国家标准 GB/T40418一2021 电子特气氟甲炕 Eleetromicspeeialtygas一Fuoromethane 2021-08-20发布 2022-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标涯花管理委员会国家标准
GB/40418一2021 前言本文件按照GB/T1.1一2020<标准化工作导则第1部分;标准化文件的结构和起草规则》的规定起草请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口本文件起草单位;浙江省化工研究院有限公司,昊华气体有限公司、中船重工邯郸)派瑞特种气体有限公司、循州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司,天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司联雄投资(上海)有限公司,沈阳中复科金压力容器有限公司,浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司本文件主要起草人.;更魄群、张建君,方小青,孙福铺、付梦月、候玲玲,郑秋艳,董云海、课慧、褚人财,颜光清,何经余、曹素英、傅铸红.,陈艳珊、马建修、程紧-,叶相平、王新喜、孙猛、,陈洁,吴靓方华孙赞珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵,王大为、易达文、李阳,梁永强,梁成科,高静,吴克安.白占旗、徐娇叶树全、赖晓峰、方艾黎、周鹏云、张亮
GB/40418一2021 电子特气氟甲完范围本文件规定了电子级氟甲炕的技术要求、检验规则,试验方法、标志,包装,运输及贮存的要求本文件适用于由工业氟甲炕提纯制备的电子级氟甲烧规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB190危险货物包装标志 GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099所有部分)钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分电解法 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法气瓶颜色标志 GB 7144 GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 GB/T33145大容积钢质无缝气瓶 TsGR0005移动式压力容器安全技术监察规程 TSG23 气瓶安全技术规程术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义技术要求氟甲婉的技术要求应符合表1的规定
GB/T40418一2021 表1技术要求项目指标氟甲婉(CHF)纯度质量分数/10- >99.999 氧十氨)(o十Ar)含量(质量分数)/10 氮(N;)含量(质量分数)/10-" 2 二二氧化碳(co.)含量(质量分数)/10" 5 其他有机化合物(三氟甲婉,乙炕、乙烯)含量(质量分数)/10" 水(H.O)含量质量分数/10- 2 酸度(以HF计质量分数/10- <0. 杂质总含量质量分数)/10- s10 供需双方商定颗粒 5 试验方法警示;本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护措施 5.1 一般规定试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时,均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的三级水试验方法所用标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按GB/T601,GB/T603的规定制备 5.2氟甲棕纯度 5.2.1 杂质总含量杂质总含量按式(1)计算: 中;=十中中十中中十中式中氧十氧)含量(质量分数),10-"; 氮含量(质量分数),10-" 二氧化碳含量(质量分数),10-" 其他有机化合物含量(质量分数),l0-"; 水含量(质量分数),10-" 酸度(质量分数),10-" 杂质总含量(质量分数),l0-" 5.2.2氟甲炕纯度氟甲婉纯度按式(2)计算币=100一内;×10
GB/40418一2021 式中: 氟甲烧纯度(质量分数),l0-子 5.3氧十气、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量的测定 5.3.1测定方法按GB/T28726规定的切割进样的方法测定氟甲婉中的氧十缸、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量允许采用其他等效的方法测定氟甲烧中的氧十氯、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量当测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法 5.3.2预分离柱长约0.6m,内径约2nmm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25nmm的cST(一种改性碳分子筛),或其他等效色谱柱 5.3.3 色谱柱 mm0.25mm 色谱柱I:长约2m,内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18 的5A分子筛,或其他等效色谱柱该柱用于测定氧十氯、氮含量色谱柱I:长约4m、内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm一0.25mm的HayesepQ(一种高分子聚合物),或其他等效色谱柱该柱用于测定二氧化碳含量色谱柱皿:长约60m、内径0.32mm、内涂聚GASPRO(一种键合硅胶)的毛细柱,或其他等效色谱柱该柱用于测定其他有机化合物含量 5.3.4标准样品组分含量(质量分数)为(15)×10-,平衡气为氨 5.4水含量的测定按GB/T5832.1的规定执行允许采用其他等效的方法测定氟甲烧中水分含量当测定结果有异议时,以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法 5.5酸度(以HF计)的测定 5.5.1方法提要使试样气化,鼓泡进人盛有水的多孔式气体洗瓶中,吸收样品中的酸性物质,以澳甲酚绿为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定,计算得到酸度(以HF计) 5.5.2试剂溶液氢氧化钠标准滴定溶液:c(NaOH)=0.01mol/1 5.5.2.1 5.5.2.2溴甲酚绿指示液:5g/L 5.5.3 仪器设备 5.5.3.1取样钢瓶:316L.不锈钢材质,500ml 或1000ml
GB/T40418一202 5.5.3.2控制阀;316L.不锈钢材质的两通阀 5.5.3.3多孔式气体洗瓶;250mL 5.5.3.4微量滴定管;2m或5ml.,分刻度为0.01mL 5.5.3.5电子天平;最大称样量不小于3000g,感量为0.1发 5.5.4测定步骤 5.5.4.1酸度测定装置示意图见图1 5.5.4.2在4个多孔式气体洗瓶(以下简称气体洗瓶)中各加人100mL水 5.5.4.3准确称量装有氟甲烧样品的取样钢瓶和控制阀的初始质量mi 5.5.4.4将氟甲婉样品于15min20min内连续鼓泡通过4个气体洗瓶,放出约100g试样,停止吸收准确称量取样钢瓶和控制阀的终止质量m2 5.5.4.5将第3个和第4个气体洗瓶中的溶液分别移人两个锥形瓶,各加人澳甲酚绿指示液1滴 2滴,第3个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色不得浅于第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色,继续下述步骤,否则重做将第1个和第2个气体洗瓶的溶液合并到另一锥形瓶中,并加人澳甲前绿指示液2滴一4滴 5.5.4.6 用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至蓝色为终点,氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为VmL) 同时将第 3个和第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中的溶液合并,作为空白试验溶液,氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为V.mL) 标引序号说明: -取样钢瓶; 控制阀聚乙烯管; 多孔式气体洗瓶图1酸度测定装置示意图 5.5.5结果计算酸度(以HF计)的质量分数声 ,按式(3)计算 c(V一V M ×100% 中 =7 又1000 m一m 式中 -氢氧化钠标准滴定溶液浓度的准确数值,单位为摩尔每升(mol/L);
GB/T40418一2021 V -试料消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值,单位为毫升(mL); V 空白试验消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值,单位为毫升(mL): 氟化氢的摩尔质量的数值,单位为克每摩尔(g/mol)(M=20.01) M 5.5.6允许差取平行测定结果的算术平均值为测定结果两次平行测定结果的相对偏差应不大于40% 5.5.7其他等效方法允许采用其他等效的方法测定氟甲熔中的酸度当以上测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法检验规则 6.1抽样、判定和复验 6.1.1同一生产线连续稳定生产的钢瓶装氟甲烧产品为一批;或以一贮槽、一槽车装产品为一批 6.1.2钢瓶装氟甲婉产品除酸度外的指标应逐一检验并验收,酸度每批次检一瓶当逐一检验的结果有任何一项指标不符合本文件技术要求时,则判该产品不合格 6.1.3对于钢瓶装氟甲烧,当酸度检验结果符合本文件技术要求时,则判该批产品合格当酸度检验结果不符合本文件技术要求时,则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验,若酸度检验结果符合本文件技术要求时,则判除不合格的那瓶产品外,该批产品合格;若酸度检验结果仍不符合本文件技术要求时则判该批产品不合格 6.1.4对于贮槽,槽车装氟甲炕产品,应逐一检验并验收当检验结果不符合本文件技术要求时,则判该产品不合格 6.2采样氟甲婉的采样安全应符合GB/T3723中的相关规定 6.3尾气处理测定时,应有氟甲婉尾气处理措施,以防止氟甲烧对环境的污染标志、包装、运输及贮存 7.1标志 7.1.1氟甲熔出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号; -生产日期或批号,以及安全使用期或失效日期充装质量(kg) 本文件号及氟甲婉的纯度 7.1.2包装容器上应涂刷“电子级氟甲烧”字样 7.1.3氟甲婉的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB/T7144的规定,标签应符合 GB15258,GB/T16804规定的要求氟甲炕的安全信息见附录A
GB/T40418一2021 7.2包装、运输及贮存 7.2.1包装氟甲烧的气瓶应符合GB/T5099(所有部分),GB/T33145的规定 7.2.2氟甲婉的充装及贮运应符合TsG23、TsGR0005,GB/T14193的规定,充装及贮运的安全管理要求见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》 7.2.3氟甲婉的最大充装量按式(4)计算: =F,×V n 式中气瓶内氟甲婉的质量,单位为千克(kg); n F 氟甲熔的充装系数,F,=0,.27kg/L(气瓶公称压力15MPa)、F,=0,.30kg/L(气瓶公称压力20MPa); 气瓶标明的内容积,单位为升(L) 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本文件的要求瓶阀出气口连接方式宜使用DSs724,CGA350 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染 7.2.6氟甲烧产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,不应暴晒,远离热源
GB/40418一2021 附录 A 资料性安全信息 A.1基本信息 A.1.1名称: 化学式CHF 中文名;氟甲烧英文名;Fluoromethane 相对分子质量;34.03122(按2017年国际相对原子质量计算》. A.1.2 A.1.3代码CAs号.593-53-3,UN号.2454 A.1.4物理性质;沸点一78.33C,熔点一141.8C,相对密度0.843(一78C),相对蒸气密度1.2,饱和蒸气压379kPa(25C),临界温度45C,临界压力5.88MPa,辛醇/水分配系数0.51 A.1.5空气中爆炸极限:5.6%一22.2% A.2危险性说明氟甲熔在常温常压下是一种易燃的高压液化气体与空气混合能形成爆炸性混合物,遇高热和明火能引起燃烧或爆炸受热分解放出有毒的氟化物气体蒸气比空气重,能在较低处扩散到远的地方，遇火源会着火回燃和爆炸(闪爆) 与氟甲烧接触可能造成低温灼伤或损伤吸人高纯度的氟甲烧会有麻醉作用 A.3操作注意事项 A.3.1操作人员应经过专门培训,严格遵守操作规程,熟练掌握操作技能,具备应急处置知识 A.3.2应远离热源、热表面、火花、明火和其他点火源工作场所严禁吸姻不应使用易产生火花的机械设备和工具 A.3.3所有管路系统及相关设备应接地所有电气设备都应是防爆的紧急情况应对措施 A.4 A.4.1发生火灾时,切断气源若不能切断气源,则不应熄灭泄漏处的火焰消防人员应穿全身防火、防毒服,佩戴空气呼吸器在上风向灭火喷水冷却容器,直至灭火结束尽可能将容器从火场移至空旷处 A.4.2灭火剂宜用雾状水,泡沫、干粉 A.4.3如果误吸人氟甲炕,迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅如呼吸困难,给氧如呼吸停止,立即进行人工呼吸,就医 A.4.4如果发生冻伤,将患部浸泡于保持在38C一42C的温水中复温不应涂擦不应使用热水或辐射热使用清洁、干燥的敷料包扎如有不适感,就医 A.5泄漏处理处置 A.5.1消除所有点火源
GB/T40418一202 A.5.2根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区 A.5.3应急处理人员应穿内置正压自给式呼吸器,穿防静电服 A.5.4如果是液化气体泄漏,还应注意防冻伤 A.5.5不应接触或跨越泄漏物 A.5.6尽可能切断泄漏源 A.6存储注意事项 A.6.1储存于阴凉、干燥、通风良好的库房远离火种、热源 A.6.2采用防爆型照明,通风设施设施设备应做好防雷、防静电 A.6.3严加密闭,防止泄漏,工作场所提供充分的局部排风和全面通风 A.6.4存储区应备有泄漏应急处理设备 A.7废弃处置说明 A.7.1处置前应参阅国家和地方有关法规,宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理 A.7.2处置废弃的氟甲婉时,不应直接排放,应符合相关法规和标准
GB/40418一2021 参考文献危险化学品安全管理条例(2002年1月26日国务院令第344号公布,2011 1 年2月16日国务院第144次常务会议第一次修订,2013年12月7日国务院令第645号第二次修订通过 [[2]特种设备安全监察条例2009版,国务院令第549号)

电子特气氟甲烷GB/T40418-2021介绍

电子特气氟甲烷（CH3F）是一种重要的化学气体，在半导体工业、液晶显示器制造等领域有着广泛的应用。为了统一对电子特气氟甲烷的生产和使用，国家制定了GB/T40418-2021标准。

GB/T40418-2021标准的目的和范围

GB/T40418-2021标准旨在规范电子特气氟甲烷的生产、运输、储存和使用，以确保其质量、安全和环保性能。

该标准适用于电子特气氟甲烷的生产、运输、储存和使用过程中，包括单一纯度电子特气氟甲烷和多组分混合物。

GB/T40418-2021标准的主要内容

GB/T40418-2021标准主要包括以下内容：

术语和定义；
规格和包装要求；
物理和化学性质；
生产工艺；
储存和运输要求；
安全和环保要求；
使用方法和注意事项；
检验方法。

GB/T40418-2021标准的重要性

制定GB/T40418-2021标准，对于规范电子特气氟甲烷的生产和使用具有重要的意义。一方面，这可以确保产品质量、保障生产安全；另一方面，也可以促进行业技术的进步和发展。

结论

GB/T40418-2021标准的颁布对于电子特气氟甲烷的生产和使用将起到积极作用。在今后的工作中，我们应该进一步深入了解该标准的内容，并认真执行相关规定。