智能传感器第3部分：术语

国家标准 GB/33905.3一2017 智能传感器第3部分:术语 -Part3:Terminoogy ntelligent Sens0r一 2017-07-12发布 2018-02-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/T33905.3一2017 前 言 GB/T33905《智能传感器》分为5部分 第1部分:总则 第2部分:物联网应用行规; 第3部分:术语; 第4部分;性能评定方法; 第5部分:检查和例行试验导则 本部分是GB/T33905的第3部分 本部分按照GB/T1.l一2009给出的规则起草 本部分由机械工业联合会提出 本部分由全国工业过程测量控制和自动化标准化技术委员会(SAC/TC124)归口 本部分起草单位;沈阳仪表科学研究院有限公司传感器国家工程研究中心、机械工业仪器仪表综 合技术经济研究所、沈阳工业大学、福建上润精密仪器有限公司、山东省计算中心(国家超级计算济南中 心)绵阳市维博电子有限责任公司,河南汉威电子股份有限公司、南京沃天科技有限公司,西安森瑟斯 传感器有限责任公司 本部分起草人:张纯棣、孙克、刘沁、王成城、李新、戈剑、汪付强、阮赐元、张小水、赵建立、崔卫、 国石、柳晓菁、梅恪、吴晓明、庞泳,王伟
GB/T33905.3一2017 智能传感器第3部分:术语 范围 GB/T33905.3的本部分界定了智能传感器通用术语、分类术语、制造技术术语、功能术语、材料术 语和性能特性及相关术语 本部分适用于智能传感器的生产,科学研究、教学以及其他有关技术领域 对于某些使用微机电系统部件构成的智能传感器(如化学分析仪,流量计等)以及预期在特殊环境 如爆炸气体环境)使用的智能传感器,还需参照其他相关国家标准 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T7665-2005传感器通用术语 " 通用术语 3. 传感器 sensor 能感受被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件 组成 [[GB/T7665一2005,定义3.1.1] 注1;敏感元件(sensingelenment)指传感器中能直接感受或响应被测量的部分 注2:转换元件(transducingelement),指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量的电 信号部分 注3;当输出为规定的标准信号时,则称为变送器《 transmitter 3.2 智能传感器inteligentsensor 具有与外部系统双向通信手段,用于发送测量.状态信息,接收和处理外部命令的传感器 注智能传感器是包含信息处理装置的传感器,传感器是智能传感器必不可少的组成部分 智能传感器分类术语 4.1按被测量分类的智能传感器术语 4.1.1 物理量智能传感器physiealquantityintelligentsensor 能感知规定物理量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1 力学量智能传感器meehaniealqantityimtellgemtsensr 能感知力学量,并转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.1.1.1 智能压力传感器inteigentpresuresensor 能感知压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.1.1 智能表压传感器inteligentgaugepressuresensor 能感知相对于大气压的压强,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.1.2 智能差压传感器inteigentdifterential IpreSSuresensor 能感知两个测量点压力差,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.1.3 智能绝压传感器inteligentasolutepressuresensor 能感知绝对压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.1.4 智能真空传感器intelligentvacuumsensor 能感知真空度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.1.5 智能微型压力传感器intelgentminiaturepressuresensor 采用微加工技术及微封装技术制作的外形尺寸为毫米量级以下的智能压力传感器 4.1.1.1.2 智能力传感器inteigentforcesensor 能感知外力,并转换成可用输出信号的智能传感器 41.1.1.2.1 智能重量(称重)传感器inteligentweightingsensor 能感知物体重量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.2.2 智能应力传感器inteligentstresssensor 能感知应力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.2.3 智能力矩传感器intelligentmomentalsensor 能感知力矩,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.2.4 智能扭矩传感器inteligenttorquesensor 能感知扭矩,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.3 智能速度传感器intellgemtveloeitysensr 能感知速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.3.1 智能线速度传感器intelligentlinearveoeitysensor 能感知线速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.3.2 智能角速度传感器 inteligentangularratesenson 能感知角速度,并转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.1.1.3.3 智能转速传感器intelligent revolutionsenS0r 能感知转速,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.4 accelerationsensor 智能加速度传感器intelligent 能感知加速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.4.1 linearacceerationsensor 智能线加速度传感器intelligent 能感知线加速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.4.2 智能角加速度传感器intelligentangwlaraecelerationsenswr 能感知角加速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.4.3 智能振动传感器intel山igemtvibrationsensor 能感知机械运动振动参量(机械振动速度、频率,加速度等,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.4.4 智能冲击传感器intelligentshocksensor 能感知冲击量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.5 智能流量传感器intelligentfow SenS0r 能感知流体流量,并转换成可用输出信号的智能传感器 注:流体可以是液体、气体、粒状固体或它们的混合物,其流量可用体积流量或质量流量计量 4.1.1.1.5.1 智能质量流量传感器intelligentmassnowsensor 将感知流体质量流量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.5.2 智能容积流量传感器intelligentvolumetrielowsensor 将感知流体容积流量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.6 智能位移传感器intelligentdisplacementsensor 能感知位移量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.6.1 linear 智能线位移传感器inteli sens0r disphaeement ligent 能感知线位移,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.6.2 intellig 智能角位移传感器 iigenangularpositionsensor 能感知旋转轴角位移,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.7 智能位置传感器intelligentpositiosensor 能感知物体的位置,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.7.1 智能物位传感器intelligentlevel SensOr 能感知物位(液位、料位),并转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.1.1.7.2 智能姿态传感器intelet attitudesensOr 能感知物体姿态(轴线对重力坐标系的空间位置),并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.8 智能尺度传感器inteligentdimensionsensor 能感知物体的几何尺寸,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.8.1 智能厚度传感器inteligentthicknesssensor 能感知物体厚度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.8.2 智能角度传感器inteligentangle Sens0r 能感知角度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.8.3 智能倾角传感器intelligentinelinationsensor 用于测量载体相对于某个参考平面倾斜角度的智能传感器 4.1.1.1.8.4 智能表面粗糙度传感器intelgentsurfaeroughesssensor 能感知物体表面粗糙度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.9 智能浊度传感器inteligentturbiditysensor 能感知流体浊度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.10 智能密度传感器inteligentdensitysenswr 能感知物质密度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.11 智能粘度传感器inteligentviscositysensor 能感知流体粘度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.1.12 智能硬度传感器intelligenthardnesssensor 能感知材料硬度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.2 热学量智能传感器thermdynamicquantityintelligentsens0r 能感知热学量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.2.1 智能温度传感器intelligenttemperaturesensor 能感知温度变化,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.2.2 智能热流传感器inteligenthentflux sensOr 能感知热流,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.2.3 智能红外热像传感器inteligentinfraredradiationthermalgraphsensor 把物体表面温度场的信息转变成图像的智能传感器 由图像的颜色确定表面各点的温度
GB/T33905.3一2017 4.1.1.3 nmtellwet 光学量智能传感器optiealquantity senS0r 能感知光学量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.3.1 智能可见光传感器intelligentvisiblelight SenSOr 能感知可见光,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.3.2 智能红外光传感器intelligentinfraredlight Sens0r 能感知红外光,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.3.3 智能紫外光传感器intelligentultravioletlight sens0r 能感知紫外光,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.3.4 智能色度传感器intel山igemtchromatiecity SensOr 能感知或分辨物体的色度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.3.5 智能图像传感器intelligentimagesensor 能感知光学图像信息,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.4 磁学量智能传感器 magnetiequantityintelligentsensor 能感知磁学量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.4.1 智能磁场强度传感器intellemtmgnetiefledstrengthsensr 能感知磁场强度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.4.2 智能磁通量传感器intelligemtmagnetieluxsensor 能感知磁通量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.5 电学量智能传感器eltectricqwanmtityintellgentsnsor 能感知电学量,并转换成可用输出信号的智能传感器 注，电学量传感器简称电量传感器 4.1.1.5.1 intellig 智能电场强度传感器 lgenteleetriefield strengthsensor 能感知电场强度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.5.2 智能电流传感器intelligent electriccurrentSens0r 能感知电流,并转换成可用输出信号的传感器 4.1.1.5.3 智能电压传感器intelligentvoltagesensor 能感知电压,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.6 声学量智能传感器 ac0 ousticquantityintelligemt sensOr 能感知声学量,并转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.1.6.1 智能声压传感器inteigent soundpressuresensor 能感知声压,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.6.2 智能噪声传感器inteligentnoisesensor 能感知噪声,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.6.3 智能超声波传感器inteer ntultr"aSOnicSens0r 能感知超声波,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.7 智能核辐射传感器inteligentnuclear-radiatiosensr 利用核辐射检测技术,将感知的被测量转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.7.1 智能射线传感器inteligentradiatiosensor 能感知放射线,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.1.7.2 智能辐射剂量传感器intelligemtradiatiodosuge SenS0r 能探测出射线的强弱和变化,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2 化学量智能传感器chemicealintelligentsensor 能感知规定化学量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.1 智能气体传感器imtelligenlgs.senswr 能感知气体(组分.浓度),并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.1.1 半导体智能气体传感器 semiconductorintelligentgassensor 利用半导体材料的电导率变化,将感知的气体转换成可输出信号的智能传感器 注:半导体气体传感器包括表面电导式和体电导式两种 4.1.2.1.2 场效应管式智能气体传感器fiedelreettransistor(FET)inteligentgassensor 利用场效应管栅极敏感膜的气敏特性,将感知的气体转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.1.3 nelle eectrochemicalint 电化学式智能气体传感器 igentgassensor 利用电化学原理,将感知的气体转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.1.4 接触燃烧式智能气体传感器cotaetbminteligens sensOr 利用可燃性气体接触涂覆催化剂材料表面燃烧所产生的燃烧热,将感知的气体转换成可用输出信 号的智能传感器 4.1.2.1.5 热导式智能气体传感器 conduetivityintel山igentgassensor nermal 利用不同气体热传导率不同的原理,将感知的气体转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.2.1.6 红外吸收式智能气体传感器 infrarelabsorptionintelligentgassensor 利用被检测气体对不同波长的红外辐射的吸收程度不同的特性,将感知的波长变化和强度转换成 可用输出信号的智能传感器 4.1.2.1.7 固体电解质型智能气体传感器solidstateeleetrolyteinteligemtgassensor 使用固体电解质、快离子导体或高聚物电解质作为气敏材料的智能传感器 4.1.2.2 智能湿度传感器intelligenthumidity SensOr 能感知气氛中水蒸气含量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.2.1 智能露点传感器inmteligentdewpimt SenS0r 能感知露点,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.2.2 智能水分传感器intelgentmotsturesesr 能感知水分,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.3 智能离子传感器intelligentionsensor 能感知离子,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.3.1 智能离子活度传感器intelligentionaetivitysensor 能检测到电解质溶液中参与电化学反应的离子的有效浓度的智能传感器 4.1.2.3.2 智能成分传感器inteligentcomponentsensor 将感知电解质溶液中的离子种类,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.2.3.3 智能PH传感器inteligentPHsensor 能感知氢离子活度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3 生物量智能传感器bologieanlquantityintelgensensor 能感知规定生物量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.1 生化量智能传感器bioechemicalquantitinteligentsensor 能感知生化量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.1.1 biosensor 智能酶传感器inteigenenyme 以酶为分子识别器件的智能生物传感器 4.1.3.1.2 智能免疫传感器intelligentimmnesesor 能感知抗原量或抗体量并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.1.3 lugitealhio 智能微生物传感器intelligentmierobiol senSOr 利用微生物作为识别器件,将感知的生化量转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.1.3.1.4 智能生物亲和性传感器inteligentbioafinity sensOr 利用蛋白质或DNA识别并结合目的物,将感知的生化量转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2 生理量智能传感器plgsiouetdoeimellents Sens0r 能感知生理量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.1 智能食道压力传感器intelligentesophagealpressuresensor 能感知食道压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.2 智能膀胱内压传感器inteligemturinarybladderinmerpresuresensr 能感知膀胱内压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.3 智能胃肠内压传感器 intelligentgastrointestinalinnerpressuresensor 能感知胃肠内压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.4 智能颅内压传感器inteligentintracranialpressuresensor 能感知颅内压力,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.5 智能脉搏传感器inteligentpulsesensor 能感知外周血管搏动,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.6 智能心音传感器inteligentheartsoundsensor 能感知心,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.7 智能体温传感器inteligentbodytemperaturesensor 能感知体温,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.8 智能皮温传感器inteligentskintemperaturesensor 能感知皮肤温度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.9 智能血流传感器inteligentboodrlowsensor 能感知血流量及血流速度,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.1.3.2.10 智能呼吸传感器inteligentrespirationsensor 能感知呼吸气的分压,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.2按工作原理分类的智能传感器术语 4.2.1 电容式智能传感器capaeitiveintelligent sens0r 将被测量变化转换成电容量变化的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.2.2 电位器式智能传感器potentiometerintelligentsensor 利用电阻体上可动触点位置的变化,将被测量变化转换成电压比变化的智能传感器 4.2.3 电阻式智能传感器resistiveintelligent SensOr 将被测量变化转换成电阻变化的智能传感器 4.2.4 电磁式智能传感器 eleetromagneticintelligentsensor 利用磁通量变化,将被测量转换成导体中感生电信号变化的智能传感器 4.2.5 电感式智能传感器induetiveintelligentsensor 将被测量变化转换成电感量变化的智能传感器 4.2.6 电离式智能传感器ionizingintel山igent SenSOr 将被测量变化转换成电离电流(例如通过两电极之间气体的电离电流)变化的智能传感器 4.2.7 电化学式智能传感器eectroehemiealintelligentsensor 用被测量的电化学反应,将其变化转换成电位变化、电流变化或者电导率变化的智能传感器 4.2.8 光导式智能传感器photoconduetiveintelligentsensor 将人射到半导体材料上的光量变化转换成材料本身电阻或电导率变化的智能传感器 4.2.9 光伏式智能传感器photovoltaicinteligentsensor 将人射到半导体材料上的光量变化转换成光生电动势变化的智能传感器 4.2.10 热电式智能传感器thermoeleetrieintelligentsensor 将被测量变化转换成热生电动势变化的智能传感器 4.2.11 磁电式智能传感器magneteleetrieityintelligentsensor 利用磁电感应原理,将被测量变化转换成可用输出电信号的智能传感器 4.2.12 伺服式智能传感器servointelgensensor 利用伺服原理,将被测量变化转换成可用输出电信号的智能传感器 4.2.13 谐振式智能传感器resonatorintelligent senso 利用谐振原理,将被测量变化转换成谐振频率变化、谐振振幅变化或相位(差)变化的智能传感器 4.2.14 应变[计]式智能传感器straingaugeinteligentsensor 将被测量变化转换成由于产生应变导致电阻变化的智能传感器 4.2.15 压电式智能传感器piezeleetrieinteligemtsensor 利用压电效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器
GB/T33905.3一2017 4.2.16 压阻式智能传感器pieresistieintelligentsensor 利用压阻效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.17 磁阻式智能传感器reluetaneeintellig igentsensor 利用磁阻效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.18 差动变压器式智能传感器dfferentialtransformerintellit gentsensor 利用差动变压器作为转换元件,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.19 隧道效应式智能传感器tunelingintelligeont senS0r 利用隧道效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.20 霍尔式智能传感器IHallintelligentsensor 利用霍尔效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.21 声表面波智能传感器surfaeeacostiewaveinteligentsensor 利用声表面波技术,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.22 光纤智能传感器optiealfiberintelligentsensor 利用光纤技术和有关光学原理,将被测量转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.23 核辐射智能传感器nueearradiatiointelligentsensor 利用核辐射检测技术,将感知的被测量转换成可用输出信号的智能传感器 4.2.24 生物智能传感器biointeligentsensor 利用生物活性物质的分子识别功能,将感知的被测物质的特征量转换成可用输出信号的智能传 感器 4.2.25 磁致伸缩式智能传感器magnetostrietiveintelligentsenswr 利用磁致伸缩效应,将被测量变化转换成可用输出信号的智能传感器 4.3按输出信号分类的智能传感器术语 4.3.1 数字式智能传感器digitalintelligentsensor 输出信号为数字量或数字编码的智能传感器 4.3.2 intelli 模拟式智能传感器analog ligentsensor 输出信号为模拟量的智能传感器 4.3.3 么心 混合式智能传感器hyhmridimt ligentsensor 输出信号为模拟量或数字量,两者可任选其一的智能传感器 10
GB/T33905.3一2017 4.3.4 膺数字智能传感器Yingdigitalintelligentsensor 将被测量的信号量(直接和间接)转换成频率信号或短周期信号输出的智能传感器 4.3.5 开关智能传感器switehinteigentsensor 当被测量的信号达到某个特定的阔值时,输出设定的低电平信号或高电平信号的智能传感器 按工作机理分类的智能传感器术语 4.4.1 结构型智能传感器mechaniealstructuretypeintelligentsensor 利用机械构件(如金属膜片等)的变形检测被测量的智能传感器 4.4.2 物性型智能传感器physitealppertytypeimtelgentsenswr 利用材料的物理特性及其各种物理、化学效应检测被测量的智能传感器 4.5按通讯技术分类的智能传感器术语 4.5.1 有线网络智能传感器cablenetworkintelligemt SenS0r 适用于采用同轴电缆、双绞线和光纤等连接的网络作为载体来传输数据的智能传感器 4.5.1.1 现场)总线式智能传感器field)busintelligent SenS0r 满足总线通信协议要求,利用总线通信技术,实现数据传输和共享的智能传感器 注;现场)总线包括FF协议,CAN协议、Lonworks协议、DeviceNet协议、,PROFIBUS协议、HART协议,CCLink 协议.worldFIP协议.INTERBUS协议.SwifNet协议、PNet协议等通讯技术 4.5.1.2 基于TCP/IP协议的智能传感器basedonTCP/IPprotocolinteligentsensor lPrc 内部嵌人TCP/AIP(TransmissionControl ol/InternetProocol,传输控制协议/互连网协议) rotocol 协议和以太网协议,在传感器现场级具备以太网功能的智能传感器 4.5.2 无线网络智能传感器wirelessintelligentsensor 在定义的网络内采用空气作传输介质,依靠电磁波和红外线等作为载体来传输数据的智能传感器 注，无线网络传输技术包括;红外传输技术,蓝牙传输技术,超宽带(UwB)通讯技术,无线局域网wF通讯技术、 WiMax、IEEE802.15.4协议ZigBee通讯技术 4.6按结构组成分类的智能传感器术语 4.6.1 非集成式智能传感器nonintegratedintelligentsensor 传感器技术>将通用传感器、信号调理电路、带总线接口的微处理器组合而成的智能传感器 注:在通用传感器的信号处理电路后连接具有数据总线接口的微处理器,以此实现传感器智能化,使之具备信号调 理电路,微处理器及应用软件、显示电路,D/A转换输出接口等配套模块 4.6.2 集成式智能传感器integratedintelig igentsensor 传感器技术>采用微机械加工技术和大规模集成电路工艺技术,将传感器敏感元件、信号调理电 11
GB/T33905.3一2017 路、接口电路和微处理器等集成在一块芯片上构成的智能传感器 4.6.3 混合集成式智能传感器hybridintegratedintelligent sens0r <传感器技术>将各个系统单元如敏感单元、信号调理电路、微处理器单元、数字总线接口等以不 同方式集成在数块芯片上,并封装在一个外壳中,所构成的智能传感器 4.6.4 微传感器mierosensor <传感器技术>采用MEMs工艺技术制造的传感器 注1微传感器包括机械量传感器(用于测量压力,加速度、触觉,位移等,化学量传感器C用于测量离子,氧气、氢气 等)电学量传感器(用于测量磁力,电流等)、生物传感器和光学传感器等 注2:敏感元件尺寸从毫米级到微米级,甚至达到纳米级 4.7其他分类智能传感器术语 4.7.1 entcomp0sitesensor 智能复合传感器inmtelig 具有两种以上不同信息量或信息种类的感知、处理功能的智能传感器 通常由两种以上不同类型 的敏感元件或传感器组合而成 4.7.2 ratingintelligentsensor 集成智能传感器intgt 将敏感元件连同信号处理电路集成在一起的智能传感器 4.7.3 多功能智能传感器mutifunetionintelligent SenS0r 能感知和测量多种被测量,并转换成可用输出信号的智能传感器 4.7.4 微结构智能传感器mierostretureintelligentsensor 用微加工技术制造的,包含微传感器、微处理器和微执行器等特定功能的智能传感器 4.7.5 硅微智能传感器siieonmierointellige entsens0r 以硅为基本材料制造的智能微传感器 4.7.6 vacuumfieldemissionintellig 真空场发射智能传感器 igentsensor 利用在真空腔中的两电极间施加电压时,尖锥阵列阴极表面形成加速电场,导致阴极发射电流原理 制成的智能传感器 4.7.7 Nan0sesor 智能纳米传感器intelig 71r igen 特征尺寸为纳米量级,基于纳米材料或结构新效应(量子效应、界面效应和纳米尺度效应)的智能传 感器 4.7.8 智能触觉传感器inteligenttaetilesenswr 通过直接接触,感知物体力、形状滑动和温度的智能传感器 4.7.9 carbonnanotubeCNT)as sedimtellieemt 碳纳米管智能传感器 senS0r 以碳纳米管为基本材料的智能传感器 12
GB/T33905.3一2017 4.7.10 自主供电型(有源)智能传感器independentpowersupplyaetive)intelligentsensor 直接将被测量转换为电信号,在工作中无需外部电源输人,依靠内部电池、能量采集等供电方式工 作的智能传感器 4.7.11 外部供电型无源)智能传感器externalpowersupplypassive)inteligentsensor 将被测量转换为电参量,需要外部电源才能输出电信号,在工作中需要外部电源输人,依靠感应供 电等供电方式工作的智能传感器 智能传感器制造技术术语 S 5.1 平面工艺planartechnique 半导体技术>通过半导体晶体表面保护层的小孔进行扩散,在该品体中形成P型或N型区域或 者同时形成这两种区域 [[GB/T2900.66-2004,定义521-03-08 1 5.2 表面钝化surfacepassivation <半导体技术>P型区,N型区或两者都形成后,在半导体表面涂敷或生长一层保护膜 LGB/T2900.662004,定义521-03-13] 5.3 微机电系统micr0-electrmechanicalsystems;MEMS 微系统mierosystem 微机械microachine <传感器技术>关键部件)特征尺寸在亚微米至亚毫米之间,能够独立完成机电光等功能的系统 [GB/T261112010,定义3.1.1] 注1:微机电系统一般包括微型机构,微传感器、微执行器、信号处理和控制,通讯接口电路以及能源等部分 注2微机电系统通 常需要多学科领域技术的综合应用,例如机,光,电,生物等多种领域科学 注3:MEMS主要在美国使用,微系统主要在欧洲使用,微机械主要在日本使用 5.4 微光机电系统micr0-optiealelectroniemeehaniealsystems;MoEMs 传感器技术>与光学技术相结合的MEMS技术 5.5 汽相淀积工艺vapour-phasedep0sitiontechnique 半导体技术一采用物理淀积或化学反应的方法使汽相源材料淀积在固体衬底上形成导电的、绝 缘的或半导体膜 [GB/T2900.662004,定义521-03-15] 5.6 反应离子刻蚀reactiveietehimg 利用等离子体的物理轰击或者化学反应作用对基底表面进行加工,达到刻蚀的 半导体技术> 工艺 注:反应离子刻蚀主要有感应合等离子体刻蚀induectivelycoupledplasma,ICP)和磁场强化反应离子刻蚀 MERIE)等 13
GB/T33905.3一2017 基于掺杂的腐烛停止技术doping-basedetch-stop 一半导体技术>IC工艺和MEMs工艺中经常使用的湿法化学腐蚀方法,控制掺杂浓度,在掺杂浓 度小于阂值时,KOH或EPw各向异性腐蚀速率为常数,大于阂值时,腐蚀速率急剧降低,重掺杂导致 腐蚀停止,依此获得所需的结构形式 5.8 anodic 硅-玻璃阳极键合 slceoslassbonding 传感器技术>硅基传感器敏感元件封装技术,在一定温度和电场作用下,硅-玻璃界面形成共价 键而紧密结合 阳极键合还包括硅-玻璃膜-硅,金属-玻璃材料的键合 5.9 硅-硅键(熔)合silieo-silicfusionbonding 传感器技术>硅基传感器敏感元件封装技术,在高温作用下,将经化学抛光、清洗和活化处理后 硅片在室温下粘贴在一起,在硅-硅界面发生物理化学反应,形成强度很大的化学共价键,使两硅片键合 形成一个整体 5.10 嵌入式(软件)系统技术embedded(software)systemmtecnology 集成电路技术>用于执行独立功能的专用计算机系统 它由包括微处理器、定时器、微控制器、 存储器、传感器等一系列微电子芯片与器件,和嵌人在存储器中的微型操作系统、控制应用教件组成,共 同实现实时控制、监视、管理、移动计算、数据处理等功能 5.11 微纳制造技术miero-nanomanufaeturingtechnique 二纳米技术 -般指微米、纳米级(o.1nm~100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研 究、,加工,制造以及应用技术 5.12 PCVD工艺技术plasmaenhancedlehemieanlvapordeposition 一半导体技术>利用辉光放电的物理作用激活化学气相沉积(CVD)反应,在基片表面形成固体薄 膜的工艺技术 5.13 LGA技术lithographyteehology 半导体技术>LIGA是德文Lithographie,Galanoformung和Abformung三个词即光刻,电铸 和注塑的缩"写,是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术,主要包括X光深度同步辐射光刻,电 铸制模和注模复制三个工艺步骤 5.14 集成电路Integratedeireuit 半导体技术>将全部或部分电路元件不可分割地联在一起,并形成电互连,以致就结构和产品而 言,被视为不可分割的微电路 [[GB/T2900.66一2004,定义521-10-03] 5.15 封装技术packageteehnology 半导体技术>将芯片的焊区与封装的外引脚互连起来,并用绝缘的材料外壳打包起来的技术 常用的封装形式有双列直插是封装(DIP),针棚陈列封装(PGA)、下外形封装(sOP),方型扁平式封装 QFP)和球栅陈列封装(BGA) 14
GB/T33905.3一2017 5.16 引线键合 wirebonding;wB 半导体技术>一种使用细金属线,利用热、压力、,超声波能量为使金属引线与基板焊盘紧密焊合 实现核心元件与基板间的电连接,从而使两种金属间实现原子量级上的键合 在工业上通常有三种引 线键合定位平台技术被采用;热压引线键合,超声引线键合,热声引线键合 5.17 载带自动焊tapeautomatelbonding;TAB <电子电路>一种基于将芯片组装在金属化柔性高分子载带上的集成电路封装技术 5.18 welding bondingiversion 常温键合倒装焊接 r00mtemperature 传感器技术>芯片封装的一种形式,将芯片有源区面倒扣在基板上,用焊料和基板互连在一起 形成稳定可靠的机械、电气连接,是MEMS工艺产品向小型化发展的重要技术 5.19 tthmoogy ;SMT 表面贴装技术surfacemountimg -电子电路>电子电路表面组袋技术;将无引脚或短引线表面组装元器件(间称sMc/sMD.中文 称片状元器件)安装在印制电路板(PrintedCircuitBoard,PCB)的表面或其他基板的表面上,通过再流 媒或浸媒等方法加以炽接组装的电路装连技术 5.20 多芯片组件multi-ehijpmodule;MCM <半导体技术>微组装技术的代表产品,它将多个集成电路芯片和其他片式元器件组装在一块高 密度多层互连基板上,并封装在同一壳体内,是电路组件功能实现系统级的基础 5.21 三维(3D)封装3dpackaging 半导体加工技术>在多芯片组件(MCM!)的基础上,元件组装向Z向发展,形成立体组装(3D)微 电子组装技术 5.22 芯片尺寸封装chipscnlepackage;cSP 半导体加工技术>大规模集成电路(LsI)芯片封装面积大于或等于集成电路芯片面积120%的 封装称为芯片尺寸封装 5.23 系统级封装systeminpackage;SIP 半导体加工技术>一种新型的封装技术,在IcC领域,SIP是最高级别的封装,通常定义为;采用 任何组合,将多个具有不同功能的有源电子器件与可选择的无源元件,以及诸如微机电系统(MEMS 或者光学器件等其他器件组装成为可以提高多种功能的单个标准组装件,形成一个系统或者子系统 5.24 单列直插塑封singlein-lineplastiepaekage <电子技术>塑封技术就是用塑料代替金属、玻璃、陶瓷等材料包封电子元件的技术,单列直插是 其中的一种塑封方式 5.25 硅晶圆减薄工艺siliconwaferthinmingprees 通常在集成电路封装前,将晶圆背面多余的基体材料减薄或研磨去除一定的厚度,适合后期封装工 艺,改善芯片散热效果 15
GB/T33905.3一2017 5.26 划片或切割工艺seribingorcuttingpress 一半导体加工技术>将每一个具有独立电气性能的芯片分离出来的过程 5.27 表面钝化工艺surfaeepassivation technology <半导体技术>在半导体器件表面覆盖保护介质膜,以防止表面污染的工艺,其中以磷硅玻璃 PsG),低温淀积二氧化硅、化学汽相淀积氮化硅(SiN),三氧化二铝(Al.O.)和聚酰亚胶等最为适用 5.28 表面牺牲层技术saerfetalayerstehmaugy 半导体技术>在形成微机械结构的空腔或可活动的微结构过程中,先在下层薄膜上用结构材料 淀积所需的各种特殊结构件,再用化学刻蚀剂将此层薄膜腐蚀掉,而不损伤微结构件,得到上层薄膜结 构(空腔或微结构件) 由于被去掉的下层薄膜只起分离层作用,故称其为牺牲层(saerifieiallayer,厚度 2丛m) 约1 旦m 5.29 专用集成电路applicationspeeificintegratedeireuit;ASIC;AsIC(abbreviatiom 为特定用途设计的集成电子路 集成电路技术> [GB/T2900.66-2004,定义521-11-187 5.30 智能材料intelligentmaterials 材料科学>具有感知环境(包括内环境和外环境)刺激,对之进行分析、处理、判断,并采取一定的 措施进行适度响应的智能特征的材料 智能传感器功能术语 6.1 数据处理dataproeessing 智能传感器对数字化的数据,进行分析、计算,实现自动调校、自动平衡、自动补偿、自选量程等 功能 6.2 自诊断selfr-diagnostie 智能传感器在工作过程中可进行自检,判断传感器各部分是否正常运行,并进行健康识别和故障定 位的功能 6.3 自动补偿automatiecompensation 智能传感器自动通过软件或预设定抵消已知误差(源)的措施 6.4 双向通信digitalcommunications 智能传感器应具有双向通信能力,利用双向通信接口,向外部设备发送测量、状态信息,并能接收和 处理外部设备发出指令的功能 6.5 智能组态intelligentconfigurationm 智能传感器设有多种模块化的硬件和软件,根据不同的应用需求,可改变其模块的组合状态,实现 多传感单元、多参量的复合测量 可使同一类型的传感器工作在最佳状态,并且能在不同场合下工作的 16
GB/T33905.3一2017 功能 注;通常的组态形式;信号放大倍数、检测范围、输出单位、可编程通/断延时,常开/常闭等选择 6.6 信息存储和记忆informationstorageandmemory 智能传感器可存储传感器的特征数据和组态信息,如装置历史信息、校正数据、测量参数、状态参数 等,在断电重连后能够自动恢复到原来的工作状态,也能根据应用需要随时调整其工作状态 6.7 自推演功能selfdeduetionfunectiom 智能传感器可根据数据处理得到的结果或其他途径得到的信息进行逻辑判断和决策,获得的结果 可进行输出 注智能传感器通过分析、统计和修正检测数据,判断是否进行非线性、,温度、噪声等误差补偿 6.8 自适应self-adaptive 智能传感器在工作过程中能够通过自身调节主动适应外部环境变化,从而保证其基本功能的能力 6.9 自学习能力selr-learningabilty 智能传感器可根据外部环境,主动调整模型、算法、参数和行为,可根据过往经验,从中学习、建立、 优化自身功能 6.10 掉电保护power-ofrproteetionm 在传感器掉电时,保持数据不丢失,方便数据恢复的功能 6.11 ntsensornetworkinterface 智能传感器通信接口intelligen 智能传感器之间或智能传感器与外部网络系统之间进行双向通讯所满足的物理接口和网络协议技 术要求 6.12 自动描述automaticdescription 智能传感器在物联网中应能自动向外部设备发出信息,标识自身的位置,功能、状态等信息 6.13 自动识别automatieidenifieation 智能传感器在物联网中应能自动识别自身在网络中的位置、外部设备发出的指令和信号以及网络 中的其他信息 6.14 anization 自动组织 automaticorgan 网络的布设和展开无需依赖任何预设的网络设施,智能传感器启动后通过协调各自的行为,即可快 速、自动地组成一个独立的网络,实现即联即用 6.15 互操作性interoperability 智能传感器可与物联网内其他设备进行相互操控 示例 某一传感器侦测到异常数据,它可以要求周围传感器的测量数据,以辅助判断是自身量错误,还是被测量本身出 现异常 同时,它也能根据情况要求周围传感器进行加大采样频率等调节 17
GB/T33905.3一2017 智能传感器材料术语 7.1 功能材料functionmaterial 一材料科学>在力、电、磁、声、光和热等方面具有特殊性质,或在此作用下表现出特殊功能的材料 7.2 压电材料piez0eleetriematerial <材料科学>在外力作用下发生极化而在两端表面间出现电位差,或在外电场作用发生形变的 材料 7.3 压阻材料piezoresistivematerial <材料科学>在应力作用下电阻率发生明显变化的材料 7.4 形状记忆合金shapememoryalloy 之材料科学>发生塑性变形后,在某一温度下能够恢复原来形状的合金材料 注:材料在某一温度下受外力变形,去除外力后能保持其变形后形状,但当温度上升到某一温度,材料会自动恢复 到变形前原有的形状 [IEC62047-1;2005,定义2.3.1] 7.5 mmaterial 形状记忆复合材料shapememorycomposite <材料科学>在温度变化的刺激下,聚合物的分子链具有热响应,并能存储产生的形变,以及再受 刺激时会恢复到最初形状的材料 7.6 压电陶瓷piezoeleetricceramie 一材料科学>能够将机械能和电能互相转换的信息功能陶瓷材料，一种具有压电效应的材料 7.7 光致变色材料phoehn romicmaterial 一材料科学>受到光源激发后能够发生颜色变化的一类材料 光致变色材料分为无机光致变色化 合物和有机光致变色化合物 7.8 单晶硅monoerystalinesiliconm 一半导体技术>硅的一种形态,硅原子呈周期性规则排列的硅晶体,是MEMS技术中的主要材料 7.g silicon 多晶硅psycrystaine 半导体技术>硅的一种形态,晶体内各个局部区域里原子呈周期性排列,但不同局部区域之间原 子排列无序,在微机电系统中多用于结构层和电极导电层 7.10 非晶硅amorphoussiliconm 半导体技术>硅的一种形态,晶体内分子不呈空间有规则周期性排列 7.11 ntrde 氮化硅silieonm <半导体技术>硅的一种氮化物，一般是指通过气相沉积而成的薄膜材料 在MEMS中多作为绝 18
GB/T33905.3一2017 缘层,掩膜或支撑结构层使用 7.12 碳化硅silieoncarbide 半导体技术>硅的一种碳化物,一般是指通过气相沉积而成的薄膜材料 在MEMS加工中,常 在结构表面沉积一层碳化硅,防止器件被高温破坏或氧化. 7.13 神化嫁sallum 1arsenide 半导体技术>一种重要的半导体材料,化学式GaAs 黑灰色固体,熔点1238C 它在600C 以下,能在空气中稳定存在,并且不被非氧化性的酸侵蚀 7.14 功能高分子材料fnetionalpolymermaterial <高分子材料科学>具有传递、转换或贮存物质、能量和信息作用的高分子及其复合材料,或具体 地指在原有力学性能的基础上,还具有化学反应活性、光敏性、导电性、催化性、生物相容性、药理性、选 择分离性.能量转换性、磁性等功能的高分子及其复合材料 7.15 变色纤维材料echamelemfibremateria1 高分子材料学>一种具有特殊组成或结构的在受到光、热、水分或辐射等外界条件刺激后可以 自动改变颜色的纤维,是颜色随条件(光、热、湿,pH值,电等)变化而改变的纤维材料的总称，主要分为 光(敏)致变色材料、热(敏)致变色材料、电致变色材料、温(敏)变色材料、压敏变色纤维、溶剂致变色材 料等 7.16 石墨烯grapheme -种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜,由碳原子构成的单层片状结构 的新材料 7.,17 磁致伸缩材料magnetostrietionmaterial 具有磁致伸缩磁化强度变化引起的磁力材料变化)特性的材料 传感器性能特性及相关术语 8 见GB/T7665一2005的3.5传感器性能特性及相关术语 19
GB/T33905.3一2017 参考文 献 [1]GB/T13965一2010仪表元器件术语 [[2]GB/T14264一2009 半导体材料术语 [3]GB/T19101一2003建立术语语料库一般原则和方法 [门 GB/T25475一2010工业自动化术语温度仪表 [5]何金田,刘晓曼.智能传感器原理、,设计与应用[M门.北京;电子工业出版社，2012;412. [们吴功宜,智慧的物联网[M门].北京;机械工业出版社,2010. [7]李群.传感器在物联网中应用及发展趋势[].网络与信息,2012,26(5)43-43 [8]刘君华.智能传感器系统[M].西安;西安电子科技大学出版社，2010. [9]刘迎春,叶湘滨现代新型传感器的原理与应用[M]北京,国防工业出版社，199s [10阳极键合技术及其在微传感器中的应用].传感器技术.202.1l.4们 [1]何金奇.三维(3D)封装技术U].微电子技术 2001.294). [12][美CredHudleton.智能传感器[M1.北京 :人民邮电出版社，2009:171-175. [L13]cEKIsHU,宋宗炎.现代传感器技术[].1996,l5(5. [14]娄利飞.微机电机械与设计[M].北京;电子工业出版社，201o. [15]黄树森,李断欣,王跃林,鲍敏杭.MEMs传感器性能提高相关技术研究].传感器技术与传 感器，2003(1). 郭源生,吴循,李吉锋,物联网传感器技术及应用[M]北京:国防工业出版社,2013 [l6 [17]徐开先.无线传感器网络系统[c].仪器仪表元器件研讨会，2011. [18]王元庆.新型传感器原理及应用[M1.北京;机械工业出版社,2003 [19]孙承松.薄膜技术与应用[M]沈阳,东北大学出版社.1998. [[20]郝一龙,李光宏,张大成,武国英.硅表面牺牲层技术[].电子商务,1999.12. [[21]陈迪,蔡炳初.LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[].机械工程学会年报，2003. [22]王平,昆山.生物医学传感器技术的一些研究进展[C].第十二届全国敏感元件与传感器学术 会议论文集 [[23]纳米技术和生物传感器]传感器世界,2004(12):6-11. [[24]刘新,李淑娥.气体传感器的发展及应用C].西部科技,2008(07)14;13-15. [[25]刘桂雄,申柏华,冯云庆.迅速蝠起的网络化智能[J].传感技术，2002,9(21):4-7 [[26]赵伟,张小牛,孟浩文.网络化一测量技术与仪器发展的新趋势[].电测与仪表,2000,37 7):5-9. [[27]王卫华,丁汉熊,等.基于IEEE1451.2标准的网络传感器TMl451.2-Kc[]自动化仪表， 2000,22(8):8-11. [[28]童利标,徐科军.IEEE1451网络化智能传感器标准的发展及应用探讨[]传感器世界,2002 6 [[29]李正晓,叶湘滨.基于IEEE1451.4智能传感器标准的研究[].仪器仪表与传感器,2005(4). 20
GB/T33905.3一2017 索 汉语拼音索引 B 5.6 半导体智能气体传感器 4.1.2.1.1反应离子刻蚀 变色纤维材料 7.15非晶硅 7.10 表面钝化 5.2封装技术 5.15 表面钝化工 艺 5.27 5.19 表面贴装技术 表面牺牲层技术 5.28功能材料 功能高分子材料 固体电解质型智能气体传感器 4.1.2.1.7 差动变压器式智能传感器 4.2.18光导式智能传感器 4.2.8 常温键合倒装焊接 5.18光伏式智能传感器 4.2.9 场效应管式智能气体传感器 4.1.2.1.2光纤智能传感器 4.2.22 磁电式智能传感器 42.11光学量智能传感器 4.1.1.3 磁学量智能传感器 7.7 4.1.1.4光致变色材料 磁致伸缩材料 7.17硅-玻璃阳极键合 5.8 磁致伸缩式智能传感器 4.2.25硅-硅键(熔)合 5.9 磁阻式智能传感器 4.2.17硅晶圆减薄工艺 5.25 传感器 3.1硅微智能传感器 4.7.5 H 单晶硅 4.2.23 7.8核辐射智能传感器 单列直插塑封 5.24红外吸收式智能气体传感器 4.1.2.1.6 氮化硅 7.11互操作性 6.15 4.2.4化学量智能传感器 电磁式智能传感器 4.1.2 电感式智能传感器 4.2.5划片或切割工艺 5.26 电化学式智能传感器 4.2.7混合式智能传感器 4.3.3 电化学式智能气体传感器 4.6.3 4.1.2.1.3混合式集成智能传感器 电离式智能传感器 4.2.20 4.2.6霍尔式智能传感器 4.2.1 电容式智能传感器 4.2.2 电位器式智能传感器 电学量智能传感器 4.1.1.5基于ICP/I协议的智能传感器 4.5.1.2 电阻式智能传感器 4.2.3基于掺杂的腐蚀停止技术 5.7 掉电保护 6.10集成电路 5.14 多功能智能传感器 4.6.1 4.7.3非集成式智能传感器 4.7.2 多晶硅 7.9集成智能传感器 多芯片组件 5.20集成式智能传感器 4.6.2 2
GB/T33905.3一2017 4.7.9 接触燃烧式智能气体传感器 4.1.2.1.4碳纳米管智能传感器 结构型智能传感器 4.4.1 外部供电型(无源)智能传感器 4.7.11 开关智能传感器 4.3.5微传感器 4.6.4 微光机电系统 5.4 微机电系统 5.3 4.1.1.1 力学量智能传感器 微机械 5.3 微结构智能传感器 ; 微纳制造技术 4.3.2 模拟式智能传感器 微系统 5.3 物理量智能传感器 4.1.1 无线网络智能传感器 4.5.2 平面工艺 物性型智能传感器 4.4.2 汽相淀积工艺 5.5 现场)总线式智能传感器 4.5.1.1 嵌入式软件)系统技术 5.10 系统级封装 5.23 R 4.2.13 谐振式智能传感器 芯片尺寸封装 5.22 4.1.2.1.5 热导式智能气体传感器 信息存储和记忆 6.6 热电式智能传感器 4.2.10 7.5 形状记忆复合材料 热学量智能传感器 4.1.1.2 7.4 形状记忆合金 三维(3D)封装 5.21 压电材料 7.2 呻化 7.13 压电式智能传感器 4.2.15 4.1.3.1 生化量智能传感器 7.6 压电陶瓷 生理量智能传感器 4.1.3.2 压阻材料 7.3 4.1.3 生物量智能传感器 4.2.16 42.24压阻式智能传感器 生物智能传感器 引线键合 5 .16 声表面波智能传感器 4.2.21 应变[计]式智能传感器 4.2.14 声学量智能传感器 4.1.1.6 4.3.4 7.16膺数字智能传感器 石墨烯 4.5.1 6.1有线网络智能传感器 数据处理 数字式智能传感器 4.3.1 双向通信 载带自动焊 5.17 隧道效应式智能传感器 4.7.6 4.2.12真空场发射智能传感器 伺服式智能传感器 智能表面粗糙度传感器 4.1.1.1.8.4 智能表压传感器 4.1.1.1.1.2 碳化硅 7.12智能差压传感器 22
GB/T33905.3一2017 4.1.3.2.2 智能材料 5.30智能膀胱内压传感器 智能超声波传感器 4.1.1.6.3智能PH传感器 4.1.2.3.3 智能成分传感器 4.1.2.3.2智能皮温传感器 4.1.3.2.8 4.1.2.1 4.1.1.4.1 智能磁场强度传感器 智能气体传感器 智能尺度传感器 4.1.1.1.8智能倾角传感器 4.1.1.1.8.3 智能磁通量传感器 智能热流传感器 4.1.1.4.2 4.1.1.2.2 智能冲击传感器 智能容积流量传感器 4.1.1.1.5.2 3.2 4.1.1.3.4 智能传感器 智能色度传感器 智能传感器通信接口 6.11智能射线传感器 4.1.1.7. 智能触觉传感器 智能生物亲和性传感器 4.1.3.1.4 4.7.8 智能电场强度传感器 4.1.1.5.1 4.1.1.6. 智能声压传感器 4.1.1.5.2 4.1.3.2.1 智能电流传感器 智能食道压力传感器 智能电压传感器 4.1.1.5.3智能湿度传感器 4.1.2.2 智能复合传感器 4.7.1 智能速度传感器 4.1.1.1.3 4.1.1.7.2 4.1.2.2.2 智能辐射剂量传感器 智能水分传感器 智能核辐射传感器 4.1.1.7智能体温传感器 4 .1.3.2.7 智能红外光传感器 智能图像传感器 4.1.1.3.5 4.1.1.3.2 智能红外热像传感器 4.1.1.2.3智能胃肠内压传感器 4.1.3.2.3 智能厚度传感器 智能微生物传感器 4.13.1.3 智能呼吸传感器 4.1.3.2.10智能微型压力传感器 4.1.1.1.1.5 智能角度传感器 智能位置传感器 4.1.1.1.8.2 4.1.1.1.7 智能角加速度传感器 4.1.1.1.6 智能位移传感器 智能角速度传感器 智能温度传感器 智能角位移传感器 4.1.1.1.6.2智能物位传感器 4.1.1.1.7.T 智能加速度传感器 智能线加速度传感器 智能绝压传感器 智能线速度传感器 智能可见光传感器 4.1.1.3.1智能线位移传感器 4.1.1.1.6.T 智能心音传感器 智能露点传感器 4.1.2.2.1 4.1.3.2.6 智能颅内压传感器 4.1.3.2.4 智能血流传感器 4.1.3.2.9 智能力传感器 智能压力传感器 智能力矩传感器 4.1.1.1.2.3智能硬度传感器 4.1.1.1.12 智能流量传感器 4.1.1.1.5智能应力传感器 4.1.1.1.2.2 智能离子传感器 4.1.2.3智能噪声传感器 智能离子活度传感器 4.1.2.3.1智能振动传感器 智能脉搏传感器 4.1.3.2.5智能真空传感器 智能酶传感器 4.1.3.1.1智能质量流量传感器 4.1.1.1.10 智能密度传感器 智能紫外光传感器 智能免疫传感器 4.1.3.1.2智能姿态传感器 4.1.1.1.7.2 智能纳米传感器 4.7.7智能重量(称重)传感器 4.1.1.1.2. 智能粘度传感器 4.1.1.1.11智能浊度传感器 4.1.1.1.3.3 智能扭矩传感器 4.1.1.1.2.4智能转速传感器 23
GB/T33905.3一2017 6.9 智能组态 6.5自学习能力 自动补偿 6.3自诊断 6.2 自动描述 6.12自主供电型(有源)智能传感器 4.7.10 自动识别 6.13专用集成电路 5.29 6.14 自动组织 5.13 自适应 6.8L.IGA技术 自推演功能 PECD工艺技术 5.12 6 英语对应词索引 4.1.1.6 acousticqantityintelligentsensor amorphossilicon 7.10 4.3.2 analogintelligentsensor 5.8 anodicsilico-glassbonding 5.29 applieationspeeificintegratedeireuit 5.29 6.3 Dmaticcompensation 6.12 description 6.13 identificati0I 6.14 autoatic organization basedonTCP/IPprotoeolintelligentsensor 4.5.1.2 biochemical 4.1.3.1 quantityintelligentsensor 4.2.24 biointelligentsensor bioogicalquantityintelligentsensor 4.1.3 4.5.1 cablenetworkintelligentsensor arbonan0tube(CNT'basedintelligentsemson 4.7.9 42.1 eapaeitiveintelligentsensor 7.15 ehameleonfibrmaterial 4.1.2 hemicalintelligentsensor 5.22 chipScalepackage cOntactburnintelligentgas 4.1.2.1.4 5.22 csp dataproceSssing 24
GB/T33905.3?2017 4.2.18 differentialtransformerintelligentsenson digitalcommunieations 6.4 digitalintelligentsenson 4.3. dopingbasedetch-stop 5.7 E eleetriequan 4.1.1.5 untityinelgemt electrochemicalintelligentgassensor 4.1.2.1.3 eleetrochemicalintell 4.2.7 ligenseson 4.2.4 electromagneticintelligentsensor 5.10 embeddedsoftware)systemtechnology extermalpowersupplypassiveintelligentsensor 4.7.11 fieldeffeettransistorFETintelligentgassensor 4.1.2.1.2 field)bus 4.5.1.1 mtelget enSOr functionmaterial 7.14 functionalpolymermaterial 7.13 galliumarsenide 7.16 grapheme Hallintelligentsensor 4.2.20 4.6.3 hybridintegratelintellig gentSensOr yhridinteligemt 4.3.3 sens0r 4.7.10 independentpowersupplyaetive)intelligentsensor 4.2.5 inductiveintelligentsensor 6.6 1ti0nst0rageandmmem0r 4.1.2.1.6 intelligentgaSsenS0r 5.14 4.6.2 sens0r 4.7.2 intelligentsensor 4.1.1.1.1.3 asolutepressuresensor igentaccelerationsensor 4.1.1.1.4 intelligentanglesensor 4.1.1.1.8.2 intelligentangularaceelerationsensor 4.1.1.1.4.2 Iligentangularp0sitionsenso 4.1.1.1.6.2 inteli 4.1.1.1.3.2 iintelligentangularratesesor 25
GB/T33905.3一2017 4.1.1.1.7.2 intelligentattitudesesor 4.1.3.1.4 iintelligentbioaffinitysenson intelligentblo0d 4.1.3.2.9 sensOr 4.1.3.2.7 b0d 4.1.1.3.4 sens0 4.1.2.3.2 4.7.1 6.5 guratiOn 1.1.1.10 dens Senso1 2e 4.1.2.2.1 ss 4.1.1.1.8 上 Ss 4.1.1.1.6 4.1.1.5.2 SenSOr fieldstrengthSenS0r 4.1.3.1.1 gentenzmebiosensor esophageal-pressuresensor 4.1.3.2.1 flowsensor 4.1.1.1.5 4.1.1.1.2 SensOr 4.1.2.1 gassenso 4.1.3.2.3 gast SenS0r 4.1.1.1.1.1 SenS0r” 4.1.1.1.12 Sens0r 4.1.3.2.6 sens0r 4.1.1.2.2 igent SenSOr 4.1.2.2 4.1.1.3.5 4.1.3.1.2 4.1.1.1.8.3 4.1.1.3.2 4.1.1.2.3 2OH thermal-graphsensor 4.1.3.2.4 SenS0r 4.1.2.3.1 ion 4.1.2.3 4.1.1.1.7.1 T7" 海海-7T 4.1.1.1.3.1 linearvelocitysenson intelligentmmagnetiefieldstrength 4.1.1.4.1 iintelligentmagnetifluxsensor 4.1.1.4.2 massflowsensor intellieemt 4.1.1.1.5.1 26
GB/T33905.3?2017 5.30 intelligentmaterials 4.1.3.1.3 intelligentmicrobiologiealbiosensor Iligentminiaturepressuresensor 4.1.1.1.1.5 4.1.1.1.2.3 SenS0r 4.1.2.2.2 moisturesensor 4.7.7 4.1.1.6.2 4.1.1.7 gen senS0 4.1.2.3.3 4.1.1.1.7 SenS0r 4.1.3.2.5 sens0r 4.1.1.7.1 2 SS 4.1.1.7.2 d0SageSenSOr 4.1.3.2.10 4.1.1.1.3.3 revolutionsensor 6.11 SS networkinterface 3.2 4.1.1.1.4.4 gentsh0ckSens0r 4.1.3.2.8 4.1.1.6. 4.1.1.1.2.2 4.1.1.1.8.4 gent 0ughness 4.1.1.2. gent SenSOr 4.7.8 senS0r 4.1.1.1.2.4 4.1.1.1.9 4.1.1.6.3 SensOr 4.1.3.2.2 bladderinnerpressuresensor 1gent SenS0r 4.1.1.1.3 Vel0cit gentibrationsens0r isc0sitysens0 1.1.1 visiblelight 7 4.1.1.3. 4.1.1.5.3 Voltage 4.1.1.1.5.2 gentvoluetricflowsens0 intelligentweightingsensor 4.1.1.1.2.1 interoperability 6.15 ionizingintellig 4.2.6 ligentsesor 21

智能传感器第3部分：术语GB/T33905.3-2017

一、前言

在现代工业应用中，传感器是不可或缺的组件之一。智能传感器的出现为我们带来了更高效、更精确的数据采集方式。然而，由于不同厂商生产的智能传感器之间存在着一些差异，为了保证其互操作性及使用的通用性，智能传感器需要制定统一的标准来规范其设计、制造和使用过程。

二、什么是GB/T33905.3-2017？

GB/T33905.3-2017是国家质量监督检验检疫总局发布的智能传感器标准，《智能传感器 第3部分: 术语》是其中的一个重要组成部分。

三、术语解析

以下是GB/T33905.3-2017中的一些重要术语解析：

• 传感器：能够将被测量物理量转换为可供数字处理的电信号或其他形式输出的设备。
• 计量范围：传感器所能检测的被测量物理量的最小值和最大值之差。
• 分辨率：指传感器所能检测到的被测量物理量变化的最小单位。
• 精度：传感器输出信号与被测量物理量真实值之间的差异，通常用百分比表示。

四、总结

GB/T33905.3-2017标准对智能传感器的设计、制造和使用过程进行了规范，其中包括了涉及到传感器、计量范围、分辨率等方面的术语。掌握这些术语对于用户正确选择和使用智能传感器具有很重要的意义。

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