电子工业用气体三氟甲烷

电子工业用气体三氟甲烷

国家标准 GB/T34085一2017 电子工业用气体三氟甲院 Gasforelectronieindustry一Irinuoromethane 2017-07-31发布 2017-11-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管理委员会国家标准
GB/34085一2017 电子工业用气体三氟甲完 范围 本标准规定了电子工业用三氟甲烧的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全 本标准适用于以二氟一氯甲炕、三氯甲烧和氟化氢为原料制备的三氟甲婉产品 它在电子工业等 离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体 分子式:CHF 相对分子质量:70.013(按2011年国际相对原子质量). 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分;光腔衰荡光谱法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法 TsGR0006气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例<2002版 特种设备安全监察条例(2009版 技术要求 三氟甲婉的质量应符合表1的要求 表1技术指标 指标 项目 99.999 三氟甲烧(CHF)纯度(体积分数)/10- 氧十氯(O十Ar)含量(体积分数/10-" 氮(N.)含量(体积分数/10- -氧化碳(CO)含量(体积分数/10-" 二氧化碳(co.))含量(体积分数)/10"
GB/T34085一2017 表1续 项目 指标 其他碳氟化合物(一氟二氧甲烧、二氧甲烧、二氟一氧甲烧,二氧二 氯甲炕、1,l,l-三氟乙烧、四氟化碳)含量(体积分数)/10-" 水(HO)含量(体积分数/10- 酸度(以HF计)含量质量分数)/10 0.1 总杂质含量(体积分数)/10-" 10 颗粒 供需双方商定 试验方法 4.1抽样、判定和复检 4.1.1三氟甲炕产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收,酸度每批次检一瓶 当检验结果有任何 -项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格 4.1.2三氟甲烧采样安全应符合GB/T3723中的相关规定 4.2三氟甲烧纯度 4.2.1总杂质含量按式(1)计算 虫=虫十虫十虫十虫十虫十中 式中 总杂质含量体积分数),l0-; 氧十氯的含量(体积分数),10-; 重 氮气的含量(体积分数),10- p -氧化碳的含量(体积分数),l0-; p 二氧化碳的含量(体积分数),10-" 中 其他碳氟化合物的含量(体积分数),1o -6 更 水含量体积分数),10- 三氟甲婉纯度按式(2)计算 4.2.2 =100一 中 ×10 式中 三氟甲烧纯度(体积分数),l0-了 4.3氧显、氨、一氧化碳、二氧化碳和其他氟碳化合物含量的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定三氟甲烧中的氧十缸、氮、一氧化碳、二氧化碳和其他 氟碳化合物含量 预分离柱:长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱,内装粒径为0.18mm一0.25mm的PorapakQ 高分子聚合物),或其他等效色谱柱
GB/34085一2017 mm0.25mm 色谱柱I;长约2m,内径2mm的316L不锈钢柱,内装粒径为0.18 的5A分子 筛,或其他等效色谱柱,用于分析氧十氯、氮、一氧化碳组分 色谱柱I:长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱,内装粒径为0.18mm0.25mm的PorapakQ 或其他等效色谱柱,用于分析二氧化碳,其他氟碳化合物组分 标准样品;组分含量的体积分数为1×10-5×10-",或与样品其中的组分含量相近,平衡气 为氨 允许采用其他等效的方法测定三氟甲烧中的氧十氯,氮、一氧化碳、二氧化碳和其他氟碳化合物含 量 当以上测定结果有异议时,以本标准规定的方法为仲裁方法 4.4水分含量的测定 按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定三氟甲炕的水含量 当以上测定结果有异议 时,以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法 4.5酸度(以HrF计)的测定 4.5.1方法提要 试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应,以甲基红-澳甲酚绿为指示剂. 用硫酸标准溶液滴定过量的碱,从而测定出试样的酸度 4.5.2试剂、溶液 氢氧化钠标准溶液:c(Na(oH)约0.01nmol/儿 由0.1mol/L标准溶液稀释制取 4.5.2.1 4.5.2.2硫酸标准滴定溶液:c(1/2HlSO)约0,01mol/L 由0.1mol/几标准溶液稀释制取 4.5.2.3混合指示剂甲基红乙醉溶液与澳甲酚绿乙醉溶液按1:3体积比混合 仪器设备 4.5.3 4.5.3.1微量滴定管:5mL,分度值为0.02ml,或0.01mL 4.5.3.2多孔气体分布管:孔度为2号 4.5.3.3湿式气体流量计;量程为2L 4.5.4测定步骤 酸度测定的吸收装置如图1所示 缓冲瓶,吸收瓶均为300mL锥形瓶,吸收瓶内各装人100ml 新煮沸过的蒸水和4.00mL氢氧化钠标准溶液 气体分布器管口距瓶底8mm,试样气体流速 500ml/min，通气量约15L由湿式气体流量计计量 通气完毕,从系统中取下吸收瓶,分别加人4 5滴混合指示剂,用硫酸标准溶液滴定,溶液由蓝绿色变为红色为终点
GB/T34085一2017 CHF,气体 放空 说明: -缓冲瓶 2,3 吸收瓶; 湿式气体流量计; 多孔气体分布管; 开口气体分布管 酸度吸收装置 4.5.5试样体积的计算 试样体积按式(3)计算 (P十P)×293.1 3 ×(V一V 1o1.3×273.1+(i十t 式中 v 20C,101.3kPa的试样体积的数值,单位为升(L). P 流量计始态的大气压力的数值,单位为千帕(kPa); -流量计终态的大气压力的数值,单位为千帕(kPa) P 流量计始态的温度的数值,单位为摄氏度(C) -流量计终态的温度的数值,单位为摄氏度(C); V 流量计终态的读数值,单位为升(L): V -流量计始态的读数值,单位为升(L) 4.5.6结果计算 酸度(以HF计)的质量分数w,数值以10-"表示,按式(4)计算: [-+-20xex" ×10" 2.99V 式中 V -空白试验消耗硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL); 滴定第一个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL); 滴定第二个吸收瓶溶液消耗的硫酸标准滴定溶液的体积,单位为毫升(mL); Vy 20 -氢氟酸(HF)的摩尔质量,单位为克每摩尔(g/mol); -硫酸(1/2H.sO)标准滴定溶液的浓度,单位为摩尔每升(mol/L); 2.99 -20,101.3kPa时三氟甲烧的密度,单位为克每升(g/L); -20,101.3kPa时试样体积,单位为升(L).
GB/34085一2017 取平行测定结果的算术平均值为测定结果 两次平行测定结果的相对偏差应不大于40% 4.5.7其他等效方法 允许采用其他等效的方法测定三氟甲烧中的酸度含量 当以上测定结果有异议时,以本标准规定 的方法为仲裁方法 包装、标志、贮运及安全 5.1包装、标志及贮运 5.1.1三氟甲婉的充装及贮运应符合TsGR0006、《危险化学品安全管理条例)(2002版)和《特种设备 安全监察条例(2009版)的相关规定 5.1.2包装三氟甲婉的气瓶应符合GB/T5099的规定 推荐使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应满足本标谁的要求 瓶阀出气口连接方式推 5.1.3 荐使用CGA320 5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏 三氧甲院的充装应符合GBT14193的相关规定 5.1.5 5.1.6三氧甲烧的包装标志应符合GB190的相关规定,颜色标志应符合GB/T714的规定,标签应符 合GB/T16804.GB15258规定的要求 包装容器上应标明“电子级三氟甲婉”字样 5.1.7 5.1.8瓶装三氟甲烧的最大充装量按式(5)计算 m一F,V 5 式中 气瓶内三氟甲婉的质量,单位为千克(kg); mn 三氟甲熔的充装系数(F,=0.76)，单位为千克每升(kg/L). 厂 气瓶标明的内容积,单位为升(L) 5.1.9三氟甲烧的充装量按实际称量的质量计 5.1.10三氟甲烧的保存期限按GB/T26571规定执行 5.1.11三氟甲婉出厂时应附有质量合格证,其内容至少应包括: 产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号; 生产日期或批号,充装质量(kg); 本标准编号及技术指标、检验员号 5.1.12三氟甲炕产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,严禁暴晒,远离热源 5.2安全警示 5.2.1三氟甲烧在常温常压下为具有窒息性,无色无味气体,空气中不燃烧 接触后可引起头痛、恶心 和呕吐,有麻醉作用 5.2.2三氟甲烧与高温表面或火焰接触时,分解生成腐蚀性和毒性都极高的氟化氢烟雾 5.2.3接触三氟甲婉气体可能引起心律失常和窒息 吸人蒸气可能引起中枢神经系统抑郁 液态时 溅到皮肤上能引起冷灼伤

电子工业用气体三氟甲烷GB/T34085-2017

气体三氟甲烷是电子工业重要的工艺气体之一，主要用于半导体制造过程中的反应气体。GB/T34085-2017标准是我国针对电子工业用气体三氟甲烷所制定的标准，旨在规范其生产、贮存和使用等方面的问题。以下是该标准下，关于电子工业用气体三氟甲烷的一些重要内容：

1. 物理化学性质

气体三氟甲烷的物理化学性质必须符合GB/T34085-2017标准中的相关规定。其中，其纯度应达到99.9%以上，同时还需要满足一系列的物理化学指标，如密度、沸点、熔点、蒸汽压等。

2. 生产与贮存

气体三氟甲烷的生产和贮存应该符合GB/T34085-2017标准中的相关规定。其中，其生产需要采用严格的工艺流程和环境控制，以保证其物理化学性质的稳定性和纯度的高度。而对于贮存，应该采用符合要求的储罐、管道和阀门等设备，并按照相关标准进行操作，以防止泄漏和事故的发生。

3. 使用

在使用过程中，气体三氟甲烷应该符合GB/T34085-2017标准中的相关要求。其中，需要特别注意以下问题：

• 使用时应该遵守安全操作规程，特别是在压力、温度和流量等方面的控制上要做到严格
• 使用时应该使用符合要求的设备和配件，如流量计、压力表、阀门等
• 使用后应该对气体残留状态进行检查和处理，防止对人员和环境造成危害

4. 应急措施

在发生泄露或其他突发情况时，需要采取相应的应急措施，以保证人员和环境的安全。GB/T34085-2017标准中也对此进行了相应规定，主要包括：

• 在事故发生时应迅速启动应急预案
• 尽可能采取有效措施消除泄漏源
• 及时通知有关部门和人员，并根据现场情况采取相应的救援措施和处理方法

综上所述，GB/T34085-2017标准下，电子工业用气体三氟甲烷的相关内容主要包括其物理化学性质、生产与贮存、使用以及应急措施等方面的内容。只有遵守GB/T34085-2017标准中的相关规定，才能够保证气体三氟甲烷在电子工业的使用过程中安全可靠，同时也能够有效地保护人员和环境的安全。

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