国家标准 GB/T28159一2011 电子级磷酸 Eleetroniegradephosphoricacid 2011-12-30发布 2012-07-01实施国家质量监督检监检疫总局发布国家标准花管理委员会国家标准
GB/T28159一2011 目次前言范围规范性引用文件产品分类要求试验方法 5.1 安全提示 5.2 -般规定 5.3外观磷酸含量 5. 4 5.5易氧化物含量 5.6金属离子含量 5.7阴离子含量 5.8颗粒测定检验规则组批与抽样 6.2检验项目标志、标签包装、运输、贮存、操作附录A(资料性附录)仪器工作条件附录B(资料性附录)离子色谱图 13
GB/T28159一2011 前言本标准是根据GB/T1.1一2009给出的规则起草请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会(TC203)提出并归口本标准负责起草单位:四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司本标准主要起草人李全东,肖遥、王文武,戈士勇,何坷、李少平,钟剔,尤家栋,刘兵
GB/T28159一2011 电子级磷酸范围本标准规定了电子级磷酸的要求,试验方法、检验规则以及标志、包装、,运输、贮存等本标准适用于电子工业用磷酸本标准不涉及使用安全性问题,本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T6o1 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T1282一1996化学试剂磷酸 GB3149一2004食品添加剂磷酸化工产品采样总则 GB/T6678 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 (GB/T1l446.1电子级水 GB15258化学品安全标签编写规定 GB50472电子工业洁净厂房设计规范产品分类标准规定的电子级磷酸分为两种规格;E1为普通电子级磷酸,E2为高纯电子级磷酸要求 4.1外观;无色,无臭,黏稠状液体 4.2电子级磷酸应符合表1要求表1要求标指项 E1 E2 磷酸(HPO)质量分数85%/% 8587 8587 易氧化物(以H,PO计)质量分数/% 0.005 0.001 硝酸盐(No)质量分数/mg/ke) 0.5
GB/r28159一2011 表1(续指标项 E1 E2 10 硫酸盐sO质量分数/mg/kg 氯化物(CI)质量分数/mg/kg 0.5 铝(A)质量分数(g/ke) 200 50 50 研棚B) )质量分数/pg/kg (Sb)质量分数/4g/kg 3000 300 呻(As)质量分数/4g/kg 100 20 锁(Ba)质量分数/4g/kg 100 20 (Cd)质量分数/ 100 20 /"g/kg 钙(Ca)质量分数/4g/kg) 1000 50 铬(Cr)质量分数/g/kg 100 20 钻(co)质量分数(4g/ke) 100 20 50 20 铜(C)质量分数/4g/kg) 嫁(Ga)质量分数/4g/kg 100 10 金(Au)质量分数/g/kg 100 10 50 铁(Fe)质量分数/(gg/ke) 300 铅(Pb)质量分数 00 20 g/kg 锂(Li)质量分数/4g/kg 100 10 镁(Mg)质量分数/(4g/kg 100 20 20 钮(Mn)质量分数/4g/kg) 100 镍(Ni)质量分数/(4g/kg 100 20 钾(K)质量分数/(4g/kg 00 20 银(Ag)质量分数/4g/ke 100 20 3 钠(Na)质量分数/ 500 50 /4g/kg 锡(Sn)质量分数/4g/kg) 10 钯(Sr)质量分数/(4g/kg 00 20 钛(T)质量分数/u4g/kg) 50 100 锌(Zn)质量分数/ug/kg 100 50 颗粒(粒径,数量/4m,pcs/mL) 试验方法 5.1安全提示本试验方法中使用的部分试剂具有毒性、腐蚀性及易燃,操作者须小心谨慎!如溅到皮肤上应立即用水冲洗,严重者应立即治疗使用易燃品时,严禁使用明火加热
GB/T28159一2011 5.2 一般规定本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂所用水为GB/T11446.1规定的Ew-l 级电子级超纯水,25笔在线电阻率不小于18.2MQcm 试验中所用标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按照GB/T601,GB/T603的规定配制 ICPMS操作和颗粒测定均需在不低于 GB50472中规定的1000级洁净室进行,其帝液的配制及样品的处理宜在不低于GB50472中规定的 l00级环境下进行 5.3外观在自然光条件下用目视法进行判定磷酸含量 5.4.1重量法(仲裁法按GB31492004中4.4.1规定的方法进行 5.4.2容量法方法提要 5.4.2.1 根据磷酸性质,以百里香酚献为指示液,用氢氧化钠标准滴定溶液直接滴定,以确定磷酸含量 5.4.2.2试剂和材料 5.4.2.2.1氢氧化钠标准滴定溶液;c(Na(oH)0.5nmol/L 5. .4.2.2.2百里香酚指示液;1g/1 5.4.2.3分析步骤称取约1g试样,精确至0.0002g 移人250mL具塞锥型玻璃烧瓶中,用80ml的超纯水稀释加人0.5mL百里酚酞指示剂溶液,用0.5nmol/L的氢氧化钠标准溶液滴定至溶液刚呈浅蓝色即为终点同时做一空白值 4.2.4分析结果的表述 S 磷酸(H,PO,)质量分数(r)按式(1)计算 V cX49.00 ×100% .Z n1×1000 式中复冥化躺标准滴定游液的实际浓度,单位为摩尔每开(molL7 消耗氢氧化钠标准滴定斜液的体积,单位为毫升(mL) -试样的质量,单位为克(e) 磷酸的摩尔质量[M(1/2H,PO],单位为克每摩尔(g/mo. 49.00 取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2% 5.5易氧化物含量按GB/T3149-2004中4.8规定的方法进行
GB/r28159一2011 5.6金属离子含量 5.6.1方法原理电感耦合等离子体-质谱法(ICPMS)对电子级磷酸中痕量金属离子的测定有很高的灵敏度,并可以同时测定多个痕量金属离子测定时样品由载气(缸气)引人雾化系统进行雾化后,以气溶胶形式进人等离子中小区,在离子体火炬高温和惰性气氛中被去溶剂化、汽化解离和电离,转化成带正电荷的正离子,经离子采集系统进人质谱仪,质谱仪根据质荷比进行分离,由离子质谱峰的强度定量样品中相应离子的含量样品分析采用标准加人法,标准曲线的线性范围在20ng/L500ng/L 5.6.2试剂和材料 5.6.2.1硝酸;金属离子含量不大于14g/L的超纯硝酸,选取相应浓度的持证标准溶液 5.6.2.2硝酸溶液(1十19,体积比):取符合5.6.2.1的硝酸150mL加人950mL超纯水 5.6.2.3调游液lg/L由仪器供应商提供或者持证调谐溶液 5.6.2.4调谐工作溶液;取符合5.6.2.3的调谐液20ml于聚四氟乙烯洁净瓶中此液4C冷藏、反复使用可保持7天 55 .6.2.5多元素标准储备液;选取表1中金属离子已知浓度为1004g/m的标准溶液,或者选取其他浓度的持证标准溶液 5.6.2.6多元素标准工作液;取符合5.6.2.5的标准储备液100l于聚四氟乙烯洁净瓶中,加人符合 5.6.2.1的硝酸2mL,用超纯水稀释至100ml,摇匀此标准工作液中金属离子为100g/L 此液 4c冷藏、反复使用可保持7天 5.6.2.7高纯氯气、氢气、氮气及仪器要求的其他气体,纯度不小于99.995%. 5.6.2.8磷酸标准样品质控样);浓度1%的磷酸标准溶液,选取持证磷酸标准溶液,或者实验室间比对认可的质控样 5.6.3仪器设备 5.6.3.1电感合等离子体-质谐仪(ICPMS),配置碰撞反应系统(ORs)(推荐仪器检出限;低质量数元素(Be)<5×10",中高质量数元素(In,Bi)<1×10-”;丰度灵敏度;低质量数元素<1×10-",高质量数元素<5×10-7;稳定性;短期RsD<4%(20min),长期RSD<5%(2h),24h质量轴偏离士0.！amu;抗干扰能力;氧化物比值<3%,双电荷比值<8% ) 5.6.3.2精密取样枪;100L,l000pL,5ml 3 5.6.3. 超纯水净化器,带0.14m终端过滤器,在线制备不低于18.2MQcm(25C)超纯水 5.6.4分析步骤 5.6.4.1样品测试液分次称取10g待测试样,精确至0.0002g,分别置于6个100mL的聚四氟乙烯高纯瓶中,加2ml 超纯硝酸,依次加人0mL,0.1mL.0.2mL,0.4mL,0.6mL、1.0mL符合5.6.2.6的多元素标准工作液用超纯水稀释至100.00g,摇匀 5.6.4.2空白试液在聚四氟乙烯高纯瓶中加人2mL超纯硝酸,用超纯水稀释至100mL(100.00g),摇匀.
GB/T28159一2011 所有器皿及取样枪枪头均要用符合5.6.2.2的高纯硝酸溶液浸泡24h,用超纯水反复冲洗晾干后方可使用 5.6.4.3测定调整仪器工作条件,用符合5.6.2.4的调谐工作溶液调整仪器测量参数,调谐应达到仪器的工作要求;选择待测元索质量数,对待渊无素的同位素的选择需根据样品基体中可能出现的干扰情况,选取干扰少的相宜气体模式测定,以及丰度较高的同位素进行测定以分析蜂的响应值为纵坐标,待测元素标液加人量为横坐标,利用仪器配备的化学工作站随机配的色谱软件)对测试结果绘制标准曲线,将标准曲线延长交于横坐标的交点于原点的距离所相应的含量,即为样品测试液待测元素的含量,再以此计算样品中待测元素的含量在同样的分析条件下进行空白试验,依据仪器说明书的操作要求扣除空白干扰标准曲线的线性相关系数不得低于0.995,若测定结果超出线性范围,应该将测试液重新配制,或改变样品加人浓度重测注调整仪器时宜优先对符合5.6.2.8的磷酸标准样品比对测定,主要元素的测定结果与已知浓度的绝对差值宜不超过一定的百分比限度值相对已知浓度),否则重新调整仪器元素已知浓度>1×10-7,限度值<10% 元素已知浓度1X10一5X10”,限度值<20%;元素已知浓度1X10~1X10-,限度值<30%. 5.6.5检出限、精密度和回收率 5.6.5.1检出限(Loo ，各元素的检出限见附录A表A.1. 1%HP(O 5.6.5.2精密度RSD) 在重复条件下获得的两次独立测定结果的绝对差值不得超过算术平均值的30%;各元素精密度试验数据见附录A表A.2 回收率 5.6.5.3 电感稠合等离子体-质谱法回收率应在75%一125%范围;各元素精密度试验数据见附录A 表A.2" 5.7阴离子含量 5.7.1容量法 -19的相关要求操作.检出限cn. 按GB/T1282 nmg/L,w(NO)0.05mg/kg,p(sO) /L 0.4mg/ 5.7.1.1氯化物 5.7.1.1.1试剂和材料硝酸;1十1溶液; b)硝酸银:17g/几溶液; 氧化物标准溶液[g(CI)=1000mg/1],选取相应浓度的持证标准溶液
GB/r28159一2011 5.7.1.1.2分析步骤 a)样品制备称取20g试样(12ml),精确至0.0002g,移人100mL容量瓶中,定容,摇匀,吸取10mL溶液置于50mL比色管中,用水稀释至约40mL,加2mL硝酸游液和1ml硝酸银游液,用水稀释至刻度摇匀 b) 标准比对溶液取含下列数量的氯化物标准溶液 E1 0.02mgCl; E20.001mgC！与样品同时同样处理分析结果的表述按照a)和b)配制的溶液放置10min,溶液所呈浊度不得大于对应的标准比对溶液 5.7.1.2硝酸盐测定 5.7.1.2.1 试剂和材料靛蓝二磺酸钠溶液[c(CH.NNa.O.S.)=0.001mol/L]按GB/T1282一1996中5.7规定的配制; 氯化钠溶液[A(Na(C)=100g/L] b 硝酸盐标准溶液[p(NO)=1000mg/L],选取相应浓度的持证标准溶液 5.7.1.2.2分析步骤样品制备 a 称取20g试样(12mL),精确至0.0002g,移人100mL容量瓶中,定容,摇匀,吸取25ml溶液置于50mL比色管中,用水稀释至约30mL,加1mL氯化钠溶液[c(NaCl)=100g/1]和1mL靛蓝二磺 =0.001mol/L]溶液,在摇动下,于10s15s时间内加人10mL浓硫酸销游液Cc(c,H.N.N.o.s) 酸,用水稀释至刻度摇匀 b标准比对溶液取含下列数量的硝酸盐标准溶液 E1 0.1mgNO; E20.0025mgNO5 与样品同时同样处理分析结果的表述按照a)和b)配制的溶液放置10min,溶液所呈蓝色不得浅于对应的标准比对溶液 5.7.1.3硫酸盐 5.7.1.3.1 试剂和材料无水乙醇 a b)氯化钏:250g/L溶液; 碗酸盐标准溶液[(so)=1000mg/L],选取相应浓度的持证标准溶液 c
GB/T28159一2011 5.7.1.3.2分析步骤 a)样品制备称取20g试样(12mL),精确至0.0002g,移人100mL.容量瓶中,定容,摇匀,吸取10mL溶液置于50ml.比色管中,用水稀释至约40ml,加5ml无水乙醇和1ml盐酸溶液(1十1),在不断摇动下滴加3ml氯化锁溶液,用水稀释至刻度摇匀 b标准比对溶液取含下列数量的硫酸盐标准溶液: E1 0.06mgSO; E20.01mgsO 稀释至20mL,以下按5.7.1.3,2a)条中从“加5ml无水乙醉"开始,至“摇匀”止进行 c)分析结果的表述按照a)和b)配制的溶液放置10min,溶液所呈浊度不得大于对应的标准比对溶液 5.7.2离子色谱法(定量法 5.7.2.1方法原理离子色谱仪采用样品环管定体积进样,样品溶液通过专用离子抑制柱,将痕量杂质阴离子用离子排斥柱从磷酸中分离出来,再将分离收集的组分通过离子交换浓缩柱进行浓缩，经电导检测器中形成高斯分布型色谱峰色谱峰的面积(或峰高)正比于组分的浓度,仪器的积分仪拾得此信号给出组分的定量结果宜采用标准加人法,测定样品中的杂质阴离子 5.7.2.2试剂和材料 5.7.2.2.1阴离子标准工作溶液分别吸取用飘化物(e),稍酸盐(No),碗股盐(so)标准工作祥液,现用现配成混合标雅工r 作溶液CI)10mg/L、p(NO)50mg/、p(sO;)100mg/L,可根据试样中阴离子浓度确定相宜浓度 5.7.2.2.2离子色谱柱采用仪器配套的离子色谱柱:保护柱,分析柱,C浓缩柱、捕获柱、排斥柱 5.7.2.2.3淋洗液超纯水,20mmol/儿60mmol/几氢氧化钾(宜用淋洗液发生器产生) 5.7.2.3设备和仪器离子色谱仪,配有淋洗液自动发生器、电导检测器和色谱工作站、阴离子自动再生抑制器、浓缩泵外接式六通阀,仪器检出限;C0.0024g/mL,NO和sO;-0.0014g/ml 5.7.2.4分析步骤 5.7.2.4.1离子色谱条件见表2
GB/r28159一2011 表2离子色谱条件’ 30 柱温电流设置 50mA 检测器抑制型检测器抑制柱外加水循环模式样品量淋洗速率 0.50ml/min1.00ml/min 200Ml 排斥柱分离速率排斥柱切换时间 9min30s9min45s 0.5ml/min 淋洗方法;先单独用20nMKOH淋洗30nmin,后改为60nM淋洗10nmin,最后回到20nM淋洗5min 5.7.2.4.2测定称取一定量的磷酸,按1:1质量比用超纯水稀释,得样品试液取等体积样品试液6份,加人系列符合5.7.2.2.1要求的混合标准工作液,配制表3所列浓度的标准曲线溶液在选定的色谱条件下,测定标准曲线溶液的色谱峰以阴离子的峰面积对其质量浓度绘制标准曲线,从标准曲线上外推加人的标准离子浓度为0时对应的浓度即为样品中阴离子浓度表3标准曲线溶液推荐离子浓度/4g/mL) 顶 0.05 0,20 氯化物(C 0.50 l.00 l，50 硫酸盐SO 1.00 2.00 5.00 10.00 15.00 硝酸盐(NO 0.5 1.00 2.00 5.00 8.00 5.7.2.4.3空白试验除不加试样外,采用完全相同的测定步骤进行平行操作 5.7.2.4.4结果计算样品溶液中阴离子浓度以质量分数(r,)计,单位以毫克每千克(mg/kg)表示,按式(2)计算 S-SXX 2 r 1 式中: 样品离子的响应值在标准曲线上对应的质量浓度,单位为毫克每升(mg/L); S 空白离子的响应值在标准曲线上对应的质量浓度,单位为毫克每升(mg/L); 样品溶液总体积,单位为毫升(mL); 样品稀释倍数; 样品质量,单位为克(g) 5.7.2.4.5检出限、精密度和回收率检出限!;方法检出限w(CI)0.007 zwNO)0.003 w(SO?)0.003 4g/g飞u 4g/g" 4g/g 1 非商业性声明;表2所列数据是在DionexICS1500离子色谱仪上完成的,此处所列试验用仪器型号仅为了提供参考,并不涉及商业目的,鼓励使用者尝试不同厂家和型号的仪器
GB/T28159一2011 b精密度:相对标准偏差(RSD)为CI<3%、NO5<3%、SO<6% 回收率:加标准回收率为99%102% c) 5.8颗粒测定 5.8.1仪器和设备激光液体颗粒测定仪器;精度0.2pm,带除气泡装置 5.8.2测定步骤按照仪器操作规程,设定仪罂请洗甜序和测定程序先用超纯水请洗仪器,使测定0.2pn 颗粒达到小于20pcs/mL后,取20mL样品进行颗粒测定检验规则 6.1组批与抽样 6.1.1每一合同批次或交货批次为一批次抽样宜在线采样,在生产线上包装机台的采样口进行成品抽样时,按照GB/T6678的规定确定采样单元数,采样前先确认包装中产品温度应高于10C 采样在室温20C左右的净化房中进行采样方法为将包装置于GB50472中规定的100级超净工作环境(层流罩或净化间),放置时间不少于 30min让其稳定后开盖采样采样时,用专用洁净采样器自包装桶口插人料层深度的四分之三处采样 6.1.3 所采样品不少于100g,将所采样品混匀,分装于两个清洁干燥的高纯聚乙烯瓶或聚四氟乙烯瓶中,密封瓶上粘贴标签,注明,生产厂名,产品名称,批号,采样日期和采样者姓名(生产厂自己采样品可简化标签) 一瓶用于检验,另一瓶保存3个月备查 6.2检验项目 6.2.1出厂检验由生产厂的质量监督检验部门按本标准的要求进行检验,生产厂应保证每批出厂的产品都符合本标准的要求 2 6.2. 有下列情况之一时,进行型式检验 a)原料、工艺,设备有较大变化时 b)长期停产恢复生产时质量监督部门提出要求时标志、标签 7.1电子级磷酸包装桶上应有牢固、清晰的标志,内容包括:生产厂名、厂址、产品名称“电子级磷酸” 字样、生产许可证号、净重、批号或生产日期、本标准编号以及GB/T191及GB15258中规定的“腐蚀性物品"标志标签格式应符合GB13258中规定 7.2每批出厂的电子级磷酸都应附有质量证明书内容包括:生产厂名、产品名称、净重、批号或生产日期,产品质量符合本标准的证明和本标准编号包装,运输、贮存,操作 8.1电子级磷酸采用包装专用高纯容器:密封、小开口将高密度聚乙烯(HDPE)桶,全聚四氟乙烯或覆
GB/r28159一2011 盖聚四氟乙烯内膜桶,外材质为316L的不锈钢内衬聚四氟乙烯或高密度聚乙烯的槽车 8.2电子级磷酸在运输过程中,要轻提轻放,严禁烈日曝晒和猛烈撞击,严禁与有毒物质混运,防止污染搬运时要轻提轻放,防止破损 8.3电子级磷酸在贮存过程中,适宜室温(20C左右)贮存,严禁与碱类,有毒物品及其他易腐蚀物品混放在一起,防止阳光曝晒磷酸包装,取样,放出等转移操作应在不低于10C的环境下进行,避免带人引起磷酸结晶的晶种 8.4 异物等,甚至低温(10C以下)的器具及空气也应避免直接进人磷酸中 10
GB/T28159一2011 附录A 资料性附录仪器工作条件仪器工作条件见表A.1一表A.3 表A.1各元素检出限单位为纳克每千克(ng/lkg 元素元素元素元素检出限检出限检出限检出限 L 0,38 Ca 14 Cu 1.7 Au 0.7 25 10 T Zn 2.7 Pb 0,8 Na 5 C1t 30 As 0.3 Ag Mg Mn 1.8 sr 0,2 Sl 20 e 20 AI Cd K 0.56 0.2 Ba Co R 表A.2精密度试验元素相对标准偏差/% 元素相对标准偏差/% Li 1.36一3.22 Fe 0,78一2.14 B 1.563.18 Co 1.413.12 Na 1.212.41 Cu 1.813.52 0.81一2.12 1.56~2.98 Mg" n Al 1.222.32 As 0.561.74 S l.61一2.82 1.87一3.05 Ca 0.88一2.02 Cd 0.88一2.54 Ti 1.823.32 1.32一3.32 Ba" C 0,56~1.89y 1.56~2.72 Au Mn 0.862.31 Pb 0.32~2.02 21 非商业性声明:附录A表A.1、表A.2和表A.3所列数据是在AgilentICPMS7500CS电感耦合等离子体-质谱仪NG模式完成的,此处所列试验用仪器型号仅为了提供参考,并不涉及商业目的,鼓励使用者尝试不同厂家和型号的仪器 11
GB/r28159一2011 表A.3回收率试验回收率回收率原浓度添加浓度原浓度添加浓度元素质子数元素质子数 % 4g/kg 4g/kg 4g/kg 4g/kg 1.0 88.82~l09,28 1.0 88.88~1l1.56 5.o 92.15~108,23 Co 59 92.75~107,53 5.0 l.0 0.1 10.0 98.56~101.23 10.0 91.54106.83 1.0 85.85一1l4.20 1.0 92.84107.22 0.5 91.45109.25 Ni 6o 1.5 95.35~104.64 5.0 5.0 10 10.0 97.56~102.73 10.0 98.06~101.43 1.0 92.89~105.21 1.0 84.72~115.21 Ne 23 97.14一102.22 64 91.11108.83 7.5 5.0 Zn 2.4 5.0 99,65100,73 10.0 0.0 95.51~103,54 88.721l0.32 1.0 89,89~105,88 1.0 Mg 24 4.5 5,0 96.15~103.73 Cu 65 0.2 5.0 92.35106.27 10.0 98,87101,03 0,0 97.59~102.29 88,87l10.02 93.87106.29 1.0 AN 27 5." 5,0 93.12~l06,214 A 75 1,0 5.0 92.75106,06 10.0 98.16101.27 0.0 98.24101.19 87.87~1l1.08 1.0 88.47111.27 1.0 39 K 6." 5.0 93.12一106.73 A 79 0.1 5.0 94.25106.38 10.0 97.46~101.53 0.0 93.86105.24 1.0 89.85~106,24 1.0 89.89~108,26 Ca 40 S1 88 15.7 5.0 95.16一102.93 0.1 5.0 92.11107.03 10.0 98,59~104.21 0.0 92.56105.15 1.0 86,72~112.27 1.0 92.82107.38 T 4.5 5.0 91.05109,24 Cd 111 1.2 92.75108.01 5.0 46 10.0 94.56~106.73 10.0 94.36一103.73 1.0 92.84105.28 1.0 87.22一1l0.77 51 5,0 92.15~106.53 Sb 121 20,5 5.0 9A.05~105,20 l.0 10.0 99.51101.01 10.0 96.45103.27 1.0 94.52~107.22 1.0 93.82106.29 Cr 52 2.1 5.0 96.12~103,53 Ba 137 1.0 5.0 92.55~105,93 10.0 98,36~102.21 10.0 95.76~104.23 1.0 94.81一104.68 1.0 96.21一103.71 55 Mn 1.0 5.0 95.13~103.61 Tl 205 0.1 5.0 97.45~102.28 10,o 96,51一104.03 10.o 99.16~100,29 95,87~104.18 93.81~106,25 1.0 1.0 Fe 56 12.2 5.0 97.15~102.13 Pb 208 5.0 92.91105.28 99.86100.53 10.o 94.16~105.73 10.0 12
GB/T28159一2011 B 附录资料性附录离子色谱图标准物质离子色谱图见图B.1 7.004s 21.687 5.00- 3.75 2.50- 1.25 6.463 20.163 min -1.00- 13.1 15.0 16.3 17.5 18.8 20.0 21.3 22.5 23.8 25.1 NO S(O 图B.1标准物质离子色谱图

电子级磷酸GB/T28159-2011介绍

电子级磷酸是一种重要的化工原材料，广泛应用于半导体制造、光伏产业等领域。GB/T28159-2011《电子级磷酸》是由国家质量监督检验检疫总局和中国石油化工股份有限公司共同发布的技术标准。

技术要求

按照GB/T28159-2011标准规定，电子级磷酸应具备以下技术要求：

纯度高：电子级磷酸的总杂质含量应控制在0.5ppm以下。
稳定性好：电子级磷酸应具备优良的物理化学性能，如PH值稳定、氧化还原电位稳定等。
微量元素低：微量元素如阴离子、阳离子等的含量应尽可能地降低。
可靠性高：电子级磷酸生产应按照合理的工艺流程操作，保证产品质量稳定可靠。

技术特点

电子级磷酸具有以下几个主要技术特点：

纯度高：电子级磷酸的总杂质含量控制在0.5ppm以下，可以满足半导体制造、光伏产业等领域对材料纯度的高要求。
稳定性好：电子级磷酸具有良好的物理化学性能，如PH值稳定、氧化还原电位稳定等，可以保证生产过程的稳定性和一致性。
微量元素低：电子级磷酸中微量元素含量低，可以避免对生产过程的干扰和影响。
可靠性高：电子级磷酸生产过程按照合理的工艺流程操作，保证产品质量稳定可靠。

应用前景

随着半导体制造、光伏产业等领域的不断发展，电子级磷酸作为重要的化工原材料，将会得到越来越广泛的应用。未来，电子级磷酸技术将会不断提高和完善，以更好地适应产业发展的需求。