蒸发金

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国家标准 GB/T26312一2010 蒸 发 金 Goldtoreyaporating 2011-01-14发布 2011-11-01实施 中华人民共利国国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T26312一2010 前 言 本标准由有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口 本标准起草单位:北京达博有色金属焊料有限责任公司,贺利氏招远贵金属材料有限公司,贺利氏 招远(常熟)电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司 本标准主要起草人:杜连民、向翠华、禹洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东付建彬、目琳
GB/T26312一2010 发 蒸 金 范围 本标准规定了燕发金的要求,试验方法,检验规则和标志,包装,运输、贮存 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用燕发金 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T11066(所有部分金化学分析方法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934(所有部分高纯金化学分析方法 要求 3.1产品分类 3.1.1蒸发金产品按化学成分分为Z-A99.999和Z-Au99.99两种牌号 3.1.2蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主,产品形状及供货状态应满足表1的要求 需方有 其他要求时由供需双方协商解决 表" 定 形状 供货状态 直径为0.5mm8mm、长度为2mm~100mm的线材 柱状 片状 长为5mm~20mm,宽为5mm一20mm,厚为0.5mm一3mn的片材 硬态 直径为0.5mm一2mm,重量在100g一500g的线材盘成线盘 线盘状 状为主,线盘直径一般为100mm一300mnn 3.2产品标记示例 柱状蒸发金标记 3.2.1 Z-A99.999,口×口mm 长度 -直径 m,版x20mmn 示例;直径为5mm,长度为20mm,成分为99.999%的柱状燕发金产品标记为;Z-Au99.999
GB/T26312一2010 3.2.2蒸发金片状产品标记 Z-Au99.999,口x口x口mm 厚 宽 长 示例:长为10tmm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品标记为:;Z-Au99.999,10×10×2mm 3.2.3蒸发金线盘状产品标记 ZAu99.999,口mm,口g/线盘 -每线盘重量 -线材直径 示例;线径为0.5mm,每盘200g重量的线盘状蒸发金产品标记为;Z" 9,0.5mm,200g/线盘 Au99.999 3.3化学成分 产品化学成分应符合表2的要求,其中金质量分数为l00%减去表中规定的杂质实测值的总和而 得 需方对某种特定杂质元素含量有要求的,按供需双方协商进行 表2 杂质含量质量分数7 /%， 不大于 Au/% 牌号 不小于 Pl Ag Fe Bi Sb Mn Z-Au99.999 99.999 0.0005 0.000l1 0.0002 0.0001 0.0001 0.000l 0.0002 0.0001 Z-Au99.99 99.99 0.005 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.005 0.0003 杂质含量质量分数)/%，不大于 Au/% 牌号 不小于 Pd Mg Cr N 总量 As Sn Z-Au99.999 >99.999 0.0001 0.0002 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.01 Z-Au99.99 >99,99 0,005 0.003 0.003 0,001 0.0003 0.0003 0.l 3.4尺寸及允许偏差 3.4.1产品形状如图1所示 片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求;柱状产品的尺寸及允许偏 差应符合表4和表的要求;线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求,以需方要求的每盘重量范 围为主协商解决 - 片状 柱状 线盘状 b 图1蒸发金产品图
GB/T26312一2010 表3 单位为毫米 示意尺寸 允许偏差 士1 士0.2 士1 表4 单位为毫米 允许偏差 直 径 >0.10 士0.01 >1.00 士0.08 >3.0 士0.08 >5.0 士0.09 >6.0 士0.09 >7.0 士0.1 >8.0 士0.1 表5长度允许偏差 单位为毫米 定尺长度 允许偏差 <1o 士l.0 >10 土2.0 3.4.2供需双方可协商生产其他规格产品,需方如有其他要求在合同中注明. 3.5外观质量 3.5.1蒸发金产品表面应清洁,不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷 3.5.2蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污 3.5.3蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷 3.5.4蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹 3.6内部组织 蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证,内部不应有疏松,夹杂,气孔等缺陷 试验方法 4.1飞-Au99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T25934的规定进行 飞-Au99.99燕发金 的化学成分仲裁分析按GB/Tll066的规定进行 4.2产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行 4.3外观质量检验采用目视进行,必要时可采用放大镜或(10~25)倍双目显微镜检查
GB/T26312一2010 检验规则 5.1检查与验收 5.1.1蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准规定并填写质量证 明书 5.1.2需方可对收到的产品按本标准规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同,或技术协议 规定不符合时,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决 如需仲裁,可委托双 方认可的单位进行复验,仲裁取样在需方由双方共同进行 5.2组批 蒸发金产品应成批提交验收,每批产品应为同一牌号、炉号、状态,规格的产品组成 5.3检验项目 每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验 5.4取样规则及数量 检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定 表6 检验项目 取样规定 要求的章条号检验的章条号 化学成分 按批在每个铸锭的任意部位或半成品时任取一个试样 3,3 片状或柱状产品按数量的1%进行取样,但不得少于3个; 尺寸偏差 3.4 4.2 线盘状产品取10%进行抽检,每盘任意取3个部位进行尺寸测量 外观质量 抽取10% 3,5 内部组织 3.6 5.5检验结果的判定 5.5.1化学成分不合格时,则判该批产品为不合格 5.5.2尺寸及其偏差不合格,取双倍样进行重复试验,若仍有不合格,则判该批产品不合格 但允许对 余下的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货 5.5.3外观质量不合格,重新取双倍样进行检验;若仍有不合格,则判该批产品不合格 但允许对余下 的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货 标志,包装、运输、贮存 6.1标志,包装 6.1.1将检验的合格产品按要求分件包装 6.1.2蒸发金产品内包装真空密封,内外包装间装防震动的填充物 3 6.1. 每件包装产品塑料袋外应附有标签,其上注明供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数
GB/T26312一2010 量净重、生产日期 6. 2 运输、贮存 6.2.1运输中应防止包装箱挤压变形,碰伤,雨淋,受潮及恶劣环境 6.2.2产品应在清洁、干燥,无腐蚀性环境中贮存 质量证明书 每批产品应附有质量证明书,注明下列内容 需方名称及合同号; a b产品名称及产品牌号; 采购技术文件编号或本标准编号 c) d)批号,规格尺寸; 净重和件数; e 各项分析检验结果及质量技术监督部门印记 f 生产日期 g 订货单(或合同)内容 本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容: a)产品名称 b) 产品牌号 e)规格尺寸 d 数量或净重， 本标准编号 e) f 供货时间 g)其他标准之外技术协议、采购规范编号供货要求等