国家标准 GB/T26807一2011 硅压阻式动态压力传感器 Siliconpiezoresistivedynamicpressuresensors 2011-07-29发布 2011-12-01实施国家质量监督检验检疫总局发布国家标准化管理委员会国家标准
GB/T26807一2011 目次前言范围规范性引用文件分类与命名分类型号命名与图形符号基本参数测量范围被测压力介质及兼容性激励标称桥阻工作介质温度范围工作环境温度范围补偿温度范围贮存温度范围要求总则外观 5.3外形及安装尺寸 5.！输人阻抗 5.5输出阻抗豆.6负载阻抗 5.7绝缘电阻 ,.8绝缘强度 5.9静态性能 5 10过载 5.11零点漂移 5. .12热零点漂移 . 13热满量程输出漂移 5.14零点长期稳定性(必要时 5.15动态性能 ;.16环境影响特性 5.17疲劳寿命(必要时试验方法环境条件 6 2 校准条件 6.3外观 6.4外形及安装尺寸
GB/26807一2011 6.5输人阻抗 6.6输出阻抗 6.7负载阻抗 6.8绝缘电阻 6.9绝缘强度 6.10静态性能" 6.11过载 6.12零点漂移 6.13热零点漂移 6.14热满量程输出漂移 6.15零点长期稳定性 G.16 动态性能 .17环境影响试验 G .18疲劳寿命检验规则检验分类出厂检验型式检验标志、包装、运输及贮存产品标志 8.2包装 8.3运输 8.4贮存 12 附录A(规范性附录传感器性能指标的计算方法实际工作特性 13 参比工作直线 13 3 满量程输出值(Y A 14 A 非线性( 14 15 A.迟滞(n 重复性(a 15 准确度( 15 零点漂移(d. 16 A.9零点长期稳定性(r, 16 A.10热零点漂移(a 1 1" A.11热满量程输出漂移() 17 A.12振动对传感器零点影响(Z ) A.13外磁场对传感器输出的影响(C
GB/T26807一2011 前言本标准附录A为规范性附录本标准由机械工业联合会提出并归口本标淮起草单位;昆山双桥传感器测控技术有限公司,沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心,国家仪器仪表元器件质量监督检验中心本标准主要起草人:尤彩红、刘沁、王冰、王文襄、刘波、徐秋玲、徐长伍、唐慧、李延夫
GB/T26807一2011 硅压阻式动态压力传感器范围本标准规定了硅压阻式动态压力传感器的分类与命名、基本参数、要求、检验方法检验规则及标志、包装、运输和贮存本标准适用于硅压阻式动态压力传感器(以下简称传感器)的生产,使用、验收等规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准 GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分;试验方法试验A;低温(IEC60068-2 l:2007,IDT GB/T2423.2一2008电工电子产品环境试验第2部分;试验方法试验B;高温(IEC60068-2 2:2007,lDT GB/T2423.3一2006电工电子产品环境试验第2部分;试验方法试验Cab;恒定湿热试验 IEC60068-2-78:2001,IDT GBy/T2423.5一1995电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验Ea和导则冲击 (idtlEC60068-2-27;1987) GB/T2423.10一2008电工电子产品环境试验第2部分;试验方法试验Fc;振动(正弦 IEC60068-2-6:l995,IDT) GB/T2423.152008电工电子产品环境试验第2部分;试验方法试验Ga和导则;稳态加速度(IEC60068-2-7:1986,IDT GB/T2423.22一2002电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验N:温度变化 IEC60068-2-l4:l1984IT GB/T28292002周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验》 GB/T76662005传感器命名法及代号 GB/T14479传感器图用图形符号 GB/T15478压力传感器性能试验方法 JG624一2005动态压力传感器分类与命名 3.1分类按感受压力类型分为;表压、绝压,差压 3.2型号命名与图形符号传感器型号命名,按GB/T7666一2005的规定命名传感器的图形符号,按GB/T14479的规定
GB/26807一2011 基本参数 4.1测量范围传感器测量范围的上限值推荐从下列数值中选取士1.0×10",士1.6×10"、士2.0×10"、士2.5×10",士3.0×10",士4.0×10"、士5.0×10",士6.0× 10",士8.0×10" 其中)=0、1、2,3 也可以按用户特定要求设定下限值若无特殊要求则为零测量范围的单位为帕(Pa)、千帕(kPa)、兆帕MPa)、吉帕(GPa). 4.2被测压力介质及兼容性介质类型;气体,液体介质性质;导电性、腐蚀性、放射性必要时给出与被测介质接触的传感器结构材料的名称、牌号和兼容性 4.3激励 4.3.1恒压激励传感器采用恒压激励时,直流激励电压的数值从下列数值中选取;3V、5V、6v、9V、10V、12V、 15V,18V,24V,36V 激励可采用单电源,也可采用双电源方式传感器用于高频动态压力测量时,激励电源宜采用线性电源 4.3.2恒流激励传感器采用恒流激励时,直流激励电流的数值从下列数值中选取:0.5mA、0.8mA、1mA、 1.2mA.I.5mA.2mA.3mA.5mA.10mA 标称桥阻 4 传感器桥阻的标称阻值从下列数值中选取:350Q.600Q、1kQ,2kQ.3kQ、4kQ,5kQ,8kn、 10kQ,标称桥阻的允差用其阻值的百分数表示,宜采用下列数值;士10%、士25%,士40% 4.5工作介质温度范围传感器工作介质温度的下限值优先从下列数值中选取;一60C、一55C、一45C、一40C、一30C、 25C、一20"、一10C、,0C 传感器工作介质温度的上限值优先从下列数值中选取;50C,60C,70C,85C、100C、125C、 50c,I80C、200C,250t,300C,350.400c、450c 4.6工作环境温度范围传感器工作环境温度的下限值从下列数值中选取;一55C、一25C、一10C,0C 传感器工作环境温度的上限值从下列数值中选取50C,60C、,70,85C,100C、125C 4.7补偿温度范围传感器补偿温度的下限值优先从下列数值中选取;一55C、一40C、一25、一20、一10、0C 传感器补偿温度的上限值优先从下列数值中选取:50C,60C,70C,85、,100C,125C、150C、 200C,250C 4.8贮存温度范围贮存温度范围的下限温度通常等于或低于下限工作环境温度10C,贮存温度范围的上限温度通常等于或高于上限工作环境温度10C一20C 要求总则传感器应符合本标准与详细规范的规定
GB/T26807一2011 5.2外观传感器的外观应无明显的瑕疵、划痕、锈蚀和损伤;螺纹部分应无毛刺;标志应清晰完整、准确无误超高频响的壁面反射型及自由场型产品敏感受力膜片应与外端面齐平,无明显凹凸及腔室结构,自由场型产品流线型应光滑平整 5.3外形及安装尺寸传感器的安装密封方式对动态特性有很大的影响,传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定,按类型及产品结构由制造商在产品使用说明书中给出适用的安装密封方式 5.4输入阻抗传感器的输人阻抗应符合详细规范的规定无内置信号调理电路时,从下列数值中选取: 350Q,600n、1kn,2kQ,3kQ、5kQ,10kn,20kQ 5.5输出阻抗传感器的输出阻抗应符合详细规范的规定无内置信号调理电路时,从下列数值中选取 2502350Q5002、600n、1kQ、2kM、3kQ、5kQ 5.6负载阻抗传感器的负载阻抗应符合详细规范的规定绝缘电阻传感器的绝缘电阻值从下列数值中选取.,50Mn.0Ma.200Mn.500Mn 测量绝缘电阻所用直流电压从下列数值中选取:50V,100V、125V、250V,500V 绝缘强度测量绝缘强度,用频率为50Hz正弦交流电压测试,传感器应无击穿及飞弧现象测试电压从下列值中选取;50V,ll0V,220V,380V,500V 静态性能 9.1零点输出 5 无内置信号调理电路时,零点输出从下列数值中选取;在士1mV,士2mV、,士5mV、士10mV,士25mV 范围内;有内置信号调理电路时,零点输出从下列数值中选取:应小于1%F.s2%F.s,5%F.S 5.9. 满量程输出 2 传感器的满量程输出应符合详细规范的规定无内置信号调理电路时,从下列数值中选取: 30mV,50mV,75mV,100mV,150mV 5.9.3非线性传感器的非线性应符合详细规范及表1的规定 5.9.4迟滞传感器的迟滞应符合详细规范及表1的规定 5.9.5重复性传感器的重复性应符合详细规范及表1的规定 5.9.6准确度传感器的准确度应符合详细规范及表1的规定表1传感器准确度等级非线性、迟滞、重复性非线性迟滞重复性准确度准确度等级 %F.s %F.s %F.S %F.S 0.05 S0.025 s0.025 S0.025 士0.05 <0.05 <0.05 士0.1 0.1 0.05 0.25 <0.10 <0.10 <0.10 士0.25
GB/26807一2011 表1(续非我迟滞重复准确度准确度等级 %F.s %F, S %F.S %F.S 0.5 S0.25 <0.25 <0.25 士0.5 1.0 <0,5 <0.5 0,5 士1.0 2.5 S1.0 1.0 <1.0 士2.5 5.0 2.5 2.5 2.5 士5.0 5.10过载传感器的过载应符合详细规范的规定过载恢复后的具体要求,应符合相应准确度等级的要求 5.11零点漂移传感器在规定时间内的零点漂移应符合详细规范的规定规定时间从下列时间中选取:4,8,24、72,120,单位:小时(h). 无内置信号调理电路时,漂移量从下列值中选取;小于0.05mv,0.1mv,0.2mV,0.3mv,0.5mv 有内置信号调理电路时,漂移量从下列值中选取:小于0.05%F.s,0.1%F.s,0.25%F.s 5.12热零点漂移传感器的热零点漂移应符合详细规范及表2的规定 5.13热满量程输出漂移传感器的热满量程输出漂移应符合详细规范及表2的规定表2热零点漂移和热满量程输出漂移热零点漂移热满量程输出漂移准确度等级 %F.s/ %F.s/ 0.05 士0,01 士0,01 0.1 士003 士0,03 0.25 士0.04 士0,04 0.5 士0.05 士0,05 士0.08 士0.08 l.0 2.5 士0.10 士0.1o 5.0 士0.20 士0.20 5.14零点长期稳定性(必要时在规定的时间(一般为半年或一年)内,传感器零点长期稳定性应符合详细规范的规定 5.15动态性能 5.15.1频率响应传感器的频率响应应符合详细规范的规定 5.15.2谐振频率传感器的谐振频率应符合详细规范的规定 5.15.3自振(振铃)频率传感器的自振(振铃)频率应符合详细规范的规定 5.15.4上升时间传感器输出响应的上升时间应符合详细规范的规定 5.15.5过冲量必要时传感器输出的过冲量应符合详细规范的规定
GB/T26807一2011 5.15.6幅频误差在用正弦压力激励校准时,传感器的输出幅值灵敏度相对误差应符合详细规范的规定 5.15.7相移误差在用正弦压力激励校准时,传感器的输出相移误差应符合详细规范的规定 5. 16环境影响特性 5.16.1高温试验试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.2低温试验试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.3温度变化试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.4振动试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.5冲击试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.6加速度试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.7外磁场必要时试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.16.8湿热必要时试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定 5.17疲劳寿命必要时试验后传感器外观应符合5.2的规定,静态性能应符合5.9的规定试验方法环境条件参比大气条件 6.1.1 传感器的参比性能应在下述大气条件下进行试验温度:20C士2C; 相对湿度;65%士10%s; -大气压力:86kPa106kPa -般试验的大气条件 6.1.2 当传感器不可能或无必要在参比大气条件下进行试验时,推荐使用下述大气条件温度;15C35C; 相对湿度:30%85%; 大气压力:86kPa一106kPa 注;试验期间允许的温度变化,每1h不大于1C 相对湿度范围也可由供需方商定 6 校准条件 6.2.1校准系统校准系统应符合GB/T15478的规定 2.2校准前准备检查被校传感器的外观和标志是否完好,电气连接部分是否符合要求,传感器应无影响试验的缺陷
GB/26807一2011 将被校传感器的电源,读数装置和压力源按规定的方法连接好对压力系统进行检漏,以防由于泄漏引起校准误差被校传感器及仪器要在试验环境下存放1h以上,达到温度平衡按规定的时间预热后,开始校准 6.3外观用目测方法,或用5倍的放大镜检查传感器的外观,结果应符合5.2的规定外形及安装尺寸用几何量具或仪器检查,结果应符合5.3的规定 6.5输入阻抗如传感器电路为无源电路时,传感器输出端开路,直接测量其输人端的阻抗如传感器电路为有源电路时,可采用以下方达在传感器输人端加激励电压,测量输人回路电流,按公式()计算 R=(U/I×10 式中; 输人阻抗,欧(kn) R一输人端电压,伏(V); U 输人回路电流,安培(A 结果应符合5.4的规定 6.6输出阻抗如传感器电路为无源电路时,电路输人端短路,直接测量其输出端的阻抗如传感器为有源电路时,可采用以下方法保持输人的压力值不变,分别测量压力传感器在输出端开路和接有10kQ负载电阻情况下的输出电压,按公式(2)计算 R =10(U4-U/U 式中: 输出阻抗值,千欧(kQ); R UR 输出端开路时的电压,伏(V); -带10kn负载时的电压,伏(V) U 结果应符合5.5的规定负载阻抗 6. 传感器输人端施加激励电源,输出端接上可变电阻器作为输出负载阻抗测试时,由输出端开路状态,接上可变电阻器,再由最大阻值状态逐步调小可变电阻器的阻值,直至压力传感器的输出值随可变电阻器的阻值减小而变化,在规定的负载电阻变化范围内传感器输出的最大变化量不超过允许误差绝对值的50%,这时可变电阻器的阻值就是传感器的负载阻抗,结果应符合5.6的规定绝缘电阻 6. 8 在被测传感器不施加激励电源的条件下,用绝缘电阻测试仪或相应仪表,按照详细规范规定的直流测试电压,测量传感器引出线(当与外壳无连接端时)与壳体之间的绝缘电阻,结果应符合5.7的规定 6 绝缘强度用绝缘强度测试仪在传感器引出线(当与外壳无连接端时)与壳体之间,施加详细规范规定的交流电压,历时1min,结果应符合5.8的规定 6.10静态性能 6.10.1测试方法 S 传感器在符合6.2的规定条件下,对传感器施加不少于3次满量程压力的预压,使被测传感器压力
GB/T26807一2011 升到测量上限值,待压力稳定后降压,返回零点然后在传感器测量上、下限的全量程范围内选择均匀分布的5个11个试验点进行检测,并且重复3次或3次以上的升、降压检测循环按附录A计算传感器的性能指标 6.10.2零点输出在不加压力载荷的情况下测量传感器的输出,结果应符合5.9.1的规定对绝压传感器,应在输人绝对真空压力时测量传感器的输出值也可输人不大于10Pa的压力代替真空,但实际输人的压力应不大于传感器测量范围的0.01% 否则,应对输出值应进行修正,按公式(3 计算零点输出 Y =Y' 一r 式中零点输出.V Y Y" -输人绝对压力不大于10Pa时的输出值,V; -校准特性曲线的端点连线的斜率,V/Pa; 输人的绝对压力值,Pa 对差压传感器,在高压端和低压端同时通大气时,测量传感器的输出值结果应符合5.9.1的规定 6.10.3满量程输出传感器测量上限与测量下限输出之差的绝对值(以参比直线的计算值为依据),按附录A 公式(A.13),公式(A.14),公式(A.15)计算,结果应符合5.9.2的规定 6.10.4非线性按附录A公式(A.16)公式(A.17)计算传感器非线性,结果应符合5.9.3的规定 6.10.5迟滞按附录A公式(A.18)计算传感器的迟滞,结果应符合5.9.4的规定 6.10.6重复性按附录A公式(A.22)计算传感器的重复性,结果应符合5.9.5的规定 6.10.7准确度按附录A公式(A.30)计算传感器的准确度,结果应符合5.9.6的规定 6.11过载按详细规范规定施加过载负荷,保持时间不少于1min,然后卸载至零负荷,重复3次,恢复3min，按6.10规定的方法进行静态性能试验,结果应符合5.10的规定 6. 零点漂移 12 按详细规范规定的条件,在不加载荷的条件下,按规定的间隔和时间记录传感器的零点输出,按附录A公式A.31)计算零点漂移,结果应符合5.11的规定 6. .13热零点漂移将传感器放人高低温试验箱,分别在室温20C士2C、补偿温度范围上限温度、下限温度各恒温详细规范规定的时间,检测记录各温度点的零点输出值,按附录A公式(A.33)计算热零点漂移,结果应符合 5.12的规定 6.14热满量程输出漂移将传感器放人高低温试验箱,分别在室温20C士2C,补偿温度范围上限温度、下限温度各恒温详细规范规定的时间,检测记录各温度点的满量程输出值,按附录A公式(A.34)计算热满量程输出漂移结果应符合5.13的规定 6.15零点长期稳定性对传感器施加规定电压激励,每天通电不少于2h;30d进行一次8h的试验,试验前应恒温通电
GB/26807一2011 1h,记录间隔为1h,工作温度应保持在20C士2C,考核时间为半年或一年按附录A公式(A.32)计算传感器零点长期稳定性,结果应符合5.14的规定 6.16动态性能 6.16.1试验方法瞬态激励法将传感器与激波管或快速开启阀相连接,对于负压传感器用爆破膜片发生器产生一个负的阶跃压力信号,阶跃压力的上升时间至少应是被测传感器上升时间的三分之一或更短当激励装置产生一个阶跃压力信号时,用瞬态记录仪器记录传感器的响应波形正弦激励法对于5kH以下的频率,10MPa以下的峰值动态压力,可用正弦压力发生器直接测得传感器的频率响应,如果传感器本身的谐振频率在正弦压力发生器的频率范围之内,还可得到传感器的谐振频率响应时间等采用正弦激励法时,一般采用相对比较法进行测试,即在正弦压力发生器上安装标准传感器,其动态性能指标要优于被测传感器动态性能指标3倍以上激波管动态压力试验方法,正弦压力校准检定方法的详细操作按JG.624一2005的规定对于设计谐振频率<25kz,频率响应<5kHz的中低频动态压力传感器,宜采用正弦压力校准方法,按JJG6242005计算方法计算出幅值灵敏度相对误差,结果应符合5.1的要求,对于标准的动态压力传感器还应计算给出相移误差,结果应符合5.1的要求对于设计谐振频率>25kHz的中高频动态压力传感器,宜采用激波管动态试验方法 6.16.2频率响应按GB/T15478规定的方法进行试验,在规定的被测量频率范围内,对传感器施加正弦变化的压力,测量输出量与被测量之比及输出量和被测量之间相位差随频率的变化值结果应符合5.15.1的规定 6.16.3谐振频率按GB/T15478规定的方法进行试验,测量传感器具有最大输出幅值时的被测压力量的频率值按JJG624一2005计算方法,计算出谐振频率,结果应符合5.15.2的规定 6.16.4自振(振铃)频率按GB/T15478规定的方法进行试验，给传感器施加阶跃变化的测量压力,测量在传感器输出中瞬时出现的自由振荡频率值结果应符合5.15.3的规定 6.16.5上升时间按GB/T15478规定的方法进行试验，给传感器施加阶跃变化的测量压力,传感器输出从稳定值的 10%上升到稳定值90%的持续时间按JJG624！一2005计算方法,计算出输出响应上升时间,结果应符合5.15,4的规定 6.16.6过冲量对传感器施加阶跃压力信号后,测量其输出超过稳定值的最大值结果应符合5.15.5的规定 6.17环境影响试验 17.1高温试验 6d 将传感器放置在试验箱中,将电源,读数装置按规定的电路连接方式连接好,通电,然后按 GB/T2423.2一2008中5.2规定的试验方法试验,试验过程中保持全程通电状态,具体试验条件由详细规范规定,结果应符合5.16.1的规定 6.17.2低温试验将传感器放置在试验箱中,将电源,读数装置按规定的电路连接方式连接好,通电,然后按 GB/T2423.1一2008中5.2规定的试验方法试验,试验过程中保持全程通电状态,具体试验条件由详细规范规定,结果应符合5.16.2的规定
GB/T26807一2011 6.17.3温度变化按GB/T2423.22一2002中规定的试验方法试验,具体试验条件由详细规范规定,结果应符合 5.16.3的规定 6.17.4振动按GB/T2423.10一2008中规定的试验方法试验,具体试验条件由详细规范规定,记录压力传感器振动前和振动过程中的零点输出信号,按附录A公式(A.35)计算振动对传感器零点影响,振动后按 6.10的方法进行静态性能试验,结果应符合5.16.4的规定 6.17.5冲击按GB/T2423.5一1995中规定的试验方法试验,具体试验条件由详细规范规定结果应符合 5.16.5的规定 6.17.6加速度按GB/T2423.15一2008中规定的试验方法试验,具体试验条件由详细规范规定,结果应符合 5.16.6的规定 6.17.7外磁场将传感器放置在电磁场干扰试验台中,磁场方向对准传感器第一座标轴向(为Y轴向),对传感器施加量程50%一70%的压力信号,记录传感器输出值,然后施加400A/m(均方根)的磁场信号,调整移相器(0一360'),观察传感器的输出变化,并按附录A公式(A.36)计算外磁场对传感器输出的影响,结束后,按6.10的方法进行静态性能试验,结果应符合5.16.7的规定 6.17.8湿热按GB/T2423.32006中规定的试验方法试验,具体试验条件由详细规范规定,试验完成后,结果应符合5.16.8的规定 6.18疲劳寿命传感器安装到试验装置上,具体试验条件由详细规范规定,结果应符合5.17的规定检验规则检验分类检验分为出厂检验和型式检验 7.2出厂检验每只传感器应经制造厂检验部门按照规定的检验项目进行检验,检验合格后方可出厂出厂检验的项目,检验顺序按表3规定进行表3检验项目序要求试验方法出厂检验型式检验检验项目检验项目号章条号章条号项目项目不合格类型外观 5.2 6.3 外形及安装尺寸 5.3 6.4 输人阻抗 5.4 6,5 5 5 输出阻抗 6.6 负载阻抗 5.6 6.7 B 绝缘电阻 5.7 6.8 B 绝缘强度 5.8 6.9 零点输出 5.9.1 6.10,2
GB/26807一2011 表3(续要求试验方法出厂检验型式检验检验项目检验项目章条号章条号项目项目不合格类型满量程输出 5.9.2 6.10.3 非线性 10 6.10.4 5,9.3 11 5,9,4 6.10,5 迟滞 B 12 5,9,5 6.10,6 E 重复性 13 准确度 5,9.6 6.10.7 B 14 B 过载 5.10 6.1l 零点漂移 15 5.11 6.12 热零点漂移 16 5.12 6.13 17 热满量程输出漂移 5. 6.14 13 18 5,14 6.15 零点长期稳定性 B 19 5 B 频率响应 15.1 6.16.2 20 谐振频率 5.15.2 6.16.3 21 自振频率 6.16.4 B 5.15,3 22 上升时间 5,154 6.16.5 23 过冲量 5.15.5 6.16.6 幅频误差 24 5.15.6 6.l6.2 5 B 15.7 6.l6.2 25 相移误差 26 5 16.1 6.l7.1 B 高温试验 27 低温试验 5.16.2 6.17.2" B 28 温度变化 5.16.3 6 17.3 B 29 振动 5.16,4 6.17.4 30 冲击 5.16,5 6.17.5 加速度 3 5. l16.6 6,17.6 32 5.16." 6.17.7 外磁场 B 5.16.8 6.l7.8 B 湿热 33 34 疲劳寿命 5.17 6.18 E 示例注;“、”为检验项目;“”为不检验项目 7.3型式检验 7.3.1检验原则传感器具备下列情况之一时,应进行型式试验 -新产品或老产品转厂生产的试验定型鉴定; -正式生产后,如结构、材料、工艺等有重大改变; 正常生产时,定期或积累一定产量后,应周期性的进行检验,检验周期一般应为2年; -产品停产一年以上,恢复生产时; 同类型产品进行比对时; 10
GB/T26807一2011 -国家质量监督机构提出进行型式试验的要求时 7.3.2型式检验项目型式检验项目及检验顺序按表3的规定进行,根据传感器的不同类型,原理,使用环境可适当增减检验项目 7.3.3抽样、判定规定型式检验的抽样按GB/T2829一2002相应条款执行,抽检样本共10只,提供的样品基数应大于 2俯抽样样品数量以不合焰晶数为判断依据样本量n=10,呆用判别水平I的一次性抽样方案对于B类不合格项,采用不合格质量水平RQL=20,Ac=1,RRe=2 对于C类不合格项,采用不合格质量水平RQL=40,判定数组Ac=3,Re=4 出现下列情况之一时,判本次型式检验不合格无C类项目不合格,有三个B类项目不合格时有二个B类项目不合格,同时有一个C类项目不合格时有一个B类项目不合格,同时有三个C类项目不合格时 B类项目不合格,有5个C类项目不合格时 7.3.4对不合格判定的处理检验结果被判定为型式检验不合格时,按GB/T2829一2002中5.12.3规定的原则进行处理标志,包装,运输及贮存 8.1产品标志传感器应有以下标志 a 电源输人线和输出线及极性的标志 b)差压传感器的高压端和低压端接口应有永久性标志; 型号标记应包含下列内容: 型号; 1 2) 出厂编号; 量程; 3) 4 生产日期生产单位名称或商标 5) 当传感器的尺寸小到无法全部标注以上内容时,至少应包含a)、b)两项内容 8.2 包装 8.2.1随机文件产品合格证书; a b)产品使用说明书; 装箱单; d 随机备用附件清单; 安装图; 其他相关文件资料 fD 传感器包装 8 2 传感器的包装应符合设计图纸规定产品应采用防雨、,防潮气聚集的塑料薄膜包裹,顶部、底部及产品四角应按需衬垫泡沫层 b 技术文件如使用说明书将合格证明书和保修单等应进行密封防潮包装,固定在包装箱内部明显的位置 11
GB/26807一2011 8.3运输传感器的运输必须严格遵照包装箱上注明的条件,严禁日晒、雨淋、倾斜或强烈振动运输方式按订货合同上载明的要求执行贮存包装后的传感器应贮存在一10C十55C、相对湿度不超过85%,无凝露,无腐蚀性气体和腐蚀性化学药品,通风良好的室内,贮存期不应超过一年 12
GB/T26807一2011 附录A 规范性附录传感器性能指标的计算方法 A.1实际工作特性在传感器的整个测量范围内取m个校准点,校准点通常应包括零点和测量上限点.一般取m= (511)点,进行n次压力循环校准试验,校准循环一般取n=(35)次,则在任一校准点上分别有n个正,反行程试验数据,计算每个校准点上正、反行程试验数据的平均值和总的平均值正行程平均值 Y= Y A.1 反行程平均值 Yw-Y A.2 n 总平均值》-w+了 A.3 式中 -正行暴第1个校准点第)次的示值Gi-1.2.3 Y n,j=1,2,3,n)); 反行程第i个校谁点第j次的示值(i=1,2.3 m,j=1,2,3,n); Yo 第i个校淮点正反行程总平均值重复试验次数校准点个数 m A.2参比工作直线 A.2.1端基直线平移法首先,计算端基直线方程Y p 豆二一x X A.4 Y郎= X-X X一X 式中: XH、X 表示测量上、下限压力值; Y、Y表示测量上、下限输出值的平均值; 则端基平移直线作为参比工作直线方程为 Y=4十 A.5) 计算各校准点正、反行程总平均值与端基直线方程差值中的最大值(最大正值)和最小值(最大负值或零): =(-Y郎) A.6) yLH)mx Ayun)=(Y，一Yep) A. 则端基平移直线的截距a按公式(A.8)计算豆一;-立+号(ew) 4= )m十(4yLHmn] A.8 13
GB/T26807一2011 斜率b按公式A.9)计算！二 b一 A.9 X一X A.2.2最小二乘法最小二乘法作为参比工作直线方程为 Ys=4十bX A.10 截距a按公式(A.11)计算 Sx;SY-Sxx了Y 二 A.11 a" Sx-(x) mn 式中: 校准点个数 N 斜率b按公式(A.12)计算 mn 心x了-了 (A.12 "习x-之x A.2.3对于定点使用的非线性传感器,可采用正、反行程的总平均值为传感器的工作特性 A.2.4对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器,可采用刻度方程为其工作特性 A.3满量程输出值(Yr、 A.3.1传感器测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值(以理论特性直线的计算值为依据)为满量程输出,即: (A.13 YE.、=l6X一XI 式中: -理论工作直线的斜率; X、X 为测量上、下限的压力值 .3.2对于定点使用的非线性传感器,满量程输出 A Y, =|YH-Y (A.14 式中: YnY -为测量上、下限输出值的平均值 A.3.3对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器,满量程输出为 (A.15 YF、=|YH-YL 式中: Y1.了为刻度方程上的上、下限点的计算输出值非线性(5 A 4 A.4.1线性压力传感器的非线性指标 -Y ×100% A.16) YFs 式中: 根据公式(A.3)计算出的输出总平均值; 根据公式(A.5)或公式(A.10)式计算出的理论值,对于带刻度方程的线性压力传感器为其 14
GB/T26807一2011 刻度方程对应的输出值 A.4.2非线性传感器不计算非线性度指标,对于非定点使用的非线性传感器,计算刻度误差()(指标要求与非线性度相同 -区 -Y ×100% A.17 R Ys 式中: -根据公式(A.3)计算出的输出总平均值非定点使用的非线性压力传感器刻度方程对应的输出值 A.5迟滞(5 立u-了些x10% (A.18 = Ye A.6重复性(En 采用贝赛尔公式分别计算每个校验点上正、反行程输出值的子样标准偏差正行程子样标准偏差Su: -Y (A.19 Sui= 这了式中重复试验的次数反行程子样标准偏差S Y Sx= -J (A.20 传感器在整个测量范围内的子样标准偏差S: S 品凶十习灯) A.21 式中: 校准点个数则重复性为: 2S ×100% A.22) 6R= Y 式中: 包含因子，一般取入=3 也可以按1分布取值,但不推荐使用,取包含因子入=h(保证95%的置信度),其与校准循环次数 n和校准点个数有关,具体见表A.1 表A.1按1分布的包含因子取值 n(n 10 12 15 16 20 25 30 35 40 45 2.18 2.12 2.23 2.14 2.13 2.10 2.09 2.06 2.04 2.03 2.02 2.0 o,95 准确度( A.7.1传感器的准确度是系统误差与随机误差的综合反映,即取决于系统误差与随机误差带的大小 15
GB/T26807一2011 A.7.2线性传感器的系统误差带采用端基平移直线时: a U=士- (IY似-Y|十|Y -Y|) A.23) 式中: ,Yn -分别为根据公式(A.1、公式(A.2)计算出的正、反行程输出平均值 Yi” -为根据公式(A.5)计算出的端基平移直线方程计算输出值 b采用最小二乘法时正行程的系统误差为 w=|Y-yu (A.24 (4Y) 反行程的系统误差为: (4Y)n=了-Ys| A.25 式中: Y 为根据公式(A.10)计算出的最小二乘直线方程计算输出值则U为(AY')u与(4Y')a中较大者对于定点使用的非线性传感器,系统误差带为 A.7.3 A.26 U一士Yw-Y A.7.4对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器的系统误差带为正行程的系统误差为: A.27 AY)=|Yu-Y|mm 式中: 刻度方程对应值反行程的系统误差为 Y);=|Y-Yl A.28) 则U为(AY)u与(4Y)中较大者 A.7.5传感器的随机误差U为 U，=士3s A.29) A.7.6传感器的准确度(): U土U =士 ×100% A.30 A.8零点漂移(d, Y-Yl d，= ×100% A.31 式中: 零点漂移的考核期间内零点示值的最大值,最小值 Ym、Ymm A.9零点长期稳定性(r, Y 二Y= ×100% A.32 Y 式中: 考核期间内零点输出的最大值,最小值 Y. Ymin 16
GB/T26807一2011 A.10热零点漂移(a) Y-YG 33 ×100% A. a YEst2一式中: 室温为上限补偿温度或下限补偿温度室温时,传感器的零点输出 Y(t 为上限补偿温度或下限补偿温度下,传感器零点输出 Yta A.11热满量程输出漂移(p Y一YGY ×100% 8= (A.34 Y (l一式中室温; 为上限补偿温度或下限补偿温度; t， Y() 室温时,传感器的测量上限输出; 温度下,传感器的测量上限输出; Y" H(ta Y() 室温时,传感器的测量下限输出; YL(a 温度下,传感器的测量下限输出 A.12振动对传感器零点影响(z) -IYY m×100% A.35 Z. YE 式中: 振动过程中,传感器的零点输出值; 振动前,传感器的零点输出值 A.13外磁场对传感器输出的影响(c c-YYax100% A.36 Ys 式中: -能加外磁场过程中,传感器的输出值施加外磁场之前,传感器的输出值 Ym 试验过程中保持传感器的输人压力不变,输人压力为传感器量程的50%~70%

硅压阻式动态压力传感器GB/T26807-2011

1. 硅压阻式动态压力传感器的定义

硅压阻式动态压力传感器（Silicon Piezoresistive Dynamic Pressure Sensor）是一种利用硅芯片上的压阻效应来测量气体或液体动态压力的传感器。它广泛应用于航空航天、汽车制造、机械加工等领域。

2. 结构和工作原理

硅压阻式动态压力传感器由压力敏感元件、支撑结构和电路板三部分组成。

压力敏感元件是传感器的核心部件，它采用硅芯片上的压阻效应来实现压力的测量。当被测介质施加一定压力时，硅芯片会发生微小的形变，从而改变芯片内部的电阻值。

支撑结构主要是为了固定和保护压力敏感元件，同时减小外界对传感器的干扰。

电路板是传感器的信号处理部分，它通过放大、滤波等技术将传感器输出的微弱信号转化为我们可以理解的电压或电流信号。

3. 技术性能指标

硅压阻式动态压力传感器的主要技术性能指标包括：

测量范围：指传感器可以测量的最大压力范围。
灵敏度：即单位压力变化所引起的电阻值变化。
精度：指传感器输出值与真实值之间的误差范围。
输出方式：传感器输出的信号可以是电压信号或电流信号。
响应时间：指传感器输入信号变化后，输出信号达到稳定状态所需的时间。

4. 应用范围

硅压阻式动态压力传感器广泛应用于航空航天、汽车制造、机械加工等领域。在航空航天领域，它可以用于测量飞行器的气动力学参数，如剩余燃料量、速度和高度等；在汽车制造领域，它可以用于测量发动机燃烧室内部的压力等；在机械加工领域，它可以用于测量切削过程中的压力，提高机床加工的精度和效率。

5. 结论

硅压阻式动态压力传感器是一种重要的压力传感器，具有灵敏度高、测量范围广、精度高等特点。GB/T26807-2011是硅压阻式动态压力传感器的标准，规定了其技术性能指标和测试方法，有利于提升传感器的可靠性和稳定性。