GB/T31986-2015
电子工业用气体八氟丙烷
Gasforelectronicindustry—Perfluoropropane
- 中国标准分类号（CCS）G86
- 国际标准分类号（ICS）71.100.20
- 实施日期2016-05-01
- 文件格式PDF
- 文本页数7页
- 文件大小344.82KB
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电子工业用气体八氟丙烷
国家标准 GB/T31986一2015 电子工业用气体八氟丙炕 Gasforelectronicindstry一Perfluoropropane 2015-09-11发布 2016-05-01实施 中毕人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中 国国家标准化管厘委员会国家标准
GB/T31986一2015 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草
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本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口
本标准起草单位;国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、 佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中吴光明化 工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司,天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究 设计院有限公司
本标准主要起草人;林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华,孙猛、方华,孙福楠,方正、崔学文、 周鹏云
GB/T31986一2015 电子工业用气体八氟丙炕 范围 本标准规定了八氟丙烧的技术要求,试验方法,包装、标志、贮运和安全
本标准适用于六氟丙烯或七氟丙婉氟化制备,并通过精僧、吸附,催化等工艺提纯的八氟丙烧产品 以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烧产品
它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗 气体 分子式:C,F
相对分子质量;188.017(按2011年国际相对原子质量)
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GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分;光腔衰荡光谱法 GB7144气瓶颜色标志 GB/8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 气瓶警示标签 GBl6804 (GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程(2000版 危险化学品安全管理条例(2011版 特种设备安全监察条例(2009版 技术要求 八氟丙烧的质量应符合表1的要求
表1 技术指标 项目 指标 99,999 99.99 八氟丙烧(C.F)纯度(体积分数)/10" 氧十缸)(O十Ar)含量(体积分数/10- l0 氮(N)含量(体积分数)/10" 20
GB/T31986一2015 表1(续 指标 项目 -氧化碳(cO)含量(体积分数/10- 0.5 二氧化碳(CO.)含量体积分数)/10- 0.5 其他碳氟化合物四氟化碳、六氟乙婉、六氟丙婚、七叙丙 50 婉、八氟环丁炕)含量(体积分数)/1o 其他有机物(以甲烧计)含量(体积分数)/10 水(H,O)含量(体积分数)/10- 酸度(以HP计)含量(质量分数)/10" 0. 0. 总杂质含量(摩尔分数)/10 10 100 颗粒 供需双方商定 试验方法 4.1抽样,判定和复检 4.1.1八氟丙烧产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收,酸度每批次检一瓶
当检验结果有任何 -项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格
4.1.2八氟丙烧采样安全应符合GB/T3723中的相关规定 4.2八氟丙炕纯度 4.2.1总杂质含量按式(1)计算: P;=P1十92十p3十p十p;十P6十p; 式中: 总杂质含量(体积分数)/10-" 9s -氧十氯的含量(体积分数)/10; 91 氮气的含量体积分数)/10-" p2 氧化碳的含量(体积分数)/10-" o 二氧化碳的含量(体积分数)/10" 其他碳氟化合物的含量(体积分数)/10-; 95 其他有机物以甲熔计)含量(体积分数)/10-"; 9
水含量体积分数)/10" 9 4.2.2八氟丙炕纯度按式(2)计算 2 -100一9×10" p= 式中: -八氟丙炕纯度(体积分数)/10-？ 4.3氧十显、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、六氟乙炕、六氟丙烯、七氟丙皖、八氟环丁炕含量的 测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定八氟丙烧中的氧十氨、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化
GB/T31986一2015 碳、六氟乙烧、六氟丙烯、七氟丙烧、八氟环丁烧含量 预分离柱;长约3m,内径约2mm的不锈钢管,内装约粒径为0.18mm一0.25mm的PorapakQ -种高分子聚合物),或其他等效色谱柱
色谱柱I;长约2m、内径约2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18nmm一0.25mm的PorapakQ,或 其他等效色谱柱
该柱用于分析二氧化碳,四氟化碳,六氟乙烧含量
色谱柱I:长约2m、内径约3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm一0.25mm的5A分子筛,或 采用其他等效色谱柱
该柱用于分析氧十氯、氮气、一氧化碳含量
色谱柱皿:长约30m、内径0.53mm,膜厚10佳m的三氧化二铝毛细柱,或采用其他等效色谱柱
该柱用于分析六氟丙烯,七氟丙炕、八氟环丁炕含量
标准样品;组分含量的体积分数为(15)×10-,平衡气为氨
允许采用其他等效的方法测定八氟丙婉中的氧十氧,氮、一氧化碳,二氧化碳、四氟化碳,六氟乙烧、 六氟丙烯,七氟丙炕,八氟环丁烧含量
当以上测定结果有异议时,以GB/T28726规定的方法为仲裁 方法
4.4其他有机物(以甲完计)的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定八氟丙婉中的其他有机物(以甲婉计)含量
当 以上测定结果有异议时,以GB/T8984规定的方法为仲裁方法
仪器检测限的体积分数:0.05×10- 4.5水含量的测定 按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定八氟丙烧的水含量
当以上测定结果有异议 时,以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法
4.6酸度(以r计)的测定 4.6.1方法提要 试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准浒液发生中和反应,以甲基红-澳甲酚绿为指示剂 用硫酸标准溶液滴定过量的碱,从而测定出试样的酸度 4.6.2试剂,溶液 4.6.2.1氢氧化钠标准溶液:c(NaOH)约0.01mol/L
由0.1lnmol/L标准溶液稀释制取
4.6.2.2硫酸标准滴定溶液;c(1/2Hso,)约0.01mol/几L
由0.1mol/几标准溶液稀释制取
4.6.2.3混合指示剂甲基红乙醇溶液与嗅甲酚绿乙醇溶液按1:3体积比混合
4.6.3仪器,设备 4.6.3.1微量滴定管5mL,分度值为0.02mL,或0.01mL
4.6.3.2多孔气体分布管;孔度为2号
4.6.3.3湿式气体流量计
4.6.4测定步骤 酸度测定的吸收装置如图1所示
缓冲瓶、吸收瓶均为300mL
锥形瓶,吸收瓶内各装人100ml 新煮沸过的燕僧水和4.00ml氢氧化钠标准溶液
气体分布器管口距瓶底8mm,试样气体流迷 500mL/min,通气量约15L.由湿式气体流量计计量
通气完毕,从系统中取下吸收瓶,分别加人
GB/T31986一2015 4滴一5滴混合指示剂,用硫酸标准溶液滴定,溶液由蓝绿色变为红色为终点
放空 C,F,气体 说明 缓冲瓶; 2、3 吸收瓶; 湿式气体流量计 多孔气体分布管; 开口气体分布管
酸度吸收装置 4.6.5试样体积的计算 试样体积按式(3)计算 H(P十尸)×29a.1 V 3 ×(V，-V) 0l.273.1+(十) 式中: -20C,101.3kPa的试样体积的数值,单位为升(L); 流量计始态的大气压力的数值,单位为千帕(kPa); 流量计终态的大气压力的数值,单位为千帕(kPa) P 流量计始态的温度的数值,单位为摄氏度(C); 流量计终态的温度的数值,单位为摄氏度(C) l2" V -流量计始态的读数值,单位为升(L): 流量计终态的读数值,单位为升(L)
4.6.6结果计算 酸度(以HF计)的质量分数w,数值以10"表示,按式(4)计算 -土C-MXcx0 ×10" = 7.9 式中 V 空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL): V 滴定第一个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL); V 滴定第二个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL) M 氢氟酸(HF)的摩尔质量(M=20.0),单位为克每摩尔(g/mol); 硫酸(1/2H.SO.)标准滴定溶液的浓度,单位为摩尔每升(mol/L)
GB/T31986一2015 -20C,101.3kPa时试样体积,单位为升(L); 7.9320C,1o1.3kPa时八氟丙炕的密度,单位为克每升(g/1.)
取平行测定结果的算术平均值为测定结果
两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%
包装、标志,贮运及安全 5.1包装、标志及贮运 5.1.1八氟丙婉的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》、《危险化学品安全管理条例》和《特种设备 安全监察条例》的相关规定
5.1.2包装八氟丙婉的气瓶应符合GB5099的规定
5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本标准的要求
瓶阀出气口连接方式推 荐使用CGA660 5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏
5.1.5八氟丙婉的充装应符合GB14193的相关规定
5.1.6八氟丙婉的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB7144的规定,标签应符合 GB16804,GB15258规定的要求
5.1.7包装容器上应标明“电子八氟丙烧”字样
5.1.8瓶装八氟丙炕的最大充装量按式(5)计算 m=FV 式中: 气瓶内八氟丙婉的质量,单位为千克(kg); n V 气瓶标明的内容积,单位为升(L); F 八氟丙婉的充装系数(F,=1.07)，单位为千克每升(kg/L). 八氧丙烧的充装量按实际称量的质量计 5.1.9 八氟丙烧的保存期眼按GB/T28571规定执行
5.1.10 5.1.11八氧丙烧出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括 产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号 生产日期或批号,充装质量(ke) 本标准号及技术指标,检验员号
5.1.12八氟丙熔产品应存放在阴凉、干燥,通风的库房内,严禁暴晒,远离热源
5.2安全警示 5.2.1八氟丙烧在常温常压下是无色、无味,无毒和不可燃的惰性气体
其化学性质不活泼,热稳定性 能好,但在高温能分解产生有毒的氟化物
5.2.2吸人高浓度八氟丙烧气体可引起窒息
高温下的分解产物氟化物在有水分时具有腐蚀作用,能 刺激人的皮肤,眼睛和呼吸道粘膜
液态时溅到皮肤上能引起冷灼伤
5.2.3若遇高热,容器内压增大,有开裂或爆炸危险
了解电子工业用气体八氟丙烷GB/T31986-2015
八氟丙烷是一种无色、无味、易燃、低毒的气体，因具有良好的电绝缘性质和生物相容性，被广泛应用于电子工业中。
八氟丙烷的特点
1. 电绝缘性好：八氟丙烷在常温下为气态，可作为电子元件清洗剂使用；
2. 生物相容性好：八氟丙烷在医疗器械清洗、灭菌等方面也得到广泛应用；
3. 环保性能好：八氟丙烷的臭氧破坏潜势较小，对环境的影响较小。
八氟丙烷的应用
八氟丙烷在电子工业中主要用于清洗、干燥、灭菌等方面。其应用场合包括：
- 半导体晶片制造和组装过程中的清洗和干燥；
- 电子元器件表面清洗和去除氧化物；
- 电子元器件灭菌；
- 印刷电路板（PCB）制造过程中的清洗和脱脂。
GB/T31986-2015 国家标准介绍
GB/T31986-2015 是我国电子工业中使用八氟丙烷的行业标准，该标准涵盖了八氟丙烷在电子工业中的技术要求、试验方法、包装、运输和贮存等方面。
该标准主要规定了以下内容：
- 八氟丙烷的技术要求，包括物理和化学性质、纯度、杂质含量等；
- 八氟丙烷的试验方法，包括外观、密度、溶解度、气味、水分、酸度、碱度等指标的测定方法；
- 八氟丙烷的包装、运输和贮存要求，包括储存条件、防火措施、运输标识等。
总结
在电子工业用气体中，八氟丙烷以其良好的电绝缘性能、生物相容性和环保性能得到广泛应用。国家标准GB/T31986-2015也为八氟丙烷的使用提供了详细的规范。
