全监察规程 压力管道安全管理与监察规定 技术要求 3.1氮的质量应符合表1的要求 表1 技术指标 指 项 标 99.9999 99.9995 复气(He)纯度(体积分数)/10- -氧化碳;0.1 氧化碳(co)和二氧化碳(co)总含量(体积分数)/ /10- 二氧化碳;0.1 氮(N;)含量<体积分数)/10 0.5 氧(O)含量(体积分数)/10 0.2 0.5 总(以甲烧计)含量体积分数)/10-" 0.5 0.1 水分(H.O)含量(体积分数/10-" 0.2 0.5 杂质总含量(体积分数)/10-" 颗粒 供需双方商定 供需双方商定
GB/T16943一2009 3.2液态氨的水分应气化后测定 试验方法 抽样、判定和复验 瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氨产品应逐一检验并验收 当检验结果有 任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格 生产企业应确保每一包装氨产品符合本 标准技术要求 对稳定生产的管道输送的氨由供需双方确定抽样方案 企业应确保管道输送的氨产品符合本 标准技术要求 氨采样安全应符合GB/T3723的相关规定 4.1.3 4.2氨纯度 氨纯度按式(1)计算 =100一十十p十中十p×10 式中: 氮纯度(体积分数),10; 氧含量(体积分数),10-; 氮含量(体积分数),10 一6 -氧化碳十二氧化碳含量(体积分数),10-"; 中 -总姬(以甲烧计)含量(体积分数),10"; 水分含量(体积分数),l0" p. 4.3 氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定 43.1氧、氨、一氧化碳和二氧化碳的测定见附录A 4.3.2允许按GB/T8285规定的方法或其他等效的方法测定复中的微量氧 当测定结果有异议时 以4.3.1规定的方法为仲裁方法 4.3.3允许按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氮中的微量一氧化碳和二氧化碳 当以 上测定结果有异议时,以4.3.1规定的方法为伸仲裁方法 仪器检测限:0.05×10-(体积分数) 4.3.4允许采用其他等效的方法测定电子工业用气体氨中氮含量 当测定结果有异议时,以4.3.1规 定的方法为仲裁方法 总经(以甲炕计)的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氨中的微量总胫含量 当以上测定结果有异议 时,以GB/T898规定的方法为仲裁方法 仪器检测限:0.05×10-体积分数) 4. 5 气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为( 5 5) )×10-"(体积分数),平衡气为氮 .6 水分含量的测定 4. 按GB/T5832.1执行 仪器检测限:0.05×10-(体积分数) 允许采用其他等效的方法测定氮中水分含量 当测定结果有异议时,以GB/T5832.1规定的方法 为仲裁方法 标志,包装、贮运及安全 5 氨气瓶应符合GB5099的规定,气瓶颜色标记应符合GB7144的规定 运输时,氨气瓶上应附有
GB/T16943一2009 GB190一2009中第3章指定的标志 5.2推荐使用进行内表面处理的气瓶,气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求 5.3包装容器上应标明“电子氨”字样 5.4充装、贮运 5.4.1瓶装氨应符合GB14194以及《气瓶安全监察规程》的相关规定 .4.2管道输送的气态氨应符合《压力管道安全管理与监察规定》 55 5.5瓶装氨的成品压力在20时不低于13.5MPa 用于测量的压力表精度不低于2.5级 6 5. 返厂复气钢瓶的余压不应低于0.2MPa 余压不符合要求的气瓶,水压试验后的气瓶以及新气瓶 等在充装前应按规定要求进行加热,抽空和置换 氨出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括 -产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号; -生产日期或批号,成品压力或充装量,产品技术指标 本标准标准号及产品等级,检验员号 5.8安全要求 5.8.1氨的生产、使用以及贮运应符合GB16912、《气瓶安全监察规程》、《压力容器安全监察规程》等 相关规定 5.8.2在氮气氛中,人有被窒息的危险 因此在氮有可能泄漏或氨含量有可能增加的地方应设置通风 装置 液态氨属低温液体,操作不当可造成冻伤,应采取防冻措施 5.8.3电子工业用氮的生产企业应为顾客提供安全技术说明书 氨气在20c、101.3kPa状态下的体积计算 6.1瓶装氨气的体积计算 气瓶中氨气的体积按式(2)计算 V=KV 式中: -20C、l01.3kPa状态下,氮气的体积,单位为立方米(m'); V 气瓶的水容积,单位为升(L); K 氮气体积换算系数,见表2. 6.1.2体积换算系数K值按式(3)计算 1O = K 3 3+I)X a 式中: 气瓶内气体压力.单位为兆帕(MPa7 测量压力时,气瓶内气体温度,单位为摄氏度(C); 温度为时,复气的压缩系数 在不同压力、温度下缸气的体积换算系数K值列于表2. 6.1.3 表2在不同压力、温度下氮气的体积换算系数K 压力/MPa 温度/C 9,810,310,811.311.812.312.7 3,213.714.214.715,215." 16. 40 0.l17l0.1230.1280.134l0.139lo.1440.149l0.1540.16ol0.164l0.1700.174lo.179l0.184 -35 0.l15l0.12ol0.1260.131lo.136lo.14ll0.l46l0.151l0.1560.l61l0.166lo.171 176l0.18 o -30 l0.ll30.ll80.1230.128lo.134o.138o.l440.l49l0.1540.1580.l63lo.1680.1730.178
GB/T16943一2009 表2(续 压力/MPa 温度/C 12.312.?13.213.714.2 9.8 16 10,310.8ll1.3 15.215" lo.111l0.116lo.121lo.126lo.131lo.136lo.141l0.146lo.151lo.156l0.16olo.165o.17olo.174 25 -20 0.108l0.114l0.119l0.124 0. 128lo.134lo.138lo.143l0.148o.153l0.157lo.162lo.167lo.17 -15 0.106l0,112l0.1160,121lo.126lo,1310.136l0.1410.1450.150l0.155o.159lo,164l0.168 0. -l0 0.105l0.l1o0.ll4l0.119 124lo.129l0.1330.1380.1430.147 0.156l0.167 166 0. 0.103l0.1080.l12l0.l17 122lo.126l0.1310.136l0.l4o0.1450.149lo.154l0.1580.163 0.101l0.106l0.l1o0.l150.120lo.1240.l29l0.133l0.1380.l42l0.l47lo.151lo.156 00 l60 l0.099l0.l04l0.l08 l0.1220.127 0.136 0.098l0.102l0.107lo.111lo.116lo.12olo.125l0.1290.133lo.138l0.142lo.146lo.151l0.155 10 15 0.096l0.10ol0.1050.109lo.1140.118lo.123l0.127l0.131l0.136l0.1400.144lo.148l0.15 0,094o0,099l0.1030.108lo.112 0.121 0,129lo,1330.138lo.142lo.146lo.150 20 25 0.093l0.0970.102l0.106lo.11olo.114 0. .123 0.131l0.1360.140lo.144 l48 30 0.091l0.096o.10o0.104l0.108lo.113o.117 0. .121l0.1250.129l0.133o.1380.142l0.146 35 I0.090l0.0940.0980.103l0.1070.llll0.l150.1190.1230.1270.131l0.135l0.139 0. 143 40 0.122l0.126l0.129l0.133l0.137 I0.088|0.0930.0970.101l0.1050.109 45 lo.087l0.091l0.095o,10olo.104lo.108lo.l12lo.116l0.12olo.124l0.128lo.132lo.135lo,139 l0,086l0.09ol0.094lo.098lo.102o.106lo.11olo.1l4l0.118o,122lo.126lo.130lo.133lo.13 50 液氨体积计算 液氨的质量换算为20C、,101.3kPa状态下氨气的体积按式(4)计算 V=m/0.1664 式中: -复气的体积,单位为立方米(m): 液氨的质量,单位为千克(kg); 7 0.1664 -20C、101.3kPa状态下氨气的密度,单位为千克每立方米(kg/nmr')
GB/16943一2009 附录 A 规范性附录 电子工业气体氮中氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定 仪器 采用配备缸放电离子化检测器的气相色谱仪测定氨中氧,氮、一氧化碳和二氧化碳 检测限:0.01×10-"体积分数 A.2原理 基于潘宁效应(Penningeffect),即电子与稀有气体碰撞形成亚稳态原子,该亚稳态原子的激发能 传递到样品分子或原子;如果样品分子或原子的电离电位(IP)小于亚稳态原子的激发电位,样品将通过 碰撞被电离,使离子流增大 A.3测定条件 A.3.1载气;高纯氨,经纯化器纯化 其流速参照相应的仪器说明书 A.3.2辅助气:;需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气 mm0.4mm A.3.3色谱柱:色谱柱I:长约2m,内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.251 n的5A分 子筛,或其他等效色谱柱 色谱柱I用于分析氮中氧、氮、和一氧化碳组分 色谱柱I:长约0.5m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.25n mm~0.40mm的色谱硅胶;或其 他等效色谱柱 色谱柱l用于分析氨中二氧化碳组分 A.3.4气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为(1一5)×10-"体积分数),平衡气为氨 A.3.5其他条件;载气净化器温度、色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书 A.4分析步骤 开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析 平行测定气体标准样品和样品气至少两次,记录色谱响应值,直至相邻两次测定的相对偏差不大于 10×10-,取其平均值 A.5结果处理 采用峰面积(或峰高)定量,用外标法计算结果 氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的计算采用外标法,按式(A.4)计算 有=A× A.4 式中: -样品气中被测组分的含量(体积分数) A,(h -样品气中被测组分的峰面积或峰高,单位为平方毫米或毫米(mm或mm); 气体标淮样品中相应已知组分的峰面积或峰高,单位为平方毫米或毫米(mm或mm) A.(h. 气体标准样品中相应已知组分的含量(体积分数) 内