高纯镓

高纯镓

国家标准 GB/T10118一2009 代替GB/T10118一1988 高 纯 乙 Highpuritygalium 2009-10-30发布 2010-06-01实施 国家质量监督检验检疫总局 发布 国家标准化管蹬委员会国家标准
GB/T10118一2009 高 纯 嫁 范围 本标准规定了高纯嫁的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内 容等 本标准适用于以纯度不小于99.99%的工业镍为原料,经电解精炼、拉制单晶或其他提纯工艺制得 的纯度不小于99.9999%的嫁 产品供制备化合物半导体材料和高纯合金 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准 Ys/T474ICP-MS分析法测定高纯嫁中的痕量元素 要求 3.1产品分类 产品按纯度分为Ga-06,Ga-07,MBE级三个牌号 Ga-06;表示嫁含量不小于99.9999%的高纯嫁， Ga-07;表示含量不小于99.99999%的高纯饽; MBE级:表示含量大于99.999999%的高纯 3.2化学成分 产品的化学成分应符合下列各表的规定 表1高纯嫁Gar-06化学成分 化学成分(质量分数)/% 牌号 杂质含量/X10-'),不大于 Ga F S N 不小于 Pb Zn Sn Mg Mn 总和 Cu C Ga-06 99.9999 100 注l表中嫁百分含量为100%减去表中所列杂质含量(质量分数)的总和; 注2:表中未列的其他杂质元素,可由供需双方协商确定 表2高纯嫁Ga-07化学成分 化学成分(质量分数/% 牌号 杂质含量/(×10-),不大于 Ga 不小于 Fe S P Zn Mn N Mg 总和 Sn Cu Cr Na Ca Ga-07 99.99999 0.5 10 注l;表中嫁百分含量为100%减去表中所列杂质含量(质量分数)的总和; 注2表中未列的其他杂质元素,可由供需双方协商确定
GB/T10118一2009 表3MBE级高纯嫁化学成分 牌号 化学成分(质量分数/% 杂质含量 Ga大于 MBE级 99.999999 除了基体Ga和离子源Ta,其他检出杂质元素的含量都低于GDMs分析的检测极限 外观质量 产品呈银白色,块状,结晶致密,无氧化包斑 试验方法 Ga06牌号高纯嫁的化学成分分析按Ys/T474的规定进行 4.2Ga-07与MBE级牌号高纯嫁的化学成分分析按GDMS法,参照附录A进行 检验规则 检查和验收 产品由供方技术监督部门进行检验,保证产品符合本标准的规定,并填写质量保证书 5.1.2需方可对收到的产品进行检验,如检验结果与本标准规定的不符合时,在收到产品之日起三个 月内向供方提出,双方协商解决 组批 产品应成批提交验收每批应由同一牌号,同一生产方法的产品组成 连续生产的企业每批总量不 超过1000kg,间断生产的企业每批总量不超过100kg 5.3取样 产品取样按如下规定进行从每批产品中任取5个包装单位,每瓶任取5g一10g,混合均匀 仲裁 取样应由供需双方共同进行 检验结果的判定 化学成分和外观质量检验不合格时,则判定该批产品为不合格 标志、包装、运输、贮存 标志 在检验合格产品瓶上应附有标签,注明供方名称、产品名称、批号、牌号、出厂日期和“勿倒置”字样 或标志 每箱外应注明;供方名称、产品名称、产品批号,并有“防潮”,“防晒”字样或标志 包装 产品装人洁净处理过的非极性塑料瓶中,每瓶净重不超过2kg,冷凝成固体，经充高纯惰性气体或 真空封装后,置于泡沫盒中,最后装人包装箱内 包装方法和每瓶重量也可按供需双方协商确认的结果 进行 6.3运输 产品在运输过程中应防止潮湿,不得倒置和碰撞 6 贮存 产品应存放于清洁、干燥和无酸、碱气氛之处 环境温度为低温或室温 质量说明书 每批产品应附有质量说明书,注明 供方名称 a b 产品名称 产品批号、牌号; c
GB/T10118一2009 各项分析检验结果及检验部门印记; d) 本标准编号; e f生产日期 订货单(或合同)内容 本标准所列产品的订货单(或合同),应至少包括以下内容: a) 产品名称; 牌号; D c 重量; 本标准编号; d) e其他
GB/T10118一2009 附录 A 资料性附录 GDMS法测定高纯嫁中杂质元素含量的操作规范 用辉光放电质谱法测定高纯家时的主要操作步骤如下 在样品嫁的原包装内将其加热熔化为液体,然后用已经清洗干净的聚四氟乙烯管子抽出并用液 氮快速冷却成固体 A.2从聚四氟乙烯管子中选取合适长度的样品,并快速放人用冰水冷却的王水中进行酸侵蚀,时间 -般为20min 反应结束后以高纯的无水乙醇超声清洗两次,每次1min A.3将制备好的样品快速的放人仪器,并冷却至液氮温度 开始放电 因为嫁的熔点较低,所以放电条件不宜太剧烈,一般采取1kV,0.6mA0.7mA 因为仪器的放电溅射过程本身可以对样品进行进一步的清洗的作用,所以在数据采集之前要观 1.5 察容易污染的元素如Na,Al等是否已经趋于一个稳定值 A.6如果步骤5中所讲元素已经基本稳定,那么利用事先编辑好的程序采集数据,结果取两遍的平 均值 .入 处理数据 A. A.8打印报告