国家标准 GB/T30434一2013 电阻真空计通用技术条件 Generalspeeifieationsforresistancevaeuumgauge 2013-12-31发布 2014-08-01实施国家质量监督检验检疫总局发布国家标准化管理委员会国家标准
GB/T30434一2013 前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由机械工业联合会提出本标准由全国实验室仪器和设备标准化技术委员会(SAC/Tc526)归口本标准起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、上海市计量测试技术研究院、上海云捷真空仪器有限公司、成都睿宝电子科技有限公司沈阳仪表科学研究院、上海维可电真空技术开发有限公司,成都国光电气股份有限公司本标准主要起草人:徐自勇、金丽辉、许红、陈建沪,贺良武、徐秋玲、陈凌云、李泞
GB/T30434一2013 电阻真空计通用技术条件范围本标准规定了电阻真空计的术语和定义,使用条件,要求,试验方法,检验规则以及标志,包装,运输和贮存本标准适用于压力指示范围为1.0×10-'Pa一1.0×10Pa(测量范围为5.0×10-'Pa3.0×10'Pa) 的电阻真空计(以下简称真空计规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T1912008包装储运图示标志 GB/T2829一2002周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验 GB/T3369.l一2008过程控制系统用模拟信号第1部分;直流电流信号 GB/T3369.2一2008过程控制系统用模拟信号第2部分;直流电压信号 GB4793.12007测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分;通用要求 GB/T4982一2003真空技术快卸连接器尺寸第1部分;夹紧型 GB/T6107一2000使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口 GB/T11014一1989平衡电压数字接口电路的电气特性 GB/T254802010仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法 JG2022一2009真空计量器具 ANsI/EIA/TIA574一1990使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路端接设备之间的同步接口术语和定义 GB/T3163一2007界定的术语和定义适用于本文件为了便于使用，以下重复列出了 GB/T3163一2007中的一些术语和定义 3.1 真空计 vaeuumgauge 测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的仪器注，通常使用的某些真空计实际上不测量压力术语中它是以作用在表面上的力来表达的),而是测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量 [CGB/T3163一2007,定义4.1.2] 3.2 规管gaughead 规头电阻真空计中,包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件
GB/T30434一2013 [GB/T3163一2007,定义4.1.2.1] 3.3 真空计控制单元gaugecontrolunit 电阻真空计中,包含电源和测量,控制及输出等功能所需的部件 [GB/T3163一2007,定义4.1.2.2 3.4 真空计指示单元gaugeindieatingunit 电阻真空计中,以压力为单位显示输出信号的部件 [GB/T3163一2007,定义4.1.2.21] 使用条件 4.1环境温度:040C 4.2相对湿度;不大于85% 4.3供电电源;交流额定电压220V,允许偏离额定值的范围为士10%(采用模块电源的允许在交流电压为85V一265V的范围内工作);额定频率:50Hz,允许偏离额定值的范围为士2% 4.4周围无强烈振动、灰尘、强电磁干扰和腐蚀性气体要求 5.1外观 5.1.1规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷 5.1.2真空计的开关、按钮、指示灯、插头(座、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好 5.1.3真空计所有紧固件应牢靠,不应松动脱落 5.1.4真空计机箱表面应平整、光洁,无明显涂层剥落、锈蚀等现象 5.2规管 5.2.1电阻值 5.2.1.1当规管热丝电阻冷态电阻值在10Q50Q时,其电阻值不应超过规管设计要求值的士5% 5.2.1.2当规管热丝电阻冷态电阻值在51Q100Q时,其电阻值不应超过规管设计要求值的士1.5% 5.2.2规管与真空系统的连接 5.2.2.1规管连接部分为圆型管道时,管道的外径应为15.5nmm士0.5mm 5.2.2.2规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时,应符合GB/T4982一2003的要求 5.2.3密封性规管对复气的漏率不应大于10-'Pam'/s 5.2.4绝缘电阻规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不应小于10MQ.
GB/T30434一2013 5.3整机性能 5.3.1指示范围指示范围为1.0×10-'Pa1.0X10Pa 5.3.2测量范围内相对误差 5.3.2.1测量范围为5.0X10-Pa3.0×10'Paa 5.3.2.2测量范围内示值相对误差不应超过士50% 5.3.3稳定性 5.3.3.1正式调整好开始,零点1h内漂移量不应超过测量范围下限值的土10% 5.3.3.2正式调整好开始,满度1h内漂移量不应超过指示范围上限值的士25% 5.3.4供电电源电压影响量 5.3.4.1供电电源电压在220V士22V范围内变化时,零点的漂移量不超过测量范围下限值的士5% 供电电鄙电压在220Vv士2V范围内变化时,请度的漂移量不超过指示范围上限值的士5% 5.3.4.2 5.3.5安全性能 5.3.5.1在采用规定值的介电强度电压试验时,真空计不应出现击穿或重复飞弧现象(电晕效应和类似现象可忽略不计. 5.3.5.2真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻,在电源开关闭合情况下不应小于10MQ. 5.3.6模拟量输出信号当真空计有模拟量输出信号时,应满足下列要求真空计模拟直流电流信号范围应符合GB/T3369.1 a -2008的要求; 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T3369.22008的要求 b 开关量输出接口与通信接口 5.3.7 5.3.7.1当真空计有开关量输出接口时,应满足下述要求 a)应注明接口的电气性能,如,有源或无源触点输出、触点的功率参数等; 应注明接口的各个引线的序号和功能 D 5.3.7.2当真空计有通信接口时,应满足下述要求: a)真空计的数字通信接口,应优先采用RS232、RS485和RS422接口; 采用25针和RS232C/RS485接口应符合GB/T6107一2000的要求; D 采用9针Rs232C/RS485接口应符合ANsI/EIA/TIA5741990的要求; c 采用RS422接口应符合GB/T11014一1989的要求 d 5.3.8抗运输环境性能真空计在包装完好状态下,模拟运输、贮存基本环境条件进行高温试验、低温试验,湿热试验和跌落试验,试验结束后,打开包装,真空计应完好无损,其结果应符合5.1,5.2和5.3的要求 5.3.9规管完好性判断当真空计不接规管或规管损坏时,真空计应有特别指示(具体提示方法由制造商在技术文件中给
GB/T30434一2013 出),不应显示错误的真空度数据试验方法试验条件环境温度为23C士5C,湿度不大于85%,周围无热源,无空气对流并无振动 6.2外观检查用目测、手动方达或相应的测量工具进行检查,结果应符合5.1的规定规管试验 6.3 电阻值试验 6.3.1 6.3.1.1用电桥测量法测量冷态电阻,测量电路见图1 m 说明 R.R -标准电阻,R=R，R.R,取近似于R,的2倍,其误差不超过士0.5% R 电阻真空计规管电阻; 标准电阻箱,最小步进值应优于规管电阻R，的0.2%,最大电阻为R的2倍 0kQ20kQ多圈电位器; R G -0.5级光点检流计稳定度优于0.2%的直流稳压电源,其标称值为2V; -准确度等级为1级的直流毫安表 mA 图1电桥测量法电路示意图 6.3.1.2 测量时取加热电流为工作时最小电流的1% 6.3.1.3在环境温度为23C土5C,湿度不大于85%,并在无热源、无空气对流及无振动的条件下,按照规管正常使用时的安装位置放置规管调节标准电阻箱R.,使得I为0;这时R =R,R 值由电阻箱读出,其电阻值应符合5.2.1的规定注参照JF1 -1996的有关规定进行 1050
GB/T30434一2013 6.3.2规管与真空系统的连接试验 6.3.2.1用游标卡尺测量圆型管道的外径(离出口不小于30mm部分),结果应符合5.2.2.1的规定 6.3.2.2用观察或GB/T4982一2003所规定的相应检测工具进行检查,结果应符合5.2.2.2的规定 6.3.3密封性试验在灵敏度不低于(5×10-")Pam/s的氮质谱检漏仪上进行检查,结果应符合5.2.3的规定 6.3.4绝缘电阻试验用测试电压为500V的绝缘电阻测试仪检查规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻,结果应符合 5.2.4的规定 6.4整机性能试验 6.4.1指示范围试验 6.4.1.1仪器零点的调整,当真空系统真空度高于1.0X10-=Pa时,对真空计指示值进行零点调节 6. .4.1.2仪器满度的调整,用氮气缓缓放人真空系统至1.0×10`Pa时,对真空计指示值进行满度调节 6.4.1.3在真空校准系统上检查电阻真空计显示的压力指示范围,结果应符合5.3.1的规定 6.4.2测量范围内相对误差试验 6.4.2.1采用标准真空计比对校准法来检测真空计测量的相对误差示意图见图2 真空阀标准真空规被校真空规真空室真空阀真空获得系统图2真空标准装置比对校准法示意图 6.4.2.2图中标准真空计采用压缩式真空计或薄膜真空计,具体测量范围及最大允差或不确定度见 JG2022一2009 6.4.2.3调节真空室压力使标准真空计指示在0.5Pa、1Pa、5Pa,10Pa、30Pa,60Pa、100Pa、200Pa、 500Pa、1000Pa、,3000Pa等11个点上,逐点记录被检仪器的指示值,按式(1)计算各点的相对误差,其最大相对误差应符合5.3.2的规定 P一P， ×100% p
GB/T30434一2013 式中: 相对误差; P尸被校真空计指示值; p 标准真空计压力值 6.4.3稳定性及供电电源电压影响量试验 6.4.3.1仪器在试验前,预热时间不应少于30min 将真空计配用的真空规与真空系统连接,在真空室处于大气压力下调节好真空计的满度,在真空室真空度高于1.0×10-'Pa的某一稳定压力时,调节好真空计的零点再将真空室处于大气压力下重新调节好真空计的满度,在真空室真空度高于 1.0X10-"Pa的某一稳定压力时,重新调节好真空计的零点重复上述过程2次一3次,确认闹节好真空计的满度和零点调好零点，lh后观察真空计指示值的漂移量,结果应符合5.3.3.1的规定 6.4.3.2 调好满度1h后观张真空计指示值的漂移量,结果应符合5.3.32的规定 6.4.3.3 6.4.3.4调好零点,维持系统压力不变,令供电电源电压在220V士22V范围内变化,真空计指示值的漂移量应符合5.3.4.1的规定 6.4.3.5调好满度,维持系统压力不变,令供电电源电压在220V士22V范围内变化,真空计指示值的漂移量应符合5.3.4.2的规定 6.4.4安全性能试验 6.4.4.1介电强度试验按GB4793.1一2007中6.8的规定进行,其结果应符合5.3.5.1的规定 6.4.4.2用500V绝缘电阻表测量真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻,其结果应符合 5.3.5.2的规定 6.4.5模拟量输出信号试验 6.4.5.1用0.5级直流电压表对输出模拟直流电压信号按制造商在技术文件中的规定进行检测 6.4.5.2用0.5级直流电流表对输出模拟直流电流信号按制造商在技术文件中的规定进行检测 6.4.6开关量输出接口与通信接口试验按制造商在技术文件中的规定进行检测 6.4.7抗运输环境性能试验真空计在包装完好情况下,按GB/T25480-2010的要求进行其中: a)高温试验选用;55C士2C; b 低温试验选用;一25C士2C; e湿热试验选用;相对湿度(25C)95% d) 跌落试验选用;自由跌落高度250mm 6.4.8规管完好性判断试验 6.4.8.1不接规管直接开机,按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示 6.4.8.2连接好规管开机,记录当时的输出状态将规管拔掉,再次记录此时的输出状态检查这两次记录的输出状态是否改变,按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示
GB/T30434一2013 检验规则 7.1 检验分类真空计的检验分为: a)出厂检验; b 定型检验; 周期检验 c 7.2出厂检验 7.2.1出厂检验由生产厂质量检验部门逐台检验,合格后签发产品合格证,方可出厂 7.2.2出厂检验的项目、要求及试验方法的条款号见表！表要求的试验方法的序号检验项目出厂检验定型检验周期检验条款号条款号外观 5.1 6.2 规管 5.2 6.3 指示范围 6.4.1 5.3.1 测量范围内相对误差 5.3.2 6.4.2 稳定性 5.33 6.4.3 供电电源电压影响量 5.3,4 6.4.3 安全性能 5.3.5 6.4.4 5.3.6 6.4.5 模拟量输出信号 5,3." 6.4.6 开关量输出接口与通信接口 10 抗运输环境性能 5.3.8 6.4.7 1 规管完好性判断 5.3.9 6.4.8 注 "表示应检验的项目;“一”表示不必检验的项目 7.3定型检验 7.3.1具有以下情形之一,应进行定型检验 a)新产品设计定型或生产定型时 b 老产品转厂生产时; e产品的设计、结构、工艺,材料有较大变动且有可能影响产品性能时; 质量监督机构要求时 d) 7.3.2定型检验的样本为3台,检验项目见表1,所有项目应符合规定的要求 7.3.3定型检验由制造厂质量检验部门执行,也可委托质量检验技术机构执行,应出具定型检验报告 7.3.4经定型检验合格的真空计应整修,更换寿命终了或接近终了的零部件,并重新进行出厂检验检验合格后签发产品合格证,允许出厂
GB/T30434一2013 7.4 周期检验 7.4.1通则在下列情况之一时进行周期检验: a 正常生产时每两年进行不少于一次的检验; b)产品停产一年后,恢复生产时; c)出厂检验结果与上次周期检验有较大差异时质量监督机构要求时 d 7.4.2检验项目周期检验的项目、要求及试验方法的条款号见表1 7.4.3抽样方案及判定规则 7.4.3.1周期检验采用GB/T2829一2002中判别水平I的一次抽样方案 7.4.3.2周期检验项目的不合格分类、不合格质量水平(RQL),判别水平(DL)及判定数组(A..R.)见表2 表2 检验项目及条款号抽样方案不合格不合格质量判别水序号分类水平(RQL 平(DL 样本量判定数组(A.,R. 目项条款号规竹 5,2 指示范围 5.3.1 测量范围内相对误差 5.3.2 稳定性 5.3.3 供电电源电压影响量 5.3.4 30 (0，1 安全性能 5.3.5 模拟量输出信号 5.3.6 开关量输出接口与通信接口 5.3.7 抗运输环境性能 5.3.8 规管完好性判断 10 5.3.9 11 B 5.1 65 1，2) 外观 7.4.3.3周期检验按GB/T2829-2002的规定进行合格或不合格判断,其中批质量以每百单位产品不合格数表示 7.4.4样本抽取周期检验的样本应在出厂检验合格品中随机抽取 7.4.5周期检验后的处置 7.4.5.1周期检验不合格,应分析原因,找出问题并落实措施,重新进行周期检验若再次周期检验不合格,则应停产整顿,产品停止出厂检验,待解决问题,周期检验合格后,方可恢复出厂检验
GB/I30434一2013 7.4.5.2若周期检验合格,经出厂检验合格的批可以作为合格品出厂或人库标志,包装,运输和贮存 8.1 标志产品应有下列醒目的耐久性标志: a)制造者的名称; b)产品型号和名称; c)指示范围、测量范围内相对误差等产品主要参数制造日期 d 出厂编号 e 8.2 包装 8.2.1真空计应选用防震、防潮和抗压防护包装 8.2.2包装箱上的文字应清晰,内容包括制造厂名、产品型号,名称,包装日期及GB/T1912008规定的易碎物品、向上和怕雨等标志 8.2.3每台真空计包装时应附有装箱单,使用说明书和产品合格证 8.3运输真空计在包装完整的条件下,允许用一般交通工具运输运输过程中应防止剧烈振动、挤压及雨淋 8.4贮存产品应原箱贮存在环境温度0C40C,相对湿度不超过85%的通风良好的室内不应有可能引起腐蚀的酸、碱气体存在,不能有强磁场存在贮存期不宜超过一年
GB/T30434一2013 参考文献 [1]GB/T3163一2007真空技术术语 [2]JJF1050一1996工作用热传导真空计校准规范 10o

电阻真空计通用技术条件GB/T30434-2013

电阻真空计是一种常见的真空度测试仪器，被广泛应用于航空、航天、军工、能源、电子等领域中。为了确保电阻真空计的性能和质量，在使用时需要严格按照GB/T 30434-2013标准执行通用技术条件。

该标准规定了电阻真空计的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和质量证明等方面内容。其中，电阻真空计的技术要求主要包括以下几个方面：

测量范围

电阻真空计的测量范围应符合GB/T 3920-2008标准中的相关规定，一般不应小于1×10^-5Pa。在实际使用中，还需要根据具体情况选择合适的测量范围。

基本误差

电阻真空计的基本误差应符合GB/T 19633-2005标准中的相关规定，一般不应大于±15%。在使用时还需进行校准和调整，以保证测试数据的准确性。

响应时间

电阻真空计的响应时间应符合GB/T 17625.1-2017标准中的相关规定，一般应小于10s。此外，在实际使用中还需要考虑响应时间与泵速、被测物质种类等因素的关系。

稳定性

电阻真空计的稳定性应符合GB/T 30434-2013标准中的相关规定，一般要求其长期稳定性好于短期稳定性，并且能够承受环境温度变化、振动、抗干扰等各种条件。

除了上述几个方面的要求外，GB/T 30434-2013标准还对电阻真空计的试验方法、检验规则、标志、包装、运输和质量证明等方面作出了详细规定，以更好地确保电阻真空计的质量和性能。

结尾

总之，GB/T 30434-2013标准是电阻真空计的通用技术条件，使用时需要严格按照标准进行操作，以确保其性能和质量。希望本文对读者们了解电阻真空计有所帮助。